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本发明是在晶片载台（ＷＳＴ）从将晶片（Ｗ）搬入晶片载台（ＷＳＴ）的装载位置、移动至对晶片（Ｗ）开始曝光的曝光开始位置的期间，一边使对准系统（ＡＬＧ１，ＡＬＧ２）的至少一部分移动、一边使用该对准系统（ＡＬＧ１，ＡＬＧ２）检测晶片（Ｗ）上的标记...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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