模具制造技术

本发明专利技术涉及一种模具，包括：支撑层；形成在该支撑层的第一表面上并具有至少一个凸起的图案形成层；以及形成在该支撑层的第二表面上并位于与该凸起相对应的区域内的遮光膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种模具，特别是制造显示器的模具。
技术介绍
通常，液晶显示器包含液晶显示面板，该液晶显示面板包含形成薄膜晶 体管(TFT)的TFT基板，具有滤色器的滤色器基板，以及插入在它们之间 的液晶层。由于液晶面板本身并不发光，因此将背光单元设置在TFT基板的 后面。TFT基板和滤色器基板每个均包含以预定图案形成的多个层，所述图案 利用光刻常规地形成。但是，有时该图案的再现性不佳，并且光刻蚀加工设 备昂贵。近来，已经使用压印光刻法来在一层上形成图案。该压印光刻法在简单 的工艺中使用模具和不昂贵的设备。但是，当通过模具形成图案时，可能保 留有不需要的残留膜。
技术实现思路
在将遮光材料施加到具有滤色器层的显示装置的基板上的过程中，该遮 光材料溅射到彩色滤光图案上，该彩色滤光图案具有使该基板露出的开口 。 希望遮光材料通过该开口进入并覆盖该基板，但是此后该遮光材料应该可以 容易地从该滤色器的固体部分移除。基于本专利技术，对通过该开口可接近的该 基板的该表面进行处理，以便该基板层和该;故溅射上去的遮光材料的界面张 力之间的差小于滤色器层和该被溅射上去的遮光材料之间的界面张力。因 此，本专利技术的一个方面是提供一种显示装置的制造方法，该方法包括提供 基底基板；在该基板上形成主层(master layer),该主层具有暴露出部分该 基底基板的预定图案的开口；用反应物对该主层和通过该主层的该开口露出的该基底基板的表面进行处理；以及在该开口内提供第一材料，该反应物表 面处理导致该主层与该提供的第一材料之间的界面张力的差小于该提供的 第 一材料与该基板之间的界面张力。基于本专利技术的一个方面，该第一材料为遮光材料。基于本专利技术的一个方面，该方法还包括通过在该基底基板和该主层上形 成可模压的材料层，然后使该可模压的材料层和该遮光材料固化来制作具有 遮光膜的模具；在使该模具与该主层分开之后，在其上形成有光敏膜的绝缘 基板上对该模具进行排列、加压和曝光；以及在使该模具与该绝缘基板分开 之后使该光敏膜显影。基于本专利技术的一个方面，该基底基板包含氧化硅。基于本专利技术的一个方面，该基底基板包括基底层和形成在该基底层上的 无机层，并且该无机层包含氮化硅。基于本专利技术的一个方面，该表面处理包括CF4等离子体处理。基于本专利技术的一个方面，该主层的界面张力通过CF4等离子体处理而变 小，使得该主层具有强疏水性。基于本专利技术的一个方面，该表面处理包括02/CF4等离子体处理以及自组 装单层(self-assembly monolayer, SAM)处理。基于本专利技术的一个方面，通过该02/CF4等离子体处理和该SAM处理， 该基底基板的该界面张力的降低大于该主层的界面张力的降低。基于本专利技术的一个方面，通过该表面处理，该基底基板的界面张力的水 平变得接近于该遮光材料的界面张力的水平。基于本专利技术的一个方面，通过该表面处理，提供到该主层上的该遮光材 料在提供时流入该开口内。基于本专利技术的一个方面，该遮光材料通过热和光的至少一种固化。基于本专利技术的 一个方面，该可模压的材料层通过热和光的至少 一种固化。基于本专利技术的一个方面，该可模压的材料层由透过紫外光的材料构制成。基于本专利技术的一个方面，该主层包含光敏有机材料，并且采用具有预定 开口图案的掩模进行曝光，然后显影为具有形成在其内的开口。基于本专利技术的一个方面，该主层包含PC411B和PC405G的一种。基于本专利技术的一个方面，该光敏膜包含有机材料。因此，本专利技术的一个方面是提供一种模具，该模具包含具有至少一个 或更多个凸起的图案形成层；以及形成在该凸起的端部处的遮光膜。基于本专利技术的一个方面，该图案形成层由透过紫外光的透明材料制成， 并且该遮光膜由遮挡紫外光的材料制成。基于本专利技术的一个方面，该图案形成层包含PDMS (聚二曱基硅氧烷)。因此，本专利技术的一个方面是提供一种模具，其包含支撑层；形成在该 支撑层的第 一表面上并具有至少 一个凸起的图案形成层；以及形成在该支撑 层的第二表面上并位于与该凸起相对应的区域内的遮光膜。基于本专利技术的一个方面，该支撑层包含PET (聚对苯二曱酸乙二醇酯) 和PC (聚碳酸酯)的至少一种。基于本专利技术的一个方面，该图案形成层和该支撑层的每一个由透过紫外 光的透明材料制成，并且该遮光膜由遮挡紫外光的材料制成。基于本专利技术的一个方面，该模具还包含设置在该支撑层和该遮光膜之间 的緩沖层。基于本专利技术的一个方面，该模具还包含覆盖该遮光膜的緩沖层。 基于本专利技术的一个方面，该緩冲层由与该图案形成层相同的材料制成。附图说明通过阅读随后的说明书以及附图，本专利技术的上述和其他的方面和优点将变得清楚，其中图1描绘了基于本专利技术第一实施例的薄膜晶体管基板；图2是沿图1的线ii-n截取的显示装置的截面图3A至3L依次描绘了基于本专利技术第一实施例的显示装置的制造方法；图4和5描绘了基于本专利技术第一实施例的表面处理的操作和效果； 图6描绘了基于本专利技术第二实施例的显示装置的制造方法； 图7描绘了基于本专利技术第一实施例制造的模具；以及图8描绘了基于本专利技术第三实施例的模具。具体实施例方式现在详细参考本专利技术的实施例，其实例描绘于附图中，其中全文中类似的参考数字表示类似的元件。下面通过结合这些图来描述该实施例以解释本 专利技术。应当理解，如果一膜(层)形成在(位于)另一膜(层)上，，，那么 这不仅表示两膜(层)彼此接触的情况，还表示又一膜(层)插入在两膜(层) 之间的情况。另外，应当清楚，尽管下面描述的是液晶显示器，但是，本专利技术还可以应用于其他平板显示器，诸如OLED和PDP。图l描绘了基于本专利技术第一实施例的薄膜晶体管(TFT)基板，并且图 2是沿图1的线II-II截取的截面图。基于本专利技术第一实施例的液晶显示器(LCD) 1包含液晶面板10，该液 晶面板10包含具有薄膜晶体管(TFT)的薄膜晶体管基板100 (以下，称作 第一基板)，该薄膜晶体管是用于分别控制或驱动每个像素的操作的开关 或驱动装置；结合到基板100的滤色器基板200 (以下，称作第二基板，，)， 以及插入在基板100和200之间的液晶层300。基板100包含第一绝缘基板110;栅导体121、122和123,数据导体161、 162、 163和164;形成在栅导体和数据导体的交点处的TFTT;以及连接到 该TFTT的像素电极180。将信号电压通过TFTT施加到像素电极180和滤 色器基板200的公共电极250之间，使液晶层300的分子排列并改变其透光率。在希望制造柔性LCD时，基板110可以包含诸如玻璃，石英，陶瓷或 塑料的绝缘材料。制造塑料基板的合适材料包括聚碳酸酯，聚酰亚胺，PNB (聚降水片烯，polynorbomeen), PES (聚醚砜)，PAR (聚芳脂)，PEN (聚 萘二曱酸乙二醇酯，polyethylenapthanate )或PET (聚对苯二曱酸乙二醇酯) 等。抓导体121、 122和123形成在基板110上，并且每个可以为单独的金 属层或者具有多层金属层。栅导体121 、 122和123包含横向延伸的栅线121， 连接到栅线121的栅极122,以及位于栅线121的端部处并且连接到栅驱动 器(未示出)以接收驱动信号的栅焊盘123。由氮化硅(SiNx)等制成的栅本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种模具，包括：支撑层；形成在该支撑层的第一表面上并具有至少一个凸起的图案形成层；以及　形成在该支撑层的第二表面上并位于与该凸起相对应的区域内的遮光膜。

【技术特征摘要】
KR 2005-11-2 104511/051.一种模具，包括支撑层；形成在该支撑层的第一表面上并具有至少一个凸起的图案形成层；以及形成在该支撑层的第二表面上并位于与该凸起相对应的区域内的遮光膜。2. 根据权利要求1的模具，其中该支撑层包含聚对苯二曱酸乙二醇酯 和聚碳酸酯的至少一种。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：张在爀，洪雯杓，卢南锡，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]