隔离物结构体的制造方法、隔离物形成材料的充填方法、隔离物形成材料的充填装置、成形制造方法及图纸

准备形成有多个电子束通过孔（２６）的板状的格栅（２４）和板状的成形模（３６ａ）。成形模具有多个隔离物形成孔（４０ａ）以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由紫外线透过材料形成的多个孔形成部（５６ａ）。将成形模与格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体。在组装体的形成之前或者形成之后，将具有紫外线硬化性的隔离物形成材料（４６）充填到成形模的各隔离物形成孔中。将紫外线直接以及透过所述孔形成部向所述充填后的隔离物形成材料进行照射，使隔离物形成材料硬化。然后，将硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将成形模从格栅分离。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及平面显示装置等的图象显示装置中使用的隔离物结构体的制造方法、隔离物结构体制造中使用的隔离物形成材料的充填方法、隔离物形成材料的充填装置、成形模及真空容器。
技术介绍
近年来，作为取代阴极线管(以下称为CRT)的下一代的轻量、薄型的显示装置，各种平面型的图象显示装置已受到了人们的重视。比如，具有作为平面显示装置功能的送出·放出·显示(以下称为FED)的一种，正在大力开发表面传导型电子放出装置(以下称为SED)。这种SED具有以规定间隔相对配置的前面基板和背面基板，这些基板通过矩状的侧壁将周边部相互接合，由此构成真空外壳。在前面基板的内面形成有3色的萤光体层，在背面基板的内面，作为励磁萤光体的电子源，配列有与各象素对应的多个电子放出元件。各电子放出元件由电子放出部以及向该电子放出部附加电压的一对电极等构成。在上述的SED中，在前面基板和背面基板间的空间即真空外壳内，维持高真空度十分重要。当低真空度时，会使电子放出元件的寿命进而使装置的寿命缩短。因前面基板与背面基板之间是真空，故大气压作用于前面基板和背面基板。为此，为了支撑住作用于这些基板的大气负荷以维持基板间的间隙，在两基板间配置着多个板状或柱状的隔离物。为了将隔离物配置在前面基板和背面基板的整个面上，并且为了不与前面基板的萤光体、背面基板的电子放出元件发生接触，必须使用极薄的板状或极细的柱状的隔离物。由于这些隔离物必须设置在与电子放出元件极近的位置，故必须使用绝缘体材料作为隔离物。同时，在研讨前面基板和背面基板的薄板化的场合，需要有更多的隔离物，使制造更加困难。在隔离物与前面基板的萤光体间以及背面基板的电子放出元件间的对位方面，通常是考虑采用以萤光体间或电子放出元件间为目标而直接安装隔离物的方法，或者在预先形成有电子的通过孔的金属板的材料，高位置精度地形成多个隔离物，将形成于该金属板上的隔离物对准前面基板或背面基板位置的方法。作为后者的方法，例如根据日本专利特开2001-272926号公报或特开2001-272927号公报所记载的制造方法，在金属板的表里面密接着分别形成有与隔离物形状对应的多个孔的2个成形模，通过这些金属板和2个成形模对隔离物形成用的贯通孔作出规定。在此状态下，将浆糊状的光硬化性或热硬化性的隔离物形成材料充填到各贯通孔中。接着，在金属模内部使充填后的隔离物形成材料光硬化或热硬化，然后从金属板将2个成形模取出，再使隔离物形成材料形成玻璃化。这样，可以在金属板上得到一体形成的柱状的隔离物。在上述方法中，在使隔离物形成材料硬化的场合，若只照射紫外线使其硬化，则无热的影响，从精度和制造成本观点出发是一种好方法。然而，成形模上形成的隔离物形成孔因是细长形状，在使用由金属材料形成的成形模的场合，隔离物形成材料的硬化时要想使充分的紫外线一直到达成形模的深部是困难的。因此，作为隔离物形成材料，应使用热硬化材料、或者不仅有紫外线硬化特性而且还要有热硬化特性的材料。在使隔离物形成材料热硬化时，因加热、冷却会在格栅与成形模之间产生温度分布差，其结果，在格栅与成形模的界面上发生错位，还存在着因该错位而容易产生隔离物破坏的问题。当对格栅材料与成形模材料的热膨胀率、温度管理进行严密管理的场合，铷速加热或急速冷却非常之难，难以提高生产性。为此，通常考虑使用紫外线透过材料来构成成形模，但紫外线透过材料一般是玻璃、树脂，作为成形模使用时，有可能产生机械性刚性、耐磨性降低、成形模的破坏以及精度不良的问题。前述的制造方法中，在将隔离物形成材料充填到成形模的隔离物形成孔中时，隔离物形成孔有可能比贯通孔的场合容易充填。但是，当隔离物形成孔是贯通孔时，因充填量的偏差会使最终形成的隔离物的高度精度不稳定。另外，由于必须使成形模的板厚与隔离物的高度一致，因此难以通过加厚成形模来提高机械性强度。同时在成形模的使用材料方面也受到了限制。当成形模的隔离物形成孔是有底孔时，若孔形状微小，则孔内部没有空气的流出通道，故极难进行隔离物形成材料的充填。虽然也有考虑采用预先使隔离物形成孔的内部成为真空的方法，但混入隔离物形成材料中的溶剂会蒸发，故不太好。在将隔离物形成材料向成形模充填时，若未能将金属板与成形模彻底地密接，则金属板与成形模之间会进入隔离物形成材料。该场合，不能形成正常形状的隔离物，而且还有可能会将预先在金属板上形成的电子束通过孔堵住。另外，溢出的隔离物形成材料会作为粘接剂而起作用，还存在着极难将金属板与成形模分离的问题。并且，这些金属板和成形模形成薄板形状，要想密接却难以预先得到充分的平面度。为此，在将隔离物形成材料向成形模充填时，必须将成形模和格栅夹持于多个部位来维持着密接状态。该场合，需要设置多个夹持构件，并要增高夹持压力，使制造装置大型且复杂化。作为下一工序即隔离物形成材料的硬化工序，当选择了紫外线硬化的场合，夹持构件会成为紫外线照射的障碍。
技术实现思路
鉴于以上的问题，本专利技术目的在于，提供能高精度制造隔离物的隔离物结构体的制造方法、隔离物结构体制造中使用的隔离物形成材料的充填方法、隔离物形成材料的充填装置、成形模及真空容器。为了实现上述目的，本专利技术形态是一种图象显示装置中使用的隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅；以及一体状立设于所述格栅表面上的多个柱状的隔离物，其制造方法是准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，再准备具有多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由紫外线透过材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，将所述成形模与所述格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有紫外线硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，将紫外线直接以及透过所述孔形成部向所述充填后的隔离物形成材料进行照射，使所述隔离物形成材料硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。另外，本专利技术的另一形态是一种图象显示装置中使用的隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅；以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，其制造方法是准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，再准备具有多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由弹性材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，将所述成形模与所述格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有热硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，对所述充填后的隔离物形成材料进行加热使其硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。并且，本专利技术形态的隔离物结构体的制造方法中使用的成形模，包括板状的模型本体；分别由紫外线透过材料或弹性材料形成、对所述隔离物形成孔作出规定并与所述模型本体一体设置的多个孔形成部。采用上述结构的隔离物结构体的制造方法及其成形模，通过在隔离物形成孔的周边部分使用紫外线透过材料，可使用只需要紫外线使其硬化的隔离物形成材料。另外，隔离物形成孔的周边部以外的部分，可使用金属等的机械强度高的材料，能充分确保作为成形模所需的机械强度。通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括：具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，准 备具有多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由紫外线透过材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，将所述成形模与所述格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成 之后，将具有紫外线硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，将紫外线直接以及透过所述孔形成部向所述充填后的隔离物形成材料进行照射，使所述隔离物形成材料硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模 从格栅分离。

【技术特征摘要】
JP 2002-7-24 215443/2002;JP 2002-12-4 352750/2002;1.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，准备具有多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由紫外线透过材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，将所述成形模与所述格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有紫外线硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，将紫外线直接以及透过所述孔形成部向所述充填后的隔离物形成材料进行照射，使所述隔离物形成材料硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。2.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的两面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔以及分别位于这些电子束通过孔间的多个隔离物开孔的板状的格栅，准备2个具有与所述格栅的隔离物开孔对应的多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由紫外线透过材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，在将所述格栅的隔离物开孔与所述成形模的隔离物形成孔分别整齐配列的状态下，将所述成形模与所述格栅的两面密接，形成由2个成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有紫外线硬化性的隔离物形成材料充填到所述各成形模的各隔离物形成孔中，在所述组装体中，对所述充填后的隔离物形成材料直接以及透过隔离物形成材料照射紫外线，使隔离物形成材料硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。3.如权利要求1或2所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，作为所述隔离物形成材料，使用了至少含有紫外线硬化型的粘接剂和玻璃填充物的玻璃糊状物。4.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔的板状的格栅，准备具有多个的隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由弹性材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，将所述成形模与所述格栅的表面密接，形成由成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有热硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，对所述组装体中的所述充填后的隔离物形成材料进行加热使其硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。5.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的两面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备形成有多个电子束通过孔以及分别位于这些电子束通过孔间的多个隔离物开孔的板状的格栅，准备2个具有与所述格栅的隔离物开孔对应的多个隔离物形成孔以及位于各隔离物形成孔周围、对隔离物形成孔作出规定并由弹性材料形成的多个孔形成部的板状的成形模，在将所述格栅的隔离物开孔与所述成形模的隔离物形成孔分别整齐配列的状态下，将所述成形模与所述格栅的两面密接，形成由2个成形模和格栅所构成的组装体，在所述组装体的形成之前或者形成之后，将具有热硬化性的隔离物形成材料充填到所述成形模的各隔离物形成孔中，对所述充填后的隔离物形成材料进行加热使其硬化，将所述硬化的隔离物形成材料保留在格栅上，将所述成形模从格栅分离。6.如权利要求1、2、4、5中任一项所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，所述成形模分离后，将所述隔离物形成材料烧固。7.如权利要求1、2、4、5中任一项所述的隔离物结构体的制造方法，其特征在于，作为所述格栅，使用了由表面形成有氧化膜的金属板所构成的格栅。8.一种成形模，它是如权利要求1或2所述的隔离物结构体的制造方法中使用的成形模，其特征在于，包括板状的模型本体；分别由紫外线透过材料形成、对所述隔离物形成孔作出规定并与所述模型本体一体设置的多个孔形成部。9.如权利要求8所述的成形模，其特征在于，所述模型本体具有多个透孔，所述孔形成部设置于所述透孔内。10.一种成形模，它是如权利要求1或2所述的隔离物结构体的制造方法中使用的成形模，其特征在于，包括板状的模型本体；分别由弹性材料形成、对所述隔离物形成孔作出规定并与所述模型本体一体设置的多个孔形成部。11.如权利要求10所述的成形模，其特征在于，所述模型本体具有多个透孔，所述孔形成部设置于所述透孔内。12.一种隔离物形成材料的充填方法，它是将隔离物形成材料充填到具有抵接面和在该抵接面上开口的多个有底的隔离物形成孔的成形模的所述隔离物形成孔中的方法，其特征在于，向所述成形模的隔离物形成孔部分供给浆糊状的隔离物形成材料，使供给有所述隔离物形成材料的成形模，围绕从该成形模分离的位置上的旋转轴周围进行旋转，利用离心力使隔离物形成材料与各隔离物形成孔内的空气发生置换，将隔离物形成材料充填到各隔离物形成孔内。13.如权利要求12所述的隔离物形成材料的充填方法，其特征在于，所述抵接面与所述旋转轴平行状延伸，并在面向所述旋转轴侧的状态下使所述成形模旋转。14.如权利要求12或13所述的隔离物形成材料的充填方法，其特征在于，在相对于以所述旋轴轴为中心的圆沿切线方向上，在所述抵接面上，设置有位于各隔离物形成孔两侧的隔壁，在将隔离物形成材料供给到所述隔壁间之后，利用所述隔壁一边对隔离物形成材料的流出作出限制，一边使所述成形模旋转。15.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有板状构件、以及一体状地立设于所述板状构件的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在于，准备具有抵接面和在所述抵接面上开口的多个有底的隔离物形成孔的成形模，向所述成形模的隔离物形成孔部分供给浆糊状的隔离物形成材料，使供给有所述隔离物形成材料的成形模，围绕从该成形模分离的位置上的旋转轴周围进行旋转，利用离心力使隔离物形成材料与各隔离物形成孔内的空气发生置换，将隔离物形成材料充填到各隔离物形成孔内，将所述隔离物形成孔中充填有所述隔离物形成材料的成形模，保持于所述抵接面与所述板状构件的表面密接的状态，在使所述成形模与板状构件密接的状态下，使所述隔离物形成材料硬化，在所述板状构件的表面上形成多个隔离物。16.一种隔离物结构体的制造方法，所述隔离物结构体使用于图象显示装置中，包括具有多个电子束通过孔的板状的格栅、以及一体状地立设于所述格栅的表面上的多个柱状的隔离物，该制造方法的特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：广泽大二，植田行纪，鹰取幸司，二阶堂胜，石川谕，平原祥子，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP[日本]