一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法，包括调整机构和静电机构，承接内筒外圈的静电机构环绕传动机构进行螺旋旋转，利用外接触件与拨动排列轴进行接触，二者之间摩擦产生静电，因外接触件的环形阵列开设，使其成为一个类圆状，从而产生的静电形成一类圆状电场，产生的类圆形静电场直径大于刻蚀衬底的直径，使其能够对刻蚀衬底上的二极管进行限位，产生的静电场通过外伸横杆对其进行吸引，使产生的静电场的边缘高度提升，使整体静电场成为类倒漏斗状，对湿法刻蚀时的化学反应生成的物质进行吸附，且能够对密闭器皿中的杂质进行阻隔，使刻蚀衬底上的二极管接触杂质减少。质减少。质减少。

【技术实现步骤摘要】
一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及二极管生产
，尤其涉及一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]二极管是最早诞生的半导体器件之一，其应用非常广泛。特别是在各种电子电路中，利用二极管和电阻、电容、电感等元器件进行合理的连接，构成不同功能的电路，可以实现对交流电整流、对调制信号检波、限幅和钳位以及对电源电压的稳压等多种功能。
[0003]专利号CN201910049595.2公开了一种二极管生产加工用刻蚀装置，包括机壳、泵机壳、储存罐、保护壳和水冷管，所述保护壳位于机壳顶部，所述机壳的顶部表面一体成型有轨道B，所述保护壳通过滑块安装在轨道B上，所述保护壳的顶部表面固定有固定板A，所述固定板A连接的保护壳顶部一面通过合页与保护壳侧面进行连接，所述保护壳远离泵机壳一侧设置有把手，所述把手一端与连接杆螺纹连接，所述连接杆远离把手一端连接有固定板C，所述固定板C固定于固定板B的上表面。此专利技术解决了具备实用性强、便于使用等优点，解决了效率不高，且散热不强的问题，但无法利用静电场对湿本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种二极管生产加工用刻蚀装置，包括调整机构(1)和静电机构(2)，其特征在于，所述调整机构(1)包括安装盘(11)、安装竖筒(12)、旋转轴(13)、串联外筒(14)、连接件(15)、连接筒(16)、外伸横杆(17)、承接内筒(18)和传动机构(19)，所述安装盘(11)的下端安装有安装竖筒(12)，所述安装竖筒(12)的内腔贯穿设置有旋转轴(13)，所述旋转轴(13)的另一端外圈套接有串联外筒(14)，所述串联外筒(14)的两端通过连接件(15)与连接筒(16)内端面连接，所述连接筒(16)的外端面开设有外伸横杆(17)，所述连接筒(16)的上端安装有承接内筒(18)，所述安装竖筒(12)的外圈安装有传动机构(19)，所述承接内筒(18)的外圈套接有静电机构(2)，所述静电机构(2)包括限位外筒(21)、边缘腔(22)、边缘开腔(23)和接触机构(24)，所述限位外筒(21)的两端均开设有边缘腔(22)，所述边缘腔(22)之间设置有边缘开腔(23)，所述边缘开腔(23)的内腔横向设置有接触机构(24)。2.根据权利要求1所述的一种二极管生产加工用刻蚀装置，其特征在于，所述传动机构(19)包括内串联环(191)、旋转盘(192)、外接触件(193)和通透腔(194)，所述内串联环(191)的外圈安装有旋转盘(192)，所述旋转盘(192)的外圈环形阵列开设有外接触件(193)，所述外接触件(193)的侧端开设有通透腔(194)。3.根据权利要求2所述的一种二极管生产加工用刻蚀装置，其特征在于，所述接触机构(24)包括横安装筒(241)、中通腔(242)、双耳横杆(243)和拨动排列轴(244)，所述横安装筒(241)的内腔设置有中通腔(242)，所述横安装筒(241)的两端均安装有双耳横杆(243)，所述双耳横杆(243)的外端排列设置有拨动排列轴(244)。4.根据权利要求3所述的一种二极管生产加工用刻蚀装置，其特征在于，所述拨动排列轴(244)包括内连接机构(2441)、连接块(2442)、活动连块(2443)和接触棒(2444)，所述内连接机构(2441)的侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：华铁军，黄春城，
申请(专利权)人：江苏海创微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：