【技术实现步骤摘要】
基板处理装置及对准方法
[0001]本申请是申请日为2017年7月7日、申请号为201710549222.2、专利技术创造名称为“基板处理装置及对准方法”的分案申请。
[0002]本专利技术涉及基板处理装置及对准方法。
技术介绍
[0003]专利文献1公开了进行基板与掩模的对准的对准方法。在该专利文献1中，预先记录有根据使用光学机构取得的基板及掩模的各对准标记的相对距离而算出的算出移动量与实际移动量的差异数据，在第二次以后的对准中，基于所述差异数据预先对所述算出移动量进行补正并使基板移动，从而迅速地进行对准。
[0004]【在先技术文献】
[0005]【专利文献】
[0006]【专利文献1】日本特开2009
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277655号公报
技术实现思路
[0007]【专利技术要解决的课题】
[0008]然而，上述专利文献1虽然记载了基板及掩模的对准标记进入光学机构即相机的摄像范围时的处理，但是没有记载对准标记未进入相机的摄像范围时的处理。
[0009]但...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板处理装置，所述基板处理装置具备用于对基板实施处理的多个处理室、分别设置于所述多个处理室的基板载置部、以及向所述基板载置部输送所述基板的输送机构，所述基板处理装置进行所述基板和所述处理室所具备的对象物的对准，其特征在于，所述基板处理装置具备：存储机构，其和与输送到所述多个处理室中的第一处理室的基板在向所述第一处理室输送时所经由的处理室相关的信息、以及与向所述第一处理室输送所述基板时使用的所述输送机构相关的信息中的至少一个信息相对应地存储移动信息；以及控制机构，其在从所述输送机构向所述基板载置部载置所述基板之前，基于所述存储机构中存储的所述移动信息对所述基板载置部以及所述输送机构的至少一方进行移动控制。2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，基于与所述对准后的所述基板的位置相关的信息，更新所述存储机构中存储的所述移动信息。3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，基于与所述对准前的所述基板的位置相关的信息以及与所述对准后的所述基板的位置相关的信息，更新所述存储机构中存储的所述移动信息。4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述控制机构在从所述输送机构向所述基板载置部载置所述基板之前，基于所述存储机构中存储的所述移动信息对所述基板载置部进行移动控制。5.一种基板处理装置，所述基板处理装置具备用于对基板实施处理的处理室、设置于所述处理室的基板载置部、以及向所述基板载置部输送所述基板的输送机构，所述基板处理装置进行所述基板和配置于所述处理室的对象物的对准，其特征在于，所述基板处理装置具备：存储机构，其存储移动信息；以及控制机构，其在从所述输送机构向所述基板载置部载置所述基板之前，基于所述存储机构中存储的所述移动信息对所述基板载置部进行移动控制，基于与所述对准后的所述基板的位置相关的信息，更新所述存储机构中存储的所述移动信息。6.根据权利要求5所述的基板处理装置，其特征在于，基于与所述对准前的所述基板的位置相关的信息以及与所述对准后的所述基板的位置相关的信息，更新所述存储机构中存储的所述移动信息。7.一种基板处理装置，所述基板处理装置具备用于对基板实施处理的多个处理室、分别设置于所述多个处理室的基板载置部、向所述基板载置部输送所述基板的输送机构、以及对所述基板载置部进行移动控制的控制机构，所述基板处理装置进行所述基板和所述处理室所具备的对象物的对准，其特征在于，当将通过所述输送机构输送来的基板向所述多个处理室中的第一处理室的基板载置部载置时，所述控制机构对所述基板载置部进行移动控制，使得在该基板为从所述多个处理室中的第二处理室输送来的情况下和为从所述多个处理室中的第三处理室输送来的情况下，从所述输送机构接收所述基板时的所述基板载置部的位置不同。
8.一种基板处理装置，所述基板处理装置具备用于对基板实施处理的处理室、设置于所述处理室的基板载置部、向所述基板载置部输送所述基板的多个输送机构、以及对所述基板载置部进行移动控制的控制机构，所述基板处理装置进行所述基板和所述处理室所具备的对象物的对准，其特征在于，当将通过所述多个输送...
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