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本发明提供一种使用按照各输送路径进行了分组化的移动信息，在对准前能够事先对基板进行移动控制，从而能更有效地进行对准的基板处理装置及对准方法，所述各输送路径由于前处理室的差异或输送机器人的机械手的差异等而不同。基板处理装置具备用于对基板实施处...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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