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一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法制造方法及图纸
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下载一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法的技术资料
文档序号:31503611
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本发明公开了一种二极管生产加工用刻蚀装置及其使用方法,包括调整机构和静电机构,承接内筒外圈的静电机构环绕传动机构进行螺旋旋转,利用外接触件与拨动排列轴进行接触,二者之间摩擦产生静电,因外接触件的环形阵列开设,使其成为一个类圆状,从而产生的静...
该专利属于江苏海创微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏海创微电子有限公司授权不得商用。
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