改变电子柱中的电子束的能量的方法技术

本发明专利技术涉及一种有效改变产生电子束的电子柱中的电子束的能量的方法。该方法包括以下步骤：向电极额外地施加电压，使得所述电子束最终具有所期望的能量，从而当所述电子束到达样本时，能够自由地控制所述能量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及有效地改变电子柱(electron column)中的电子束的能量 的方法。
技术介绍
io 改变电子柱中的电子束的能量对于其应用而言是非常重要的功能。 例如，当使用电子柱执行刻印(lithography)时，当电子束用于显示时， 或当将电子柱用作电子显微镜时，到达样本(sample)的电子束的能量影 响电子束入射到样本的穿透深度、对该样本的损害以及分辨率。到达样本的电子束的能量取决于施加到电子柱中发射电子的电子发15射源的电压。然而在微柱(micro-column)等的具有非常微小和精细结构 的电子柱中，施加到电子发射源以增加微柱中的电子束的能量的最大可 能电压是受限的。就微柱而言，韩国专利申请No. 2003-66003中公开了 单微柱的结构示例。相关文献包括1995年出版的Crashmer等人的题为An electron-beam20 microcolumn with improved resolution, beam current, and stability (J. Vac Sci. Technol. B 13(6), pp.2498-2503)的文献，以本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种改变由电子柱产生的电子束的能量的方法，该方法通过向电极额外地施加电压，使得所述电子束最终在样本处具有所期望的能量，并且能够容易地控制所述能量。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】KR 2005-8-18 10-2005-00755401、一种改变由电子柱产生的电子束的能量的方法，该方法通过向电极额外地施加电压，使得所述电子束最终在样本处具有所期望的能量，并且能够容易地控制所述能量。2、 根据权利要求1所述的方法，其中，所述电极是会聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：金浩燮，
申请(专利权)人：电子线技术院株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]