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本发明涉及一种有效改变产生电子束的电子柱中的电子束的能量的方法。该方法包括以下步骤：向电极额外地施加电压，使得所述电子束最终具有所期望的能量，从而当所述电子束到达样本时，能够自由地控制所述能量。...
该专利属于电子线技术院株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过电子线技术院株式会社授权不得商用。

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