应用压电元件的微型工作台制造技术

本文公开了一种微型工作台，该微型工作台使用压电元件以使得该微型工作台能被可靠地操作，即使在真空环境下。在要求高精度的粒子柱中，例如，微电子柱，所述微型工作台能够被用作具有微米级或纳米级精度的工作台，以校准所述柱的部件，或者用于移动试样等。

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
1、
本专利技术一般涉及应用压电元件的微型工作台(microstagesusingpiezoelectricelements)，更具体的，涉及能够可靠操作的应用压电元件的微型工作台，甚至在真空条件下。2、相关领域说明通常，压电元件被用作具有微米级、纳米级或者更高级别精度的工作台的执行器。这样的压电工作台具有高精度，并且通常用于需要纳米级或者更高级别精度的微小移动时。同时，工作台的应用被限制在真空环境中。例如，在真空中，应用旋转驱动马达的工作台的使用会被限制，这是由于在旋转驱动装置中应用了润滑剂，例如油脂。此外，在使用旋转驱动马达的工作台的情况下，操作精度的提高和尺寸的减小被限制。粒子束柱(例如微电子柱)需要高精度以制造和运行，当校准柱的部件或者移动试样等时，必须使用微米级或者纳米级的高精度工作台。此外，这种包括微柱的粒子束柱应用在真空环境中。鉴于此，高精度的工作台必须能够可靠的被操作，即使在真空环境中。然而，在真空环境中，特别是在超高真空环境中，相互接触的物体之间的引力增大。因此，由于工作台的部件之间的引力增大，精确操纵该工作台变得非常困难。因此，在工作台中，需要作为执行本文档来自技高网...

【技术保护点】
微型工作台，该微型工作台包括用于移动目标的移动体和主体压电基底，所述移动体可移动地接合所述主体压电基底，其中，所述主体压电基底包括用于对所述移动体施压的侧面加压单元，以及所述移动体的与所述主体压电基底的相应所述侧面加压单元相接触的部分具有倾斜面，其中，从所述主体压电基底的相对的所述侧面加压单元向所述移动体的相对侧施加压迫力，从而在倾斜方向上对所述移动体施压，使得当所述移动体移动时，所述移动体施压于所述主体压电基底上。

【技术特征摘要】
1.微型工作台，该微型工作台包括用于移动目标的移动体和主体压电基底，所述移动体可移动地接合所述主体压电基底，其中，所述主体压电基底包括用于对所述移动体施压的侧面加压单元，以及所述移动体的与所述主体压电基底的相应所述侧面加压单元相接触的部分具有倾斜面，其中，从所述主体压电基底的相对的所述侧面加压单元向所述移动体的相对侧施加压迫力，从而在倾斜方向上对所述移动体施压，使得当所述移动体移动时，所述移动体施压于所述主体压电基底上。2.根据权利要求1所述的微型工作台，其中，每个所述侧面加压单元包括：侧面压电元件，该侧面压电元件用于移动所述移动体；以及侧面加压体，该侧面加压体与所述侧面压电元件接触并且施压所述移动体。3.根据权利要求2所述的微型工作台，其中，该微型工作台还包括：倾斜面引导部，该倾斜面引导部与所述移动体的一侧或每侧结合，所述倾斜面引导部形成向下和向外倾斜的面，且与所述主体压电基底的相应所述侧面加压单元接触；和/或底部支撑部，该底部支撑部设置在所述主体压电基底的与所述移动体相接触的接触面上，所述底部支撑部支撑所述移动体的底部。4.根据权利要求3所述的微型工作台，其中，所述底部支撑部包括：底部加压体，该底部加压体与所述移动体的底部接触；以及底部压电元件，该底部压电元件设置在所述底部加压体与所述主体压电基底的基座面之间。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的微型工作台。其中，所述侧面加压单元还包括：向内加压压电元件，该向内加压压电元件朝向所述移动体施压所述侧面加压体，弹性部，该弹性部朝向所述移动体施压所述侧面加压体，或者同时包括所述向内加压压电元件和所述弹性部，所述向内加压压电元件和所述弹性部同时朝向所述移动体压迫所述侧面加压体。6.微型工作台，该微型工作台包括用于移动目标的移动体和主体压电基底，所述移动体可移动地接合所述主体压电基底，其中，所述微型工作台包括X-Y轴微型工作台，所述双轴微型工作台包括：两个微型工作台，该两个微型工作台为根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：金浩燮，金秉辰，成度镇，
申请(专利权)人：电子线技术院株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR