一种真空蒸镀机的行星盘限位结构制造技术

本申请提供一种真空蒸镀机的行星盘限位结构，所述行星盘限位结构用于镀锅进行行星运动的真空镀膜机，行星盘通过固定件与电机连接，电机带动行星盘沿着位于圆环形轨道内侧的凹槽运动，行星盘为圆形薄片，行星盘与圆环形轨道具有20

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀机的行星盘限位结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的行星盘限位结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的加工工艺中，先采用粗抽泵和精抽泵对真空镀膜机的腔室内抽真空，然后在真空条件下，采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。
[0004]为了增大加工效率，现有技术的真空蒸镀机的腔室设置有3个镀锅，镀锅进行类似行星运动的自转和公转，其中由电机提供动能，行星盘沿着镀锅圆环形轨道进行运动并同时进行自身的旋转，从而带动镀锅也沿着镀锅圆环形轨道进行运动并同时进行自身的旋转，在提高生产效率的同时增加了镀膜的均匀性。但是的加工的过程中，当取下其中的一个或者两个镀锅的时候，由于受力不均匀，行星盘会脱离圆环形轨道，给生产加工带来不便。
[0005]有鉴于此，本技术提供一种真空蒸镀机的行星盘限位结构，适用于镀锅进行行星运动的真空镀膜机，所述行星盘限位结构能够对行星盘起到限位的作用，确保行星盘不脱离圆环形轨道。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于，提供一种真空蒸镀机的行星盘限位结构，适用于镀锅进行行星运动的真空镀膜机，所述行星盘限位结构能够对行星盘起到限位的作用，确保行星盘不脱离圆环形轨道。
[0007]本申请的行星盘限位结构包括增高垫圈和限位板设置在圆环形轨道的上方，通过设计增高垫圈的宽度和高度以及限位板的宽度，具体的，设计增高垫圈的宽度小于等于圆环形轨道外侧凸出部分的宽度，所述增高垫圈1的高度小于行星盘的直径乘以sina的乘积，并且增高垫圈1的高度大于圆环形轨道内侧的凹槽的宽度乘以tana的乘积，使得行星盘沿着圆环形轨道运动时行星盘不与所述行星盘限位结构接触，但是行星盘向上运动时会被限位板阻挡使得行星盘不脱离圆环形轨道，对行星盘起到限位的作用；并且设计了一个缺口，方便有需要的时候取下行星盘。本申请人在此基础上完成了本申请。
[0008]一种真空蒸镀机的行星盘限位结构，所述行星盘限位结构用于镀锅进行行星运动的真空镀膜机，行星盘通过固定件与电机连接，电机带动行星盘沿着位于圆环形轨道内侧
的凹槽运动，行星盘为圆形薄片，行星盘与圆环形轨道具有20
‑
70度的倾斜角a，所述行星盘限位结构设置在圆环形轨道的上方，所述行星盘限位结构包括增高垫圈1和限位板2，增高垫圈1与圆环形轨道的上表面和限位板2的下表面固定，所述增高垫圈1有多个并且均匀分布在圆环形轨道的上表面上，所述限位板2为一个圆环形板或者为多个圆弧形板，行星盘沿着圆环形轨道运动时行星盘不与所述行星盘限位结构接触。
[0009]在一些实施方式中，所述增高垫圈1的宽度小于等于圆环形轨道外侧凸出部分的宽度，所述增高垫圈1的高度小于行星盘的直径乘以sina的乘积，并且增高垫圈1的高度大于圆环形轨道内侧的凹槽的宽度乘以tana的乘积。
[0010]进一步的，所述增高垫圈1的高度为5mm
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80mm。优选的，所述增高垫圈1的高度为10mm
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50mm。
[0011]进一步的，所述增高垫圈1有2
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12个。优选的，所述增高垫圈1有3
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6个。
[0012]进一步的，所述增高垫圈1为圆柱体、正方体、长方体中的一种。优选的，所述增高垫圈1为圆柱体或者长方体。
[0013]在一些实施方式中，所述限位板2的宽度与圆环形轨道的宽度相同或者不相同。优选的，所述限位板2的宽度与圆环形轨道的宽度相同，限位板2的内直径与圆环形轨道的内直径相同，限位板2的外直径与圆环形轨道的外直径相同。
[0014]进一步的，所述限位板2为2
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6个圆弧形板，所述圆弧形板之间具有或者不具有间隙。
[0015]进一步优选的，所述圆弧形板之间具有间隙，并且间隙的宽度小于行星盘的直径。
[0016]进一步的，所述限位板2为铝合金或者不锈钢。
[0017]进一步的，所述限位板2的厚度为2
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30mm。优选的，所述限位板2的厚度为3
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10mm。
[0018]在一些实施方式中，所述行星盘限位结构还包括一个圆弧形的缺口3，所述缺口3设置在所述限位板2的内侧，所述缺口3的宽度小于限位板2的宽度，所述缺口3的长度大于等于行星盘的半径小于行星盘的直径，缺口3的设计方便取下行星盘。
附图说明
[0019]图1为本申请的真空蒸镀机的行星盘限位结构及行星运动结构的结构示意图。
[0020]图2为本申请的真空蒸镀机的行星盘限位结构的一种结构示意图。
[0021]图3为本申请的真空蒸镀机的行星盘限位结构的另一种结构示意图。
[0022]主要元件符号说明：
[0023]增高垫圈1、限位板2、缺口3。
具体实施方式
[0024]描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。
[0025]在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的系统或组件内)。
[0026]同时，组件或系统之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数
据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
[0027]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0028]实施例1：
[0029]一种真空蒸镀机的行星盘限位结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机的行星盘限位结构，其特征在于，所述行星盘限位结构用于镀锅进行行星运动的真空镀膜机，行星盘通过固定件与电机连接，电机带动行星盘沿着位于圆环形轨道内侧的凹槽运动，行星盘为圆形薄片，行星盘与圆环形轨道具有20
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70度的倾斜角a，所述行星盘限位结构设置在圆环形轨道的上方，所述行星盘限位结构包括增高垫圈(1)和限位板(2)，增高垫圈(1)与圆环形轨道的上表面和限位板(2)的下表面固定，所述增高垫圈(1)有多个并且均匀分布在圆环形轨道的上表面上，所述限位板(2)为一个圆环形板或者为多个圆弧形板，行星盘沿着圆环形轨道运动时行星盘不与所述行星盘限位结构接触。2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的行星盘限位结构，其特征在于，所述增高垫圈(1)的宽度小于等于圆环形轨道外侧凸出部分的宽度，所述增高垫圈(1)的高度小于行星盘的直径乘以sina的乘积，并且增高垫圈(1)的高度大于圆环形轨道内侧的凹槽的宽度乘以tana的乘积。3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的行星盘限位结构，其特征在于，所述增高垫圈(1)的高度为5mm
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40mm。4.如权利要求3所述的真空蒸镀机的行星盘限位结构，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：