【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的分体式镀锅
[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空镀膜机的分体式镀锅。
技术介绍
[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜，为了镀膜的均匀性，具有单个镀锅的真空镀膜机，镀锅会沿着垂直线进行旋转，镀锅的上方与电机等提供驱动力的部件连接，为镀锅的旋转提供动能，镀膜完成后将整个镀锅取下。但是，取下整个镀锅需要拆除镀锅与电机的连接部件，由于镀锅设置...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的分体式镀锅，所述分体式镀锅位于真空镀膜机的腔室的顶部，其特征在于，所述分体式镀锅包括骨架(1)、伞面件(2)和固定件(3)，所述骨架(1)分别与伞面件(2)和固定件(3)连接，所述固定件(3)与骨架(1)固定并与驱动部件连接，所述驱动部件为所述分体式镀锅提供旋转的动能，所述骨架(1)包括中心圆环部(11)、边沿圆环部(12)和伞骨(13)，所述中心圆环部(11)位于边沿圆环部(12)的上方且中心处，伞骨(13)的一端连接中心圆环部(11)另一端连接边沿圆环部(12)，伞骨(13)有多个且均匀分布，中心圆环部(11)和边沿圆环部(12)之间被伞骨(13)形成多个均匀的伞面室(14)，伞骨(13)、伞面件(2)和伞面室(14)的数量相同，中心圆环部(11)的外边沿、伞骨(13)的内边沿和伞骨(13)的两个侧边沿均为梯形，伞面件(2)的形状和大小与伞面室(14)相对应，伞面件(2)能够放置在伞面室(14)上，伞面件(2)包括通孔(21)，通孔(21)上能够放置被镀膜工件。2.如权利要求1所述的真空镀膜机的分体式镀锅，其特征在于，所述骨架(1)具有2
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12个伞骨(13)和伞面室(14)。3.如权利要求2所述的真空镀膜机的分体式镀锅，其特征在于，所述中心圆环部(11)由中心圆环主体部(111)和中心圆环外边沿部(112)组成，中心圆环外边沿部(112)设置在中心圆环主体部(111)的外边沿，中心圆环外边沿部(112)的底面与中心圆环主体部(111)的底面持平，中心圆环外边沿部(112)的高度小于中心圆环主体部(111)的高度。4.如权利要求2所述的真空镀膜机的分体式镀锅，其特征在于，边沿圆环部(12)由边沿圆环主体部(121)和边沿圆环内边沿部(122)组成，边沿圆环内边沿部(122)设置在边沿圆环主体部(121)的内边沿，边沿圆环内边沿部(122)的底面与边沿圆环主体部(121)的底面持平，边沿圆环内边沿部(122)的高度小于边沿圆环主体部(121...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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