新型氮化炉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种新型氮化炉装置，包括进气总管、原料仓、反应输送管、集尘器，进气总管的进气端安装进气调节总阀，进气总管的出气端连接原料仓底端，原料仓内安装固气分离机构，原料仓的顶端安装加料斗，原料仓顶端连接反应输送管，反应输送管的出料端连接集尘器的顶部，反应输送管的进料端套设高温管式炉，反应输送管的出料端套设水冷却夹套。本实用新型专利技术氮化炉装置利用反应混合气体的流量和压力把原料的高纯度粉体和混合气体送至反应输送管的高温反应区，进行动态氮化反应；反应后的物料经冷却后送至集尘器中，产品在氮气的保护下进行收集和包装，使氮化后的产品达到粉体疏松，不易结块，又能连续、高效、均匀的氮化之目的。的。的。

【技术实现步骤摘要】
新型氮化炉装置


[0001]本技术涉及氮化炉领域，具体涉及一种新型氮化炉装置。

技术介绍

[0002]氮化铝是一种高导热材料的无机粉体，因其高导热性能、良好的绝缘性、低的介电常数等优异的综合性能，被广泛应用于大型集成电路、电子领域的高导热基板、无机导热填料、高性能结构陶瓷等领域。而制备优异的氮化铝粉体是一切应用的起始步骤。现有的氮化铝的制备方法主要是直接氮化法、碳热还原法等，直接氮化法成本低、效率高一直被人使用，但是铝粉的熔点较低，铝粉的氮化过程是一个放热反应，在氮化过程中产生的热量，可以使铝粉瞬间发生融化，发生团聚、结块，结块后的铝粉使氮气或者含氮气体无法继续与铝粉接触，进一步氮化，反应物必须在冷却后取出，进行破碎研磨，继续升温氮化，反复重复，直至所有的铝粉氮化彻底，传统直接法工艺的如此操作，造成氮化铝产品纯度不佳，粒度分布广，有少量的未反应铝粉残存，导致氮化铝粉体的绝缘性不佳等问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种新型氮化炉装置，用以解决现有技术中的直接氮化法工艺制备的氮化铝纯度不佳、粒度分布广及绝缘性不佳的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型氮化炉装置，其特征在于，包括进气总管、原料仓、加料斗、反应输送管、集尘器，所述进气总管的进气端安装进气调节总阀，所述进气总管的出气端连接原料仓底端，所述原料仓内安装固气分离机构，将原料仓内部腔体分为上下两个部分，所述原料仓的顶端安装加料斗，所述加料斗底端安装给料流量阀门，用于向原料仓中定量添加原料，所述原料仓顶端连接反应输送管，所述反应输送管的出料端连接集尘器的顶部，所述反应输送管的进料端套设高温管式炉，所述反应输送管的出料端套设水冷却夹套。2.根据权利要求1所述的新型氮化炉装置，其特征在于，所述进气总管的进气端连接两个进气分管，分别用于N2和NH3的进气，所述进气分管上均安装分进气调节阀。3.根据权利要求1所述的新型氮化炉装置，其特征在于，所述固气分离机构为蜂窝陶瓷板、高密度隔离板或微孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹波，邱颢，
申请(专利权)人：苏州纳迪微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：