【技术实现步骤摘要】
氮化铝纳米颗粒及其制备方法
[0001]本专利技术涉及氮化铝制备
,具体涉及一种氮化铝纳米颗粒及其制备方法。
技术介绍
[0002]氮化铝(AlN)具有导热性好、带隙宽、击穿电场强度高、载流子饱和迁移率高等优异特性,因此被广泛应用于高温、高频、大功率电子器件和集成电路的制作领域作为散热基片或者衬底。高纯氮化铝纳米颗粒,是制备氮化铝陶瓷、氮化铝单晶的源材料。氮化铝纳米颗粒的纯度,颗粒直径,粒度均匀性对材料的性能影响很大。
[0003]制备氮化铝纳米颗粒的方法有氧化铝碳热还原法、铝粉直接氮化法、溶胶法、等离子合成法、含氮化铝键聚合物分解法、水引发固相发应法、溶胶-凝胶法、化学气相沉积法等等。目前工业上运用最为广泛的是氧化铝碳热还原法,业界对其研究也最为深入,这种方法制备的氮化铝纳米颗粒可以规模化生产,纯度也较高,但纳米颗粒粒度较大,且其中的含氧量过高,不能直接用于作为大尺寸氮化铝单晶制备的原料。
[0004]其他制备AlN纳米颗粒的方法也都存在纳米颗粒粒度较大、纯度不够高的问题,都不能直接用于作为大尺寸氮化 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氮化铝纳米颗粒,其特征在于,粒径为5-60nm,杂质质量含量低于10ppm。2.根据权利要求1所述的氮化铝纳米颗粒,其特征在于,其中掺杂有稀土元素。3.根据权利要求2所述的氮化铝纳米颗粒,其特征在于,以阳离子的物质的量计算,所述稀土离子的掺杂浓度为0.1%-5%。4.一种如权利要求1-3任一所述的氮化铝纳米颗粒的制备方法,其特征在于,在压强为5-30kPa、温度为800-1200℃、通入载气的条件下,让氮源气体、铝源气体混合反应,生成氮化铝;使氮化铝进入沉积区,冷却沉积后得到氮化铝纳米颗粒。5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,还包括让稀土化合物气体与所述氮源气体和所述铝源气体混合反应,生成掺杂稀土元素的氮化铝。6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述载气为氢气,所述氮源气体为氨气,所述铝源气体为三氯化铝气体或有机铝化合物气体,所述稀土化合物气体为稀土氯化物气体。7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,以所述氮源气体中的氮原子和所述铝源气体中的铝原子计算,氮源气体与铝源气体的物质的量流量之比为10:1-50:1;以所述铝源气体中的铝原子与所述稀土化合物气体中的稀土原子计算,铝源气体与...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄俊,徐科,
申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。