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本发明公开了一种氮化铝纳米颗粒及其制备方法，本发明采用氮源气体、铝源气体作为反应物料，在特定压强和温度条件下进行反应，并通入载气，获得了粒径为5-60nm，杂质质量含量低于10ppm的纳米尺寸、高纯氮化铝纳米颗粒，解决了现有技术中其他制备方...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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