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新型氮化炉装置制造方法及图纸
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下载新型氮化炉装置的技术资料
文档序号:31414660
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本实用新型涉及一种新型氮化炉装置,包括进气总管、原料仓、反应输送管、集尘器,进气总管的进气端安装进气调节总阀,进气总管的出气端连接原料仓底端,原料仓内安装固气分离机构,原料仓的顶端安装加料斗,原料仓顶端连接反应输送管,反应输送管的出料端连接...
该专利属于苏州纳迪微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州纳迪微电子有限公司授权不得商用。
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