下载新型氮化炉装置的技术资料

文档序号:31414660

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种新型氮化炉装置,包括进气总管、原料仓、反应输送管、集尘器,进气总管的进气端安装进气调节总阀,进气总管的出气端连接原料仓底端,原料仓内安装固气分离机构,原料仓的顶端安装加料斗,原料仓顶端连接反应输送管,反应输送管的出料端连接...
该专利属于苏州纳迪微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州纳迪微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。