电感元件制造技术

提供一种在基板上形成的情况下也可以有效工作的电感元件１０。电感元件１０具有在半导体基板３的表面形成的螺旋形状的２个导体１、２。上层导体１和下层导体２的形状几乎相同，在从半导体基板３的表面侧看时，上层导体１和下层导体２形成为几乎重叠。另外，上层导体１的外周端（外围端）和内周端（中心端）分别连接有引线６ａ、６ｂ，上层导体１的内周端和下层导体２的外周端由连接线６ｃ连接。上层导体１作为电感导体工作，经在其两端连接的引线６ａ、６ｂ，连接到在半导体基板３上形成的电路。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在半导体基板等各种基板上形成的电感元件。
技术介绍
众所周知，利用薄膜成形技术在半导体基板上形成螺旋形状的图形，作为电感元件利用该图形的半导体电路。在这样的半导体基板上形成的电感元件流过电流时，在螺旋形状的图形的垂直方向上产生磁通，该磁通在半导体基板表面上产生涡流而消除有效磁通，所以存在不能作为电感元件有效工作的问题。特别是，在电感元件上流过的信号频率越高，该倾向就越明显，因此，难以在半导体基板上形成含有电感元件的高频电路。专利技术的公开本专利技术是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种在基板上形成的情况下，也可以有效工作的电感元件。本专利技术的电感元件在基板上夹有绝缘层重叠形成2个导体，连接各导体的端之间，同时作为电感导体使用上层导体。通过实验确认，在基板上形成具有这样结构的电感元件，也不会被涡流等消除电感成分，具有规定电感，作为电感元件有效工作。特别是，最好上述2个导体形成为几乎同一形状的长件形状。利用同一形状，由于上层导体不与基板表面直接对置，所以可以降低直接对置时在基板上产生的涡流。另外，通过使2个导体形状为长件形状，可使上层导体具有规定电感。特别是，在导体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电感元件，其特征在于： 具有相互绝缘的状态下重叠在基板形成的２个导体，连接各导体的端之间，同时作为电感导体使用上层的上述导体。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：冈本明，池田毅，
申请(专利权)人：新泻精密株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]