电感元件制造技术

目的是提供即使形成在衬底上也能有效地工作的电感元件。电感元件１００，包括形成在半导体衬底表面的２个涡形的导体１２０，１２２。上层的导体１２０和下层的导体１２２具有基本相同的形状，导体１２０的内周端和导体１２２的外周端电气相接。另外，导体１２０的外周端和内周端分别与引出线１３０，１３２相连接，连接到内周端的引出线１３２通过下层的导体１２２和半导体衬底１１０之间引出到外部。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是关于半导体衬底等各种衬底上形成的电感元件。本专利技术的电感元件，具有在相互绝缘的状态下在衬底上重叠形成的，各自的一端相连接的两个导体，离衬底较远的一个作为电感导体使用，同时，从离衬底较近的另一个导体和衬底之间通过，引出该电感导体的引出线。试验证明，一端相连接的两个导体在衬底上重叠配置，离衬底较远的导体作为电感导体使用的情况下，该电感导体即使形成在衬底上，由涡形电流产生的电感分量也不会消失，而具有规定的电感。特别是，通过从另一个导体和衬底之间引出该电感导体，能够将电感导体产生的有效磁通量的流动的遮挡作用抑制到最小限度，得到良好的特性。特别是，最好是在上述衬底上形成3层以上的金属层，用相互之间隔一层以上的不同层的金属层，来分别形成上述的2个导体和引出线。通过这样的结构，因为电感导体和引出线之间至少能够相隔2层以上，所以能使流过引出线的电流产生的影响变得更小。另外，最好使用从电感导体的一端延伸出来的引出线的一部分，来进行2个导体的各自一端的连接。因为能减少与电感导体交叉的导线〔引出线和连线〕的个数，所以能进一步减低由电感导体产生的对有效磁通量的流动的遮蔽作用。另外，使用曝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电感元件，其特征在于，具有在相互绝缘的状态下在衬底上重叠形成的各自一端相连接的２个导体，距离上述衬底较远的一个上述导体作为电感导体使用，该电感导体的引出线配置在通过距离上述衬底较近的另一个导体和上述衬底之间的位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：冈本明，池田毅，
申请(专利权)人：新泻精密株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]