【技术实现步骤摘要】
一种石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备装置
[0001]本专利技术涉及碳化钽涂层制备领域，尤其涉及一种石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备装置。
技术介绍
[0002]石墨(熔点为3850℃)具有耐高温性，且热膨胀系数很小，强度也较高，被广泛应用于半导体行业中高温反应炉中的支撑件或反应坩埚。但在实际生产中，高温反应炉中常需要在含有氢气、氧气和氮化物等气体，但当反应炉内的温度升至1000℃以上时，氢气、氧气和氮化物等气体会快速与石墨反应从而刻蚀石墨材料，缩短石墨材料使用寿命。另一方面，石墨是一种孔隙率比较高的材料，孔隙率约10～23％，高温金属熔液与石墨件表面接触后，熔液易浸入石墨材料内。当炉温降至室温后，熔液凝固，清理石墨基板和坩埚时，很难将熔液凝固后的物质完全清除，工件再次升温时凝固的金属会再次挥发出来污染下一批半导体器件。
[0003]碳化钽(TaC)具备耐高温，且在氧化或还原气氛下均有较强的抗腐蚀能力，其熔点高达4273K。在石墨材料表面制备致密碳化钽涂层，可防止高温环境下，氢气、氧气和氮化物等气体对石墨材料的刻蚀，也可...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备装置，包括箱体(1)，箱体(1)上设置有用于将外部气体通入箱体(1)内的进气口(11)和用于箱体(1)内进行抽气的抽气口(12)，其特征在于：所述箱体(1)内设置有环形的用于悬挂石墨基板的支架(13)，在箱体(1)的顶部设置有可进行上下升降用于伸入箱体(1)内的温度控制机构(4)，在箱体(1)的侧壁上设置有喷涂机构(2)，喷涂机构(2)和外部的涂料混合箱(3)连接。2.根据权利要求1所述的石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备装置，其特征在于：所述支架(13)的底部有设置于外部的驱动电机(14)连接。3.根据权利要求2所述的石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备装置，其特征在于：所述喷涂机构(2)包括喷涂电机(21)、第一万向节(22)、第二万向节(23)、滑块(24)、导杆(25)、齿盘(26)、不完全齿轮(27)和传动齿轮(28)、支撑杆(29)和喷嘴(291)，第一万向节(22)包括第一U形块(221)、第二U形块(222)、第一方形块(223)，第一U形块(221)和喷涂电机(21)的输出端连接，第一方形块(223)设置于第一U形块(221)和第二U形块(222)之间，第一U形块(221)通过插销和第一方形块(223)铰接在一起，第二U形块(222)通过插销和第一方形块(223)铰接在一起，第二万向节(23)包括第三U形块(231)、第四U形块(232)、第二方形块(233)，第三U形块(231)和第二U形块(233)连接，第二方形块(233)设置于第三U形块(231)和第四U形块(232)之间，第三U形块(231)通过插销和第二方形块(233)铰接在一起，第四U形块(232)通过插销和第二方形块(233)铰接在一起，第四U形块(233)的外端输出轴转动设置于滑块(24)之上，滑块(24)滑动设置于导杆(25)之上，第四U形块(232)的外端输出轴和齿盘(26)的转动中心连接，齿盘(26)内部形成有一环向腔室(261)，不完全齿轮(27)和传动齿轮(28)设置于环向腔室(261)内，环向腔室(261)的侧壁上形成有一内齿弧段(262)，不完全齿轮(27)传动连接于齿盘(26)的转动中心处，传动齿轮(28)限位于不完全齿轮(27)和环向腔室(261)的侧壁之间，传动齿轮(28)始终于不完全齿轮(27)的齿形段(271)或内齿弧段(262)的其中一个相互传动，支撑杆(29)连接于伸出齿盘(26)的传动齿轮(28)的输出端之上，喷嘴(291)设置于支撑杆(29)之上。4.根据权利要求1所述的石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备装置，其特征在于：所述支架(13)的顶部设置有支撑环(5)和驱动齿轮(53)，支撑环(5)的上端面之上周向间隔均布有多个传动柱(52)，在支撑环(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：周李伟，陈凯，丁柳宁，
申请(专利权)人：浙江六方碳素科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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