本实用新型专利技术公开了一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括底座和石墨盘，底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，底座的上表面中部开设有阶梯安装孔，主进气孔与阶梯安装孔的下部一侧连通，第一分气孔和第二分气孔分别设置于阶梯安装孔的中部两侧，阶梯安装孔内设置有用于阻挡气体直接从阶阶梯安装孔的下部型腔进入中部型腔的阻挡块，阻挡块上端连接有用于推动石墨盘悬浮的推杆，推杆的上端外侧套设有与底座固定连接的限位导向套。本实用新型专利技术能够避免因第一和第二倾斜出气孔排气量出现偏差造成的石墨盘无法悬浮，提高了装置的实用性。提高了装置的实用性。提高了装置的实用性。
【技术实现步骤摘要】
一种气相沉积炉内气体悬浮装置
[0001]本技术涉及气相沉积炉
，具体为一种气相沉积炉内气体悬浮装置。
技术介绍
[0002]气相沉积的基本原理涉及反应化学、热力学、动力学、转移机理、膜生长现象和反应工程。主要以金属蒸气、挥发性金属卤化物、氢化物或金属有机化合物等蒸气为原料，进行气相热分解反应，以及两种以上单质或化合物的反应，再凝聚生成各种形态的材料。化学气相沉积工艺中，沉积薄膜的均匀性极为重要，薄膜的均匀性主要受到炉内气体分布的影响。化学气相沉积过程是一个极为复杂的化学过程，气体是否均匀分布会对工艺的沉积速率、膜层的致密性、薄膜均匀性等产生较大影响。通常来说化学气相沉积受气体流场等工艺因素影响均匀性难以保证，为了提高涂层均匀性一般采用石墨盘旋转装置，可以达到稳定生产的目的。
[0003]中国技术专利CN211079325U公开了一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括平行设置并且旋转配合的石墨盘和底座，所述底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，所述第一分气孔、第二分气孔分别位于所述主进气孔的两侧，所述第一分气孔、第二分气孔分别与所述主进气孔交汇连通于同一点。该技术的保证了气体流动阻力一致，有效保证了两倾斜气体流量一样，悬浮效果好，旋转顺畅，可显著提高薄膜均匀性以及质量，并有效延长装置的使用周期，但仍存在一些问题，如当第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔任意一气孔出现阻塞，都会造成第一和第二倾斜出气孔排出气量出现偏差，从而造成石墨盘的两侧所受推力的大小不同，进而造成石墨盘无法悬浮，降低了装置的实用性较低。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种气相沉积炉内气体悬浮装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括底座和石墨盘，所述底座上设有主进气孔、第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔和第二倾斜出气孔，所述底座的上表面中部开设有阶梯安装孔，所述主进气孔与所述阶梯安装孔的下部一侧连通，所述第一分气孔和第二分气孔分别设置于所述阶梯安装孔的中部两侧，所述阶梯安装孔内设置有用于阻挡气体直接从阶阶梯安装孔的下部型腔进入中部型腔的阻挡块，所述阻挡块上端连接有用于推动石墨盘悬浮的推杆，所述推杆的上端外侧套设有与底座固定连接的限位导向套，限位导向套内设置有用于密封的密封圈。
[0006]优选的，所述阻挡块和所述推杆为一体结构，所述阻挡块的下端固定连接有橡胶密封垫。
[0007]优选的，所述限位导向套的上端连接有导向转套，且导向转套与限位导向套为一体结构，所述石墨盘的下端开设有与导向转套相匹配的导向转孔。
[0008]优选的，所述阻挡块的上端与所述限位导向套的下端距离小于所述导向转孔的深度。
[0009]优选的，所述底座中镶嵌设置有气道镶块，所述第一分气孔、第二分气孔、第一倾斜出气孔、第二倾斜出气孔和阶梯安装孔均设置于所述气道镶块上。
[0010]与现有技术相比，本技术提供了一种气相沉积炉内气体悬浮装置，具备以下有益效果：本技术采用气体推动阻挡块，并通过阻挡块带动推杆向上推动石墨盘与底座分离，从而避免因第一和第二倾斜出气孔排气量出现偏差造成的石墨盘无法悬浮，提高了装置的实用性。
附图说明
[0011]图1为本技术的主视图；
[0012]图2为本技术的主视剖视图；
[0013]图3为图1中A处剖面结构示意图；
[0014]图4为本技术中的部分立体视图。
[0015]图中：1、底座；10、主进气孔；11、第一分气孔；12、第二分气孔；13、第一倾斜出气孔；14、第二倾斜出气孔；15、阶梯安装孔；2、石墨盘；3、阻挡块；4、推杆；5、限位导向套；6、橡胶密封垫；7、导向转套；8、气道镶块。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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4，本技术提供的一种气相沉积炉内气体悬浮装置实施例：一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括底座1和石墨盘2，底座1上设有主进气孔10、第一分气孔11、第二分气孔12、第一倾斜出气孔13和第二倾斜出气孔14，底座1的上表面中部开设有阶梯安装孔15，主进气孔10与阶梯安装孔15的下部一侧连通，第一分气孔11和第二分气孔12分别设置于阶梯安装孔15的中部两侧，底座1中镶嵌设置有气道镶块8，第一分气孔11、第二分气孔12、第一倾斜出气孔13、第二倾斜出气孔14和阶梯安装孔15均设置于气道镶块8上，阶梯安装孔15内设置有用于阻挡气体直接从阶阶梯安装孔15的下部型腔进入中部型腔的阻挡块3，阻挡块3上端连接有用于推动石墨盘2悬浮的推杆4，阻挡块3和推杆4为一体结构，阻挡块3的下端固定连接有橡胶密封垫6，通过橡胶密封垫6的密封作用，使得阶梯安装孔15的下部型腔构成一个密封腔室，使得气体要进入到阶梯安装孔15的中部型腔中，必须向上推动阻挡块3，推杆4的上端外侧套设有与底座1固定连接的限位导向套5，限位导向套5内设置有用于密封的密封圈，使得阻挡块3带动推杆4沿着限位导向套5的内壁垂直推动石墨盘2，进而使得石墨盘2处于悬浮状态，同时气体流入到阶梯安装孔15的中部型腔中，并分别进入到第一分气孔11和第二分气孔12中，最后气体通过第一倾斜出气孔13和第二倾斜出气孔14排出，并推动悬浮的石墨盘2旋转运动。
[0018]在本实施中，如图2所示，限位导向套5的上端连接有导向转套7，且导向转套7与限
位导向套5为一体结构，石墨盘2的下端开设有与导向转套7相匹配的导向转孔，通过导向转套7与导向转孔间的插接配合，使得石墨盘2始终保持水平状态，同时阻挡块3的上端与限位导向套5的下端距离小于导向转孔的深度，使得导向转套7不会与导向转孔脱离。
[0019]作原理：工作时，气体通过主进气孔10进入到阶梯安装孔15的下部型腔中，气体向上推动阻挡块3，使得阻挡块3带动推杆4沿着限位导向套5的内壁垂直推动石墨盘2，进而使得石墨盘2处于悬浮状态，同时气体流入到阶梯安装孔15的中部型腔中，并分别进入到第一分气孔11和第二分气孔12中，最后气体通过第一倾斜出气孔13和第二倾斜出气孔14排出，并推动悬浮的石墨盘2旋转运动。
[0020]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气相沉积炉内气体悬浮装置，包括底座(1)和石墨盘(2)，所述底座(1)上设有主进气孔(10)、第一分气孔(11)、第二分气孔(12)、第一倾斜出气孔(13)和第二倾斜出气孔(14)，其特征在于：所述底座(1)的上表面中部开设有阶梯安装孔(15)，所述主进气孔(10)与所述阶梯安装孔(15)的下部一侧连通，所述第一分气孔(11)和第二分气孔(12)分别设置于所述阶梯安装孔(15)的中部两侧，所述阶梯安装孔(15)内设置有用于阻挡气体直接从阶阶梯安装孔(15)的下部型腔进入中部型腔的阻挡块(3)，所述阻挡块(3)上端连接有用于推动石墨盘(2)悬浮的推杆(4)，所述推杆(4)的上端外侧套设有与底座(1)固定连接的限位导向套(5)。2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉内气体悬浮装置，其特征在于：所述阻挡...
【专利技术属性】
技术研发人员：何少龙，丁柳宁，盛锋锋，周李伟，
申请(专利权)人：浙江六方碳素科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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