一种分区段晶圆片载体制造技术

本实用新型专利技术公开的属于晶圆片技术领域，具体为一种分区段晶圆片载体，包括扇形承载盘构件与载体构件，所述扇形承载盘构件设有三组，三组所述扇形承载盘构件对称设置，拼装成圆盘状的可拆式载体，所述扇形承载盘构件内壁安装有载体构件，所述载体构件包括限位盘组件，本实用新型专利技术通过马达驱动齿轴旋转，齿轴带动齿轮一旋转，齿轮一通过内齿带动六组齿轮二旋转，齿轮二与士型条的齿纹啮合，使士型条带动六组扇型托板向外呈扩散状移动，并且移动距离大于限位架的通孔一的直径，使通孔一内的晶圆片掉落至石墨筒内，通过石墨筒掉落至研磨转盘上，具有在不接触晶圆片进行运输的的效果。具有在不接触晶圆片进行运输的的效果。具有在不接触晶圆片进行运输的的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种分区段晶圆片载体


[0001]本技术涉及晶圆片
，具体涉及一种分区段晶圆片载体。

技术介绍

[0002]在晶圆制造的研磨和刻蚀过程中，通过机械手臂抓取晶圆片，将多个晶圆片一次性放置在具有研磨液的上下两个反向旋转垫之间，由多组齿轮转盘组成，如图16所示，去除损坏的表面硅，并研磨至预期晶圆厚度。
[0003]现有技术存在以下不足：现有的通过机械手臂重复单次抓取，容易使机械手产生较大的竖直位移变形，影响效率，且机械手臂与晶圆片接触易破坏晶圆片表面。
[0004]因此，专利技术一种分区段晶圆片载体很有必要。

技术实现思路

[0005]为此，本技术提供一种分区段晶圆片载体，通过马达驱动齿轴旋转，齿轴带动齿轮一旋转，齿轮一通过内齿带动六组齿轮二旋转，齿轮二与士型条的齿纹啮合，使士型条带动六组扇型托板向外呈扩散状移动，并且移动距离大于限位架的通孔一的直径，使通孔一内的晶圆片掉落至石墨筒内，通过石墨筒掉落至研磨转盘上，具有在不接触晶圆片进行运输的的效果，以解决在不接触晶圆片同时进行运输的问题。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种分区段晶圆片载体，包括扇形承载盘构件与载体构件，所述扇形承载盘构件设有三组，三组所述扇形承载盘构件对称设置，拼装成圆盘状的可拆式载体，所述扇形承载盘构件内壁安装有载体构件，所述载体构件包括限位盘组件；
[0007]所述限位盘组件包括托盘，所述托盘外壁顶部固定安装有形环，所述托盘顶部中心位置固定安装有支撑环，所述形环与托盘之间开设有滑槽，所述滑槽内壁活动安装有齿轮一，所述形环与支撑环之间设有转轴，所述转轴设有六组，所述转轴均匀安装在托盘顶部，六组所述转轴外壁活动安装有齿轮二，六组所述齿轮二外壁底部与齿轮一内壁啮合连接；
[0008]所述支撑环与形环顶部开设有T形槽，所述T形槽设有六组，六组所述T形槽对称设置且靠近所述齿轮二一侧，所述限位盘组件顶部设有士型条，所述士型条设有六组，六组所述士型条底部分别插接在六组所述T形槽内壁且与支撑环和形环滑动连接，所述士型条一侧设置有齿纹，所述齿纹与齿轮二外壁顶部啮合连接，所述士型条顶部固定安装有扇型托板，所述扇型托板设有六组，六组所述扇型托板对称设置，拼装成圆盘状的结构，所述扇型托板顶部安装有限位架，所述限位架内壁开设有通孔一，所述通孔一内壁安装有晶圆片，所述限位架顶部可拆卸安装有盖板，所述支撑环内壁底部固定安装有石墨筒。
[0009]优选的，所述滑槽内壁设有环形条一，所述环形条一顶部与形环内壁固定连接，所述托盘顶部开设有环形槽一，所述环形槽一设置在滑槽内壁且与环形条一相互垂直，所述齿轮一顶部开设有环形槽二，所述齿轮一底部固定安装有环形条二，所述环形条一插接在
环形槽二内壁，所述环形条二插接在环形槽一内壁，所述齿轮一与形环和托盘滑动连接。
[0010]优选的，所述限位架顶部均匀设置有筋条，所述限位架顶部四角处固定安装有弹性扣，所述盖板顶部中心位置开设有通孔二，所述通孔二与通孔一相互垂直，所述盖板底部均匀开设有筋槽，所述盖板四角处固定安装有扣板，所述扣板设有四组，所述扣板内壁开设有卡槽，所述弹性扣插接在卡槽内壁。
[0011]优选的，所述扇形承载盘构件包括扇形底板，所述扇形底板顶部固定安装有扇形底板，所述扇形底板与扇形底板之间开设有活动腔，所述扇形底板内壁开设有限位槽，所述载体构件设置在活动腔和限位槽内壁，所述托盘底部与扇形底板顶部固定连接，所述限位架安装在限位槽内壁且与扇形底板相互平行，所述限位槽内壁均匀设有凸板，所述凸板设有四组，所述盖板外壁开设有侧板，所述侧板设有四组，所述盖板安装在扇形底板顶部且侧板底部与凸板顶部连接，所述扇形底板内壁中心开设有安装槽，所述石墨筒插接在安装槽内壁，所述形环一侧开设有缺口，所述缺口内壁固定安装有支撑板，所述支撑板底部安装有齿轴，所述支撑板与缺口活动连接，所述扇形底板底部固定安装有马达，所述马达顶部输出轴与齿轴固定连接。
[0012]优选的，所述扇形底板左侧固定安装有凸条，所述扇形底板右侧固定安装有凹槽，所述凸条与凹槽相互配合。
[0013]优选的，所述扇形底板顶部固定安装有抓取块，所述扇形底板底部固定安装有定位块，所述三组所述抓取块与定位块对称设置且拼装成圆柱体，所述扇形底板底部一侧固定安装有定位边板。
[0014]本技术的有益效果是：
[0015]1.通过马达驱动齿轴旋转，齿轴带动齿轮一旋转，齿轮一通过内齿带动六组齿轮二旋转，齿轮二与士型条的齿纹啮合，使士型条带动六组扇型托板向外呈扩散状移动，并且移动距离大于限位架的通孔一的直径，使通孔一内的晶圆片掉落至石墨筒内，通过石墨筒掉落至研磨转盘上，具有在不接触晶圆片进行运输的的效果；
[0016]2.晶圆片放置在限位架的通孔一内，搬运机械手每次单独抓取扇形承载盘构件的抓取块，用于进行单独搬运，或者将三组所述扇形承载盘构件对称设置，拼装成圆盘状的可拆式载体，进行整体搬运，通过分区段的方式进行搬运，具有不同适用于不同使用场景的效果。
附图说明
[0017]图1为本技术的立面结构示意图；
[0018]图2为本技术的载体构件安装结构示意图；
[0019]图3为本技术的载体构件立面结构示意图；
[0020]图4为本技术的载体构件分解结构示意图；
[0021]图5为本技术的限位架连接结构示意图；
[0022]图6为本技术的载体构件运行结构示意图；
[0023]图7为本技术的齿轮二安装结构示意图；
[0024]图8为本技术的限位盘组件剖面结构示意图；
[0025]图9为本技术的士型条结构示意图；
[0026]图10为本技术的齿轮一安装结构示意图；
[0027]图11为本技术的齿轮一仰视结构示意图；
[0028]图12为本技术的限位架安装结构示意图；
[0029]图13为本技术的盖板安装结构示意图；
[0030]图14为本技术的扇形承载盘构件俯视结构示意图；
[0031]图15为本技术的扇形承载盘构件仰视结构示意图；
[0032]图16为本技术与研磨机齿轮转盘安装示意图。
[0033]图中：扇形承载盘构件100、扇形底板110、扇形面板120、限位槽121、凸板122、活动腔123、凸条130、凹槽140、抓取块150、定位块160、安装槽170、马达180、定位边板190、载体构件200、限位盘组件210、托盘211、支撑环212、7形环213、滑槽214、环形槽一215、环形条一216、T形槽217、石墨筒220、缺口221、支撑板222、齿轴223、齿轮一230、环形条二231、环形槽二232、转轴240、齿轮二241、士型条250、齿纹251、扇型托板260、限位架270、通孔一271、筋条272、弹性扣273、盖板280、通孔二281、筋槽282、扣板2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分区段晶圆片载体，包括扇形承载盘构件(100)与载体构件(200)，其特征在于：所述扇形承载盘构件(100)设有三组，三组所述扇形承载盘构件(100)对称设置，拼装成圆盘状的可拆式载体，所述扇形承载盘构件(100)内壁安装有载体构件(200)，所述载体构件(200)包括限位盘组件(210)；所述限位盘组件(210)包括托盘(211)，所述托盘(211)外壁顶部固定安装有7形环(213)，所述托盘(211)顶部中心位置固定安装有支撑环(212)，所述7形环(213)与托盘(211)之间开设有滑槽(214)，所述滑槽(214)内壁活动安装有齿轮一(230)，所述7形环(213)与支撑环(212)之间设有转轴(240)，所述转轴(240)设有六组，所述转轴(240)均匀安装在托盘(211)顶部，六组所述转轴(240)外壁活动安装有齿轮二(241)，六组所述齿轮二(241)外壁底部与齿轮一(230)内壁啮合连接；所述支撑环(212)与7形环(213)顶部开设有T形槽(217)，所述T形槽(217)设有六组，六组所述T形槽(217)对称设置且靠近所述齿轮二(241)一侧，所述限位盘组件(210)顶部设有士型条(250)，所述士型条(250)设有六组，六组所述士型条(250)底部分别插接在六组所述T形槽(217)内壁且与支撑环(212)和7形环(213)滑动连接，所述士型条(250)一侧设置有齿纹(251)，所述齿纹(251)与齿轮二(241)外壁顶部啮合连接，所述士型条(250)顶部固定安装有扇型托板(260)，所述扇型托板(260)设有六组，六组所述扇型托板(260)对称设置，拼装成圆盘状的结构，所述扇型托板(260)顶部安装有限位架(270)，所述限位架(270)内壁开设有通孔一(271)，所述通孔一(271)内壁安装有晶圆片(290)，所述限位架(270)顶部可拆卸安装有盖板(280)，所述支撑环(212)内壁底部固定安装有石墨筒(220)。2.根据权利要求1所述的一种分区段晶圆片载体，其特征在于：所述滑槽(214)内壁设有环形条一(216)，所述环形条一(216)顶部与7形环(213)内壁固定连接，所述托盘(211)顶部开设有环形槽一(215)，所述环形槽一(215)设置在滑槽(214)内壁且与环形条一(216)相互垂直，所述齿轮一(230)顶部开设有环形槽二(232)，所述齿轮一(230)底部固定安装有环形条二(231)，所述环形条一(216)插接在环形槽二(232)内壁，所述环形条二(231)插接在环形槽一(215)内壁，所述齿轮一(23...

【专利技术属性】
技术研发人员：何少龙，盛锋锋，丁柳宁，
申请(专利权)人：浙江六方碳素科技有限公司，
类型：新型
国别省市：