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本发明公开了一种石墨基板上的烧结碳化钽涂层制备装置，包括箱体，箱体上设置有用于将外部气体通入箱体内的进气口和用于箱体内进行抽气的抽气口，其特征在于：所述箱体内设置有环形的用于悬挂石墨基板的支架，在箱体的顶部设置有可进行上下升降用于伸入箱体内...
该专利属于浙江六方碳素科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江六方碳素科技有限公司授权不得商用。

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