本发明专利技术提供了一种空中搬运装置及搬运系统，空中搬运装置包括车体，车体设置在行进导轨上并能够沿行进导轨的延伸方向行进，空中搬运装置还包括：转向导轨，架设在行进导轨的转向区域上方；转向引导组件，设置在车体的上端，转向引导组件能够相对于车体滑动，且转向引导组件的滑动方向与车体的行进方向之间具有夹角，夹角为劣角，转向引导组件能够与转向导轨配合抵接以对车体进行换向引导。将转向导轨设置在行进导轨的转向区域上方，当车体需要进行转向时，转向引导组件可以相对于车体进行滑动，从而改变转向引导组件相对于车体的位置，即改变转向引导组件与转向导轨的抵接位置，从而实现车体的换向引导，使车体能够在行进过程中进行转向。中进行转向。中进行转向。
【技术实现步骤摘要】
一种空中搬运装置及搬运系统
[0001]本专利技术属于物料搬运系统领域，更确切的说涉及半导体制造技术，尤其涉及一种空中搬运装置及搬运系统。
技术介绍
[0002]随着集成电路在日常生活中的普遍应用，半导体在产品中开始扮演角色日益重要，其需求相对也大幅提升，因此促进了全球半导体市场的蓬勃发展。为了满足集成电路的大量需求，大部分的半导体制造企业都以提高产能及合格率为优先目标。在半导体制造企业中，晶片通常是采用批量的搬运方式，然而通过人力搬运不仅效率低，也容易发生危险、且搬运过程中存在芯片污染、芯片碰撞破碎等不确定因素。为解决人工搬运所带来的风险及不确定因素，自动物料搬运系统(AMHS：Automatic Material Handling System)应运而生，并且已经广泛应用在半导体制造行业中。
[0003]空中运输系统(OHT:Overhead
‑
Hosit
‑
Transportation)是一种搬运物料的系统(Foup：Front Open Unified Pod)，因其具有更大的空间自由度而经常被用在自动物料搬运系统中。目前，晶片厂(Fabrication，Fab)之间的晶片传送，一般以OHT小车为载体来完成各个工序之间的衔接。以OHT小车为载体进行搬运需要进行在设备的指定位置进行精确定位且需要在轨道上进行行驶且换向转弯，但现有技术中的OHT小车并不能实现上述功能。
[0004]基于以上本申请提供了解决以上技术问题的技术方案。
技术实现思路
[0005]本专利技术的主要目的是克服现有技术缺陷，提供一种空中搬运装置及搬运系统，解决了现有空中运输系统的小车无法实现转向的功能，提升了空中搬运装置的转向能力。
[0006]本专利技术提供的技术方案如下：一种空中搬运装置，包括车体，车体设置在行进导轨上并能够沿行进导轨的延伸方向行进，空中搬运装置还包括：转向导轨，架设在行进导轨的转向区域上方；转向引导组件，设置在车体的上端，转向引导组件能够相对于车体滑动，且转向引导组件的滑动方向与车体的行进方向之间具有夹角，夹角为劣角，转向引导组件能够与转向导轨配合抵接以对车体进行换向引导。
[0007]进一步地，转向引导组件包括：直线导轨，固定设置在车体的上端，直线导轨的延伸方向与车体的行进方向垂直；滑块，设置在直线导轨上，滑块能够沿直线导轨的延伸方向相对于车体滑动；转弯上导向轮组，设置在滑块的上端面，转弯上导向轮组能够与转向导轨配合抵接；转弯导向驱动组件，设置在车体的上端，转弯导向驱动组件能够驱动滑块沿直线导轨滑动。
[0008]进一步地，转弯导向驱动组件包括：旋转电磁铁，固定设置在车体的上端；转臂，一端与旋转电磁铁的旋转轴固定连接，转臂的另一端与滑块铰接，旋转电磁铁驱动转臂转动从而带动滑块滑动。
[0009]进一步地，转向引导组件还包括：到位限位块，对称设置在直线导轨的两端并限制
滑块的滑动位置；位置检测组件，设置在车体上端并用于检测转臂的位置和/或滑块的位置，并通过位置检测组件传输对应的位置检测信号。
[0010]进一步地，转弯导向驱动组件还包括转弯下导向轮组，设置在车体的下端，转弯下导向轮组能够与行进导轨的内侧壁抵接配合。
[0011]进一步地，车体包括结构相同的第一车体和第二车体，第一车体的尾端与第二车体的首端连接，且第一车体的上端和第二车体的上端均设置有转向引导组件。
[0012]进一步地，第一车体包括：本体；行走轮组，对称设置在本体的两侧并能够与行进导轨的上端面抵接；平行轴减速机，设置在本体上，平行轴减速机的输出轴与行走轮组连接；伺服电机，设置在本体上并与平行轴减速机的输入轴连接。
[0013]进一步地，空中搬运装置还包括防碰撞组件，防碰撞组件设置在第一车体的首端与第二车体的尾端。
[0014]进一步地，防碰撞组件包括防撞块和防撞检测单元，防撞块设置在第一车体的首端，防撞检测单元设置在第二车体的尾端；或者，防撞块设置在第二车体的尾端，防撞检测单元设置在第一车体的首端；其中，防撞检测单元包括：防撞筒体，一端与对应的第一车体或者第二车体固定连接，防撞筒体的另一端为开口端；弹簧，设置在防撞筒体中；压缩检测块，与开口端卡接设置，压缩检测块的一端与弹簧抵接，压缩检测块的另一端置于开口端外侧并能够与相邻车体上设置的防撞块抵接；撞击检测传感器，设置在防撞筒体内，撞击检测传感器能够检测压缩检测块的位移并对应发送撞击反馈信号。
[0015]进一步地，行进导轨的下表面设置有多个间隔设置的位置条码，空中搬运装置还包括条码读取反馈组件，设置在车体的下端，条码读取反馈组件能够读取位置条码的位置信息并发送对应的位置信号。
[0016]进一步地，空中搬运装置还包括无线取电装置，设置在车体上并与车体和转向引导组件电连接。
[0017]本专利技术还提供了一种搬运系统，包括空中搬运装置、运输仓和搬运组件，空中搬运装置为上述的空中搬运装置，运输仓悬吊在车体的下方，搬运组件设置在空中搬运装置的一侧，搬运组件能够将待搬运的半导体设备搬运至运输仓内。
[0018]通过本专利技术提供的空中搬运装置，能够带来以下至少一种有益效果：将转向导轨设置在行进导轨的转向区域上方，当车体需要进行转向时，转向引导组件可以相对于车体进行滑动，从而改变转向引导组件相对于车体的位置，即改变转向引导组件与转向导轨的抵接位置，从而实现车体的换向引导，使车体能够在行进过程中进行转向。
附图说明
[0019]下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
[0020]图1为本专利技术实施例的整体装配结构示意图；
[0021]图2为本专利技术实施例中车体的结构示意图；
[0022]图3为本专利技术实施例中转向引导组件的结构示意图；
[0023]图4为本专利技术实施例中转弯下导向轮组的装配俯视图；
[0024]图5为本专利技术实施例中转弯下导向轮组的装配侧视图；
[0025]图6为本专利技术实施例中防碰撞组件的装配结构示意图；
[0026]图7为本专利技术实施例中转向导轨与车体的装配结构示意图；
[0027]图8为本专利技术实施例中位置条码和条码读取反馈组件的装配结构示意图。
[0028]图中附图标记：11、第一车体；111、伺服电机；112、平行轴减速机；113、行走轮组；12、转向引导组件；121、旋转电磁铁；122、转臂；123、直线导轨；124、到位感应片；125、槽型检测传感器；126、到位限位块；127、转弯上导向轮组；128、滑块；13、转弯下导向轮组；14、防撞块；16、位置条码；17、条码读取反馈组件；21、第二车体；24、防撞检测单元；25、无线取电装置；31、直行引导轨；32、转向引导轨。
具体实施方式
[0029]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本专利技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种空中搬运装置，包括车体，所述车体设置在行进导轨上并能够沿所述行进导轨的延伸方向行进，其特征在于，所述空中搬运装置还包括：转向导轨，架设在所述行进导轨的转向区域上方；转向引导组件，设置在所述车体的上端，所述转向引导组件能够相对于所述车体滑动，且所述转向引导组件的滑动方向与所述车体的行进方向之间具有夹角，所述夹角为劣角，所述转向引导组件能够与所述转向导轨配合抵接以对所述车体进行换向引导。2.根据权利要求1所述的空中搬运装置，其特征在于，所述转向引导组件包括：直线导轨，固定设置在所述车体的上端，所述直线导轨的延伸方向与所述车体的行进方向垂直；滑块，设置在所述直线导轨上，所述滑块能够沿所述直线导轨的延伸方向相对于所述车体滑动；转弯上导向轮组，设置在所述滑块的上端面，所述转弯上导向轮组能够与所述转向导轨配合抵接；转弯导向驱动组件，设置在所述车体的上端，所述转弯导向驱动组件能够驱动所述滑块沿所述直线导轨滑动。3.根据权利要求2所述的空中搬运装置，其特征在于，所述转弯导向驱动组件包括：旋转电磁铁，固定设置在所述车体的上端；转臂，一端与所述旋转电磁铁的旋转轴固定连接，转臂的另一端与所述滑块铰接，所述旋转电磁铁驱动所述转臂转动从而带动所述滑块滑动。4.根据权利要求3所述的空中搬运装置，其特征在于，所述转向引导组件还包括：到位限位块，对称设置在所述直线导轨的两端并限制所述滑块的滑动位置；位置检测组件，设置在所述车体上端并用于检测所述转臂的位置和/或所述滑块的位置，并通过所述位置检测组件传输对应的位置检测信号。5.根据权利要求1所述的空中搬运装置，其特征在于，所述转弯导向驱动组件还包括转弯下导向轮组，设置在所述车体的下端，所述转弯下导向轮组能够与所述行进导轨的内侧壁抵接配合。6.根据权利要求1至5中任一项所述的空中搬运装置，其特征在于，所述车体包括结构相同的第一车体和第二车体，所述第一车体的尾端与所述第二车体的首端连接，且所述第一车体的上端和所述第二车体的上端均设置有所述转向引导组件。7.根据权利要求6所...
【专利技术属性】
技术研发人员：李占国，王嘉祯，杜宝宝，缪峰，
申请(专利权)人：弥费实业上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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