本实用新型专利技术提供一种用于晶圆的生产固定装置，包括：固定支撑杆，所述固定支撑杆一端设有左夹紧固定装置、另一端设有右夹紧固定装置，所述左夹紧固定装置、右夹紧固定装置之间对称设置，所述固定支撑杆中部设有旋转固定座，所述旋转固定座通过固定螺栓安装在旋转支撑座上，所述旋转支撑座固定安装在旋转驱动电机的输出端上，所述旋转驱动电机的壳体通过电机固定座安装在设备支架上，本实用新型专利技术可以实现晶圆的快速固定，而且，可以实现晶圆的精确定位，同时，能够适应不同的加工设备，大大提高了晶圆的加工效率。了晶圆的加工效率。了晶圆的加工效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的生产固定装置
[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，具体为一种用于晶圆的生产固定装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，广泛应用到各类电子设备当中。晶圆材料经历了60余年的技术演进和产业发展，形成了当今以硅为主、新型半导体材料为补充的产业局面。
技术实现思路
[0003]本技术所解决的技术问题在于提供一种用于晶圆的生产固定装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种用于晶圆的生产固定装置，包括：固定支撑杆，所述固定支撑杆一端设有左夹紧固定装置、另一端设有右夹紧固定装置，所述左夹紧固定装置、右夹紧固定装置之间对称设置，所述固定支撑杆中部设有旋转固定座，所述旋转固定座通过固定螺栓安装在旋转支撑座上，所述旋转支撑座固定安装在旋转驱动电机的输出端上，所述旋转驱动电机的壳体通过电机固定座安装在设备支架上，所述左夹紧固定装置、右夹紧固定装置包括晶圆定位凸起，所述晶圆定位凸起安装在凸起固定座上，凸起固定座固定在夹紧板上，所述夹紧板安装在夹紧驱动装置上，所述夹紧驱动装置包括伸缩驱动装置支撑板，伸缩驱动装置支撑板通过固定螺栓安装在固定支撑杆上，所述伸缩驱动装置支撑板一侧设有伸缩驱动气缸，所述伸缩驱动气缸的输出端上安装有伸缩驱动头，所述伸缩驱动头通过传动结构连接于设备安装板，所述设备安装板与伸缩驱动装置支撑板之间设有伸缩导向装置，所述夹紧板通过固定螺栓安装在设备安装板上。
[0005]所述伸缩驱动气缸的缸体通过旋转支撑销安装在气缸安装座上，所述气缸安装座通过固定螺栓安装在气缸安装板上，所述气缸安装板通过固定螺栓安装在伸缩驱动装置支撑板上。
[0006]所述传动结构包括伸缩驱动杆、伸缩支撑板，所述伸缩驱动头通过旋转支撑销安装在伸缩驱动杆、伸缩支撑板的一端上，所述伸缩支撑板的另一端通过旋转支撑销安装在支撑板安装座上，所述支撑板安装座通过固定螺栓安装在伸缩驱动装置支撑板上，所述伸缩驱动杆另一端通过旋转支撑销安装在伸缩驱动块上，所述伸缩驱动块上设有设备安装板。
[0007]所述伸缩驱动头上侧的伸缩驱动装置支撑板上设有限位立柱，所述限位立柱通过固定螺母安装在伸缩驱动装置支撑板上，所述限位立柱外侧设有橡胶防护套。
[0008]所述伸缩导向装置包括伸缩导向滑轨、伸缩导向滑块，所述伸缩导向滑块滑动安
装在伸缩导向滑轨上，所述伸缩导向滑轨通过固定螺栓安装在伸缩驱动装置支撑板上，所述伸缩导向滑块通过固定螺栓安装在设备安装板上。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术可以实现晶圆的快速固定，而且，可以实现晶圆的精确定位，同时，能够适应不同的加工设备，大大提高了晶圆的加工效率。
附图说明
[0010]图1为本技术的结构示意图。
[0011]图2为本技术的夹紧固定装置结构示意图。
[0012]图3为本技术的伸缩导向装置结构示意图。
具体实施方式
[0013]为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。
[0014]实施例1
[0015]如图1～3所示，一种用于晶圆的生产固定装置，包括：固定支撑杆1，所述固定支撑杆1一端设有左夹紧固定装置3、另一端设有右夹紧固定装置2，所述左夹紧固定装置3、右夹紧固定装置2之间对称设置，所述固定支撑杆1中部设有旋转固定座4，所述旋转固定座4通过固定螺栓安装在旋转支撑座5上，所述旋转支撑座5固定安装在旋转驱动电机6的输出端上，所述旋转驱动电机6的壳体通过电机固定座7安装在设备支架上，所述左夹紧固定装置3、右夹紧固定装置2包括晶圆定位凸起31，所述晶圆定位凸起31安装在凸起固定座32上，凸起固定座32固定在夹紧板314上，所述夹紧板314安装在夹紧驱动装置上，所述夹紧驱动装置包括伸缩驱动装置支撑板33，伸缩驱动装置支撑板33通过固定螺栓安装在固定支撑杆1上，所述伸缩驱动装置支撑板33一侧设有伸缩驱动气缸34，所述伸缩驱动气缸34的输出端上安装有伸缩驱动头37，所述伸缩驱动头37通过传动结构连接于设备安装板313，所述设备安装板313与伸缩驱动装置支撑板33之间设有伸缩导向装置312，所述夹紧板314通过固定螺栓安装在设备安装板13上。所述伸缩驱动气缸34的缸体通过旋转支撑销安装在气缸安装座35上，所述气缸安装座35通过固定螺栓安装在气缸安装板36上，所述气缸安装板36通过固定螺栓安装在伸缩驱动装置支撑板33上。
[0016]实施例2
[0017]如图1～3所示，一种用于晶圆的生产固定装置，包括：固定支撑杆1，所述固定支撑杆1一端设有左夹紧固定装置3、另一端设有右夹紧固定装置2，所述左夹紧固定装置3、右夹紧固定装置2之间对称设置，所述固定支撑杆1中部设有旋转固定座4，所述旋转固定座4通过固定螺栓安装在旋转支撑座5上，所述旋转支撑座5固定安装在旋转驱动电机6的输出端上，所述旋转驱动电机6的壳体通过电机固定座7安装在设备支架上，所述左夹紧固定装置3、右夹紧固定装置2包括晶圆定位凸起31，所述晶圆定位凸起31安装在凸起固定座32上，凸
起固定座32固定在夹紧板314上，所述夹紧板314安装在夹紧驱动装置上，所述夹紧驱动装置包括伸缩驱动装置支撑板33，伸缩驱动装置支撑板33通过固定螺栓安装在固定支撑杆1上，所述伸缩驱动装置支撑板33一侧设有伸缩驱动气缸34，所述伸缩驱动气缸34的输出端上安装有伸缩驱动头37，所述伸缩驱动头37通过传动结构连接于设备安装板313，所述设备安装板313与伸缩驱动装置支撑板33之间设有伸缩导向装置312，所述夹紧板314通过固定螺栓安装在设备安装板13上。所述传动结构包括伸缩驱动杆310、伸缩支撑板38，所述伸缩驱动头37通过旋转支撑销安装在伸缩驱动杆310、伸缩支撑板38的一端上，所述伸缩支撑板38的另一端通过旋转支撑销安装在支撑板安装座39上，所述支撑板安装座39通过固定螺栓安装在伸缩驱动装置支撑板33上，所述伸缩驱动杆310另一端通过旋转支撑销安装在伸缩驱动块311上，所述伸缩驱动块311上设有设备安装板313。所述伸缩驱动头37上侧的伸缩驱动装置支撑板33上设有限位立柱，所述限位立柱通过固定螺母安装在伸缩驱动装置支撑板33上，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的生产固定装置，包括：固定支撑杆(1)，所述固定支撑杆(1)一端设有左夹紧固定装置(3)、另一端设有右夹紧固定装置(2)，其特征在于：所述左夹紧固定装置(3)、右夹紧固定装置(2)之间对称设置，所述固定支撑杆(1)中部设有旋转固定座(4)，所述旋转固定座(4)通过固定螺栓安装在旋转支撑座(5)上，所述旋转支撑座(5)固定安装在旋转驱动电机(6)的输出端上，所述旋转驱动电机(6)的壳体通过电机固定座(7)安装在设备支架上，所述左夹紧固定装置(3)、右夹紧固定装置(2)包括晶圆定位凸起(31)，所述晶圆定位凸起(31)安装在凸起固定座(32)上，凸起固定座(32)固定在夹紧板(314)上，所述夹紧板(314)安装在夹紧驱动装置上，所述夹紧驱动装置包括伸缩驱动装置支撑板(33)，伸缩驱动装置支撑板(33)通过固定螺栓安装在固定支撑杆(1)上，所述伸缩驱动装置支撑板(33)一侧设有伸缩驱动气缸(34)，所述伸缩驱动气缸(34)的输出端上安装有伸缩驱动头(37)，所述伸缩驱动头(37)通过传动结构连接于设备安装板(313)，所述设备安装板(313)与伸缩驱动装置支撑板(33)之间设有伸缩导向装置(312)，所述夹紧板(314)通过固定螺栓安装在设备安装板(313)上。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的生产固定装置，其特征在于：所述伸缩驱动气缸(34)的缸体...
【专利技术属性】
技术研发人员：樊四虎，李强，
申请(专利权)人：天健九方西安毫米波设计研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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