一种晶圆转运机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁，所述转运支撑横梁一端固定在左支撑杆上、另一端固定在右支撑杆上，所述左支撑杆下端设有左前后移动装置，所述右支撑杆下端设有右前后移动装置，所述左前后移动装置、右前后移动装置滑动安装在移动滑槽内，所述转运支撑横梁中部设有抓取调节装置，所述抓取调节装置下端设有抓取装置固定座，所述抓取装置固定座上设有若干晶圆抓取装置，本实用新型专利技术不仅可以实现晶圆的快速抓取转运，而且，可以实现较大范围的空间转运，方便不同工序设备的组合使用。合使用。合使用。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆转运机构


[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，具体为一种晶圆转运机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，广泛应用到各类电子设备当中。晶圆材料经历了60余年的技术演进和产业发展，形成了当今以硅为主、新型半导体材料为补充的产业局面。
[0003]但是，目前在晶圆的生产加工时，其对晶圆进行转运时的设备其转移范围较小，抓取效率较低。

技术实现思路

[0004]本技术所解决的技术问题在于提供一种晶圆转运机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁，所述转运支撑横梁一端固定在左支撑杆上、另一端固定在右支撑杆上，所述左支撑杆下端设有左前后移动装置，所述右支撑杆下端设有右前后移动装置，所述左前后移动装置、右前后移动装置滑动安装在移动滑槽内，所述转运支撑横梁中部设有抓取调节装置，所述抓取调节装置下端设有抓取装置固定座，所述抓取装置固定座上设有若干晶圆抓取装置，所述左前后移动装置、右前后移动装置包括移动支撑板，所述移动支撑板两端下侧设有行走轮，行走轮滚动设置在移动滑槽内，所述行走轮安装在行走轮固定轴上，所述行走轮固定轴两端通过固定轴安装轴承座安装在移动支撑板上，所述行走轮固定轴一端通过联轴器连接于行走驱动电机的输出端上，所述行走驱动电机的壳体通过电机固定座安装在移动支撑板上。
[0006]所述晶圆抓取装置包括抓取吸盘，所述抓取吸盘下端设有橡胶吸盘，所述抓取吸盘上端一侧设有负压吸管，所述抓取吸盘上端中部设有吸盘固定座，所述吸盘固定座通过吸盘安装支架安装在抓取装置固定座上。
[0007]所述吸盘安装支架包括调节支撑螺杆，所述调节支撑螺杆下端通过螺纹安装在吸盘固定座上的螺纹孔内，所述调节支撑螺杆中部设有安装支撑套，所述安装支撑套上侧的调节支撑螺杆外侧设有上复位弹簧，所述安装支撑套下侧的调节支撑螺杆外侧设有下复位弹簧，安装支撑套安装在抓取装置固定座上。
[0008]所述抓取调节装置包括调节装置固定板，所述调节装置固定板上设有左右调节气缸，所述左右调节气缸的缸体通过气缸固定座安装在调节装置固定板上，所述左右调节气缸的输出端上设有左右调节驱动头，所述左右调节驱动头固定在上下调节支撑板上，所述
上下调节支撑板与调节装置固定板支架设有左右调节导向装置，所述上下调节支撑板包括上下调节气缸，所述上下调节气缸的缸体通过气缸固定座安装在上下调节支撑板上，所述上下调节气缸的输出端上设有抓取装置安装板，所述抓取装置安装板与上下调节支撑板之间设有上下调节导向装置。
[0009]所述左右调节导向装置包括调节导向滑块、调节导向滑轨，所述调节导向滑块滑动安装在调节导向滑轨上，所述调节导向滑轨通过固定螺栓安装在调节装置固定板上，所述调节导向滑块通过固定螺栓安装在上下调节支撑板上。
[0010]所述上下调节导向装置包括调节导向杆，所述调节导向杆外侧设有调节导向套，所述调节导向套通过固定螺栓安装在上下调节支撑板上，所述调节导向杆下端固定在抓取装置安装板上，所述调节导向杆上端设有行程限位块。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术不仅可以实现晶圆的快速抓取转运，而且，可以实现较大范围的空间转运，方便不同工序设备的组合使用。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图。
[0013]图2为本技术的前后移动装置结构示意图。
[0014]图3为本技术的抓取调节装置结构示意图。
[0015]图4为本技术的晶圆抓取装置结构示意图。
具体实施方式
[0016]为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。
[0017]实施例1
[0018]如图1～4所示，一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁1，所述转运支撑横梁1一端固定在左支撑杆3上、另一端固定在右支撑杆2上，所述左支撑杆3下端设有左前后移动装置9，所述右支撑杆2下端设有右前后移动装置8，所述左前后移动装置9、右前后移动装置8滑动安装在移动滑槽7内，所述转运支撑横梁1中部设有抓取调节装置4，所述抓取调节装置4下端设有抓取装置固定座5，所述抓取装置固定座5上设有若干晶圆抓取装置6，所述左前后移动装置9、右前后移动装置8包括移动支撑板91，所述移动支撑板91两端下侧设有行走轮92，行走轮92滚动设置在移动滑槽7内，所述行走轮92安装在行走轮固定轴93上，所述行走轮固定轴93两端通过固定轴安装轴承座94安装在移动支撑板91上，所述行走轮固定轴93一端通过联轴器连接于行走驱动电机95的输出端上，所述行走驱动电机95的壳体通过电机固定座安装在移动支撑板91 上。
[0019]实施例2
[0020]如图1～4所示，一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁1，所述转运支撑横梁1一端固定在左支撑杆3上、另一端固定在右支撑杆2上，所述左支撑杆3下端设有左前后移动装
置9，所述右支撑杆2下端设有右前后移动装置8，所述左前后移动装置9、右前后移动装置8滑动安装在移动滑槽7内，所述转运支撑横梁1中部设有抓取调节装置4，所述抓取调节装置4下端设有抓取装置固定座5，所述抓取装置固定座5上设有若干晶圆抓取装置6，所述晶圆抓取装置 6包括抓取吸盘61，所述抓取吸盘61下端设有橡胶吸盘64，所述抓取吸盘61 上端一侧设有负压吸管63，所述抓取吸盘61上端中部设有吸盘固定座62，所述吸盘固定座62通过吸盘安装支架安装在抓取装置固定座5上。所述吸盘安装支架包括调节支撑螺杆65，所述调节支撑螺杆65下端通过螺纹安装在吸盘固定座62上的螺纹孔内，所述调节支撑螺杆65中部设有安装支撑套68，所述安装支撑套68上侧的调节支撑螺杆65外侧设有上复位弹簧66，所述安装支撑套68 下侧的调节支撑螺杆65外侧设有下复位弹簧67，安装支撑套68安装在抓取装置固定座5上。
[0021]实施例3
[0022]如图1～4所示，一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁1，所述转运支撑横梁1一端固定在左支撑杆3上、另一端固定在右支撑杆2上，所述左支撑杆3下端设有左前后移动装置9，所述右支撑杆2下端设有右前后移动装置8，所述左前后移动装置9、右前后移动装置8滑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆转运机构，包括：转运支撑横梁(1)，所述转运支撑横梁(1)一端固定在左支撑杆(3)上、另一端固定在右支撑杆(2)上，所述左支撑杆(3)下端设有左前后移动装置(9)，所述右支撑杆(2)下端设有右前后移动装置(8)，所述左前后移动装置(9)、右前后移动装置(8)滑动安装在移动滑槽(7)内，其特征在于：所述转运支撑横梁(1)中部设有抓取调节装置(4)，所述抓取调节装置(4)下端设有抓取装置固定座(5)，所述抓取装置固定座(5)上设有若干晶圆抓取装置(6)，所述左前后移动装置(9)、右前后移动装置(8)包括移动支撑板(91)，所述移动支撑板(91)两端下侧设有行走轮(92)，行走轮(92)滚动设置在移动滑槽(7)内，所述行走轮(92)安装在行走轮固定轴(93)上，所述行走轮固定轴(93)两端通过固定轴安装轴承座(94)安装在移动支撑板(91)上，所述行走轮固定轴(93)一端通过联轴器连接于行走驱动电机(95)的输出端上，所述行走驱动电机(95)的壳体通过电机固定座安装在移动支撑板(91)上；所述晶圆抓取装置(6)包括抓取吸盘(61)，所述抓取吸盘(61)下端设有橡胶吸盘(64)，所述抓取吸盘(61)上端一侧设有负压吸管(63)，所述抓取吸盘(61)上端中部设有吸盘固定座(62)，所述吸盘固定座(62)通过吸盘安装支架安装在抓取装置固定座(5)上。2.根据权利要求1所述的一种晶圆转运机构，其特征在于：所述吸盘安装支架包括调节支撑螺杆(65)，所述调节支撑螺杆(65)下端通过螺纹安装在吸盘固定座(62)上的螺纹孔内，所述调节支撑螺杆(65)中部设有安装支撑套(68)，所述安装支撑套(68)上侧的调节支撑螺杆(65)外侧设有上复位弹簧(66)，所述安装支撑套...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊四虎，李强，
申请(专利权)人：天健九方西安毫米波设计研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：