本实用新型专利技术提供一种用于晶圆的取放装置，包括：设备支架，所述设备支架上设有取放驱动装置，所述取放驱动装置的输出端上设有取放夹持装置，所述取放驱动装置包括驱动装置安装板，所述驱动装置安装板上安装有横向驱动气缸，所述横向驱动气缸的缸体通过固定螺栓安装在驱动装置安装板上，所述横向驱动气缸的输出端上设有横向驱动块，所述横向驱动块安装在横向移动支撑板上，所述横向移动支撑板上设有纵向驱动气缸，所述纵向驱动气缸的缸体通过固定螺栓安装在横向移动支撑板上，所述纵向驱动气缸的输出端上设有取放夹持装置，本实用新型专利技术不仅可以实现晶圆的快速取放，而且，可以在较大的立体空间内进行转移，大大提高了晶圆的输送转移效率。转移效率。转移效率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的取放装置
[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，具体为一种用于晶圆的取放装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，广泛应用到各类电子设备当中。晶圆材料经历了60余年的技术演进和产业发展，形成了当今以硅为主、新型半导体材料为补充的产业局面。
技术实现思路
[0003]本技术所解决的技术问题在于提供一种用于晶圆的取放装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种用于晶圆的取放装置，包括：设备支架，所述设备支架上设有取放驱动装置，所述取放驱动装置的输出端上设有取放夹持装置，所述取放驱动装置包括驱动装置安装板，所述驱动装置安装板两端通过固定螺栓安装在设备支架上，所述驱动装置安装板上安装有横向驱动气缸，所述横向驱动气缸的缸体通过固定螺栓安装在驱动装置安装板上，所述横向驱动气缸的输出端上设有横向驱动块，所述横向驱动块安装在横向移动支撑板上，所述横向移动支撑板上设有纵向驱动气缸，所述纵向驱动气缸的缸体通过固定螺栓安装在横向移动支撑板上，所述纵向驱动气缸的输出端上设有取放夹持装置，所述横向移动支撑板两端通过横向滑动导向装置安装在设备支架上。
[0005]所述横向滑动导向装置包括移动导向滑块、移动导向滑轨，所述移动导向滑块滑动安装在移动导向滑轨上，所述移动导向滑块通过固定螺栓安装在横向移动支撑板上，所述移动导向滑轨通过固定螺栓安装在设备支架上，所述移动导向滑轨两端的设备支架上设有移动限位装置。
[0006]所述取放夹持装置包括取放夹持臂，所述取放夹持臂一端通过固定螺栓安装在双头气缸的输出端上，所述取放夹持臂另一端上设有夹持限位槽，所述双头气缸的缸体安装在气缸固定座上，所述气缸固定座通过气缸连接座安装在纵向驱动气缸的输出端上。
[0007]所述气缸连接座两端设有纵向移动导向杆，所述纵向移动导向杆外侧设有纵向移动导向套，所述纵向移动导向套通过固定螺栓安装在横向移动支撑板上。
[0008]所述气缸连接座包括上固定座、下连接座，所述上固定座上设有连接固定凸起，下连接座上设有连接固定槽，连接固定凸起、连接固定槽为梯形结构，连接固定槽一侧设有锁紧固定螺孔，锁紧固定螺孔内设有锁紧固定螺栓。
[0009]所述移动限位装置包括位置传感器，所述位置传感器通过传感器固定座安装在设
备支架上，所述位置传感器一侧的传感器固定座上设有移动限位螺杆。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术不仅可以实现晶圆的快速取放，而且，可以在较大的立体空间内进行转移，大大提高了晶圆的输送转移效率。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构示意图。
[0012]图2为本技术的取放驱动装置结构示意图。
[0013]图3为本技术的取放夹持装置结构示意图。
[0014]图4为本技术的移动限位装置结构示意图。
具体实施方式
[0015]为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。
[0016]实施例1
[0017]如图1～4所示，一种用于晶圆的取放装置，包括：设备支架1，所述设备支架1上设有取放驱动装置3，所述取放驱动装置3的输出端上设有取放夹持装置4，所述取放驱动装置3包括驱动装置安装板31，所述驱动装置安装板31两端通过固定螺栓安装在设备支架1上，所述驱动装置安装板31上安装有横向驱动气缸32，所述横向驱动气缸32的缸体通过固定螺栓安装在驱动装置安装板 31上，所述横向驱动气缸32的输出端上设有横向驱动块，所述横向驱动块安装在横向移动支撑板33上，所述横向移动支撑板33上设有纵向驱动气缸34，所述纵向驱动气缸34的缸体通过固定螺栓安装在横向移动支撑板33上，所述纵向驱动气缸34的输出端上设有取放夹持装置4，所述横向移动支撑板33两端通过横向滑动导向装置安装在设备支架1上。所述横向滑动导向装置包括移动导向滑块36、移动导向滑轨35，所述移动导向滑块36滑动安装在移动导向滑轨 35上，所述移动导向滑块36通过固定螺栓安装在横向移动支撑板33上，所述移动导向滑轨35通过固定螺栓安装在设备支架1上，所述移动导向滑轨35两端的设备支架1上设有移动限位装置2。所述移动限位装置2包括位置传感器 21，所述位置传感器21通过传感器固定座22安装在设备支架1上，所述位置传感器21一侧的传感器固定座22上设有移动限位螺杆23。
[0018]实施例2
[0019]如图1～4所示，一种用于晶圆的取放装置，包括：设备支架1，所述设备支架1上设有取放驱动装置3，所述取放驱动装置3的输出端上设有取放夹持装置4，所述取放驱动装置3包括驱动装置安装板31，所述驱动装置安装板31两端通过固定螺栓安装在设备支架1上，所述驱动装置安装板31上安装有横向驱动气缸32，所述横向驱动气缸32的缸体通过固定螺栓安装在驱动装置安装板 31上，所述横向驱动气缸32的输出端上设有横向驱动块，所述横向驱动块安装在横向移动支撑板33上，所述横向移动支撑板33上设有纵向驱动气缸34，所述纵向驱动气缸34的缸体通过固定螺栓安装在横向移动支撑板33上，所述纵向驱动气缸34
的输出端上设有取放夹持装置4，所述横向移动支撑板33两端通过横向滑动导向装置安装在设备支架1上。所述取放夹持装置4包括取放夹持臂41，所述取放夹持臂41一端通过固定螺栓安装在双头气缸42的输出端上，所述取放夹持臂41另一端上设有夹持限位槽43，所述双头气缸42的缸体安装在气缸固定座44上，所述气缸固定座44通过气缸连接座安装在纵向驱动气缸 34的输出端上。所述气缸连接座两端设有纵向移动导向杆38，所述纵向移动导向杆38外侧设有纵向移动导向套37，所述纵向移动导向套37通过固定螺栓安装在横向移动支撑板33上。所述气缸连接座包括上固定座46、下连接座45，所述上固定座46上设有连接固定凸起，下连接座45上设有连接固定槽，连接固定凸起、连接固定槽为梯形结构，连接固定槽一侧设有锁紧固定螺孔，锁紧固定螺孔内设有锁紧固定螺栓。
[0020]本技术在设备支架1上设有取放驱动装置3，所述取放驱动装置3的输出端上设有取放夹持装置4，不仅可以实现晶圆的快速取放，而且，可以在较大的立体空间本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的取放装置，包括：设备支架(1)，其特征在于：所述设备支架(1)上设有取放驱动装置(3)，所述取放驱动装置(3)的输出端上设有取放夹持装置(4)，所述取放驱动装置(3)包括驱动装置安装板(31)，所述驱动装置安装板(31)两端通过固定螺栓安装在设备支架(1)上，所述驱动装置安装板(31)上安装有横向驱动气缸(32)，所述横向驱动气缸(32)的缸体通过固定螺栓安装在驱动装置安装板(31)上，所述横向驱动气缸(32)的输出端上设有横向驱动块，所述横向驱动块安装在横向移动支撑板(33)上，所述横向移动支撑板(33)上设有纵向驱动气缸(34)，所述纵向驱动气缸(34)的缸体通过固定螺栓安装在横向移动支撑板(33)上，所述纵向驱动气缸(34)的输出端上设有取放夹持装置(4)，所述横向移动支撑板(33)两端通过横向滑动导向装置安装在设备支架(1)上。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的取放装置，其特征在于：所述横向滑动导向装置包括移动导向滑块(36)、移动导向滑轨(35)，所述移动导向滑块(36)滑动安装在移动导向滑轨(35)上，所述移动导向滑块(36)通过固定螺栓安装在横向移动支撑板(33)上，所述移动导向滑轨(35)通过固定螺栓安装在设备支架(1)上，所述移动导向滑轨(35)两端的设备支架(1)上设有移动限位装置(2)。3...
【专利技术属性】
技术研发人员：樊四虎，李强，
申请(专利权)人：天健九方西安毫米波设计研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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