本实用新型专利技术提供一种晶圆偏转装置，包括：设备支撑板，所述设备支撑板两端设有支撑板安装板，所述支撑板安装板焊接固定在设备支撑板上，所述设备支撑板上设有若干位置调节装置，所述位置调节装置一端通过固定螺栓安装在设备支撑板上、另一端设有晶圆夹持爪，所述位置调节装置包括位置调节气缸，所述位置调节气缸的输出端上设有调节驱动杆，所述调节驱动杆一端固定在位置调节气缸的输出端上、另一端设有调节驱动块，所述调节驱动块通过连接固定块安装在旋转电机安装板上，所述旋转电机安装板上设有偏转驱动电机，本实用新型专利技术可以实现多个晶圆输送线的快速夹持偏转，同时能够保证偏转精度，大大提高了晶圆的加工效率。大大提高了晶圆的加工效率。大大提高了晶圆的加工效率。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆偏转装置
[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，具体为一种晶圆偏转装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，广泛应用到各类电子设备当中。晶圆材料经历了60余年的技术演进和产业发展，形成了当今以硅为主、新型半导体材料为补充的产业局面。
[0003]但是，目前在晶圆生产加工时，其角度调整装置偏转角度较小，偏转效率较低。
技术实现思路
[0004]本技术所解决的技术问题在于提供一种晶圆偏转装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种晶圆偏转装置，包括：设备支撑板，所述设备支撑板两端设有支撑板安装板，所述支撑板安装板焊接固定在设备支撑板上，所述支撑板安装板上设有若干螺栓安装孔，所述设备支撑板上设有若干位置调节装置，所述位置调节装置一端通过固定螺栓安装在设备支撑板上、另一端设有晶圆夹持爪，所述位置调节装置包括位置调节气缸，所述位置调节气缸的缸体通过固定螺栓安装在设备支撑板上，所述位置调节气缸的输出端上设有调节驱动杆，所述调节驱动杆一端固定在位置调节气缸的输出端上、另一端设有调节驱动块，所述调节驱动块通过连接固定块安装在旋转电机安装板上，所述旋转电机安装板上设有偏转驱动电机，所述偏转驱动电机的壳体通过固定螺栓安装在旋转电机安装板上，所述偏转驱动电机的输出端上设有夹爪安装座，晶圆夹持爪通过固定螺栓安装在位置调节装置上。
[0006]所述连接固定块两端设有连接安装槽，调节驱动块通过固定螺栓安装在连接固定块上的连接安装槽内，所述旋转电机安装板上设有连接安装凸起，连接安装凸起安装在连接固定块上的连接安装槽内，连接安装凸起与连接安装槽上设有固定螺孔，连接安装凸起通过固定螺栓安装在连接安装槽内。
[0007]所述晶圆夹持爪包括夹紧双头气缸，所述夹紧双头气缸的输出端上设有夹板固定座，所述夹板固定座上设有晶圆夹持板，所述夹紧双头气缸的缸体通过气缸安装座安装在夹爪固定座上，所述夹爪固定座通过固定螺栓安装在位置调节装置上。
[0008]所述夹板固定座上侧设有伸缩导向凸起，所述气缸安装座下侧设有伸缩导向槽，伸缩导向凸起滑动安装在伸缩导向槽内。
[0009]所述晶圆夹持板下端设有晶圆固定槽，所述晶圆夹持板上端通过固定螺栓安装在夹板固定座上，夹板固定座通过固定螺栓安装在夹紧双头气缸的输出端上。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术可以实现多个晶圆输送线的快速夹持偏转，同时能够保证偏转精度，大大提高了晶圆的加工效率。
附图说明
[0011]图1为本技术的结构示意图。
[0012]图2为本技术的位置调节装置结构示意图。
[0013]图3为本技术的晶圆夹持爪结构示意图。
具体实施方式
[0014]为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。
[0015]实施例1
[0016]如图1～3所示，一种晶圆偏转装置，包括：设备支撑板1，所述设备支撑板1两端设有支撑板安装板2，所述支撑板安装板2焊接固定在设备支撑板1上，所述支撑板安装板2上设有若干螺栓安装孔，所述设备支撑板1上设有若干位置调节装置3，所述位置调节装置3一端通过固定螺栓安装在设备支撑板1上、另一端设有晶圆夹持爪4，所述位置调节装置3包括位置调节气缸31，所述位置调节气缸31的缸体通过固定螺栓安装在设备支撑板1上，所述位置调节气缸 31的输出端上设有调节驱动杆32，所述调节驱动杆32一端固定在位置调节气缸31的输出端上、另一端设有调节驱动块33，所述调节驱动块33通过连接固定块34安装在旋转电机安装板35上，所述旋转电机安装板35上设有偏转驱动电机36，所述偏转驱动电机36的壳体通过固定螺栓安装在旋转电机安装板35 上，所述偏转驱动电机36的输出端上设有夹爪安装座37，晶圆夹持爪4通过固定螺栓安装在位置调节装置3上。所述连接固定块34两端设有连接安装槽，调节驱动块33通过固定螺栓安装在连接固定块34上的连接安装槽内，所述旋转电机安装板35上设有连接安装凸起，连接安装凸起安装在连接固定块34上的连接安装槽内，连接安装凸起与连接安装槽上设有固定螺孔，连接安装凸起通过固定螺栓安装在连接安装槽内。
[0017]实施例2
[0018]如图1～3所示，一种晶圆偏转装置，包括：设备支撑板1，所述设备支撑板1两端设有支撑板安装板2，所述支撑板安装板2焊接固定在设备支撑板1上，所述支撑板安装板2上设有若干螺栓安装孔，所述设备支撑板1上设有若干位置调节装置3，所述位置调节装置3一端通过固定螺栓安装在设备支撑板1上、另一端设有晶圆夹持爪4，所述位置调节装置3包括位置调节气缸31，所述位置调节气缸31的缸体通过固定螺栓安装在设备支撑板1上，所述位置调节气缸 31的输出端上设有调节驱动杆32，所述调节驱动杆32一端固定在位置调节气缸31的输出端上、另一端设有调节驱动块33，所述调节驱动块33通过连接固定块34安装在旋转电机安装板35上，所述旋转电机安装板35上设有偏转驱动电机36，所述偏转驱动电机36的壳体通过固定螺栓安装在旋转电机安装板35 上，所述偏转驱动电机36的输出端上设
有夹爪安装座37，晶圆夹持爪4通过固定螺栓安装在位置调节装置3上。所述晶圆夹持爪4包括夹紧双头气缸43，所述夹紧双头气缸43的输出端上设有夹板固定座44，所述夹板固定座44上设有晶圆夹持板47，所述夹紧双头气缸43的缸体通过气缸安装座42安装在夹爪固定座41上，所述夹爪固定座41通过固定螺栓安装在位置调节装置3上。所述夹板固定座44上侧设有伸缩导向凸起45，所述气缸安装座42下侧设有伸缩导向槽46，伸缩导向凸起45滑动安装在伸缩导向槽46内。所述晶圆夹持板47下端设有晶圆固定槽，所述晶圆夹持板47上端通过固定螺栓安装在夹板固定座44 上，夹板固定座44通过固定螺栓安装在夹紧双头气缸43的输出端上。
[0019]本技术在设备支撑板1上设有若干位置调节装置3，所述位置调节装置 3一端通过固定螺栓安装在设备支撑板1上、另一端设有晶圆夹持爪4，所述位置调节装置3包括位置调节气缸31，所述位置调节气缸31的缸体通过固定螺栓安装在设备支撑板1上，所述位置调节气缸31的输出端上设有本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆偏转装置，包括：设备支撑板(1)，其特征在于：所述设备支撑板(1)两端设有支撑板安装板(2)，所述支撑板安装板(2)焊接固定在设备支撑板(1)上，所述支撑板安装板(2)上设有若干螺栓安装孔，所述设备支撑板(1)上设有若干位置调节装置(3)，所述位置调节装置(3)一端通过固定螺栓安装在设备支撑板(1)上、另一端设有晶圆夹持爪(4)，所述位置调节装置(3)包括位置调节气缸(31)，所述位置调节气缸(31)的缸体通过固定螺栓安装在设备支撑板(1)上，所述位置调节气缸(31)的输出端上设有调节驱动杆(32)，所述调节驱动杆(32)一端固定在位置调节气缸(31)的输出端上、另一端设有调节驱动块(33)，所述调节驱动块(33)通过连接固定块(34)安装在旋转电机安装板(35)上，所述旋转电机安装板(35)上设有偏转驱动电机(36)，所述偏转驱动电机(36)的壳体通过固定螺栓安装在旋转电机安装板(35)上，所述偏转驱动电机(36)的输出端上设有夹爪安装座(37)，晶圆夹持爪(4)通过固定螺栓安装在位置调节装置(3)上；所述连接固定块(34)两端设有连接安装槽，调节驱动块(33)通过固定螺栓安装在连接固...
【专利技术属性】
技术研发人员：樊四虎，李强，
申请(专利权)人：天健九方西安毫米波设计研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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