一种用于晶圆检测的移动载台机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括：移动支撑架，所述移动支撑架上设有若干支撑架固定座，所述支撑架固定座上设有设备支撑腿，所述设备支撑腿下端设有调节垫脚，所述移动支撑架上设有移动传动带，所述移动传动带一端通过驱动装置安装在移动支撑架上、另一端通过支撑辊安装在移动支撑架上，所述移动传动带外侧设有若干晶圆载台，所述晶圆载台包括晶圆载具，所述晶圆载具固定安装在载具安装板上，所述载具安装板固定安装在载具固定板上，所述载具固定板两端中部设有螺栓固定孔，载具固定板通过固定螺栓安装在移动传动带上，本实用新型专利技术可以将晶圆在各检测工位上进行快速转运，而且，可以实现晶圆的精确定位，保证了检测精度和检测效率。了检测精度和检测效率。了检测精度和检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆检测的移动载台机构


[0001]本技术涉及晶圆生产设备
，具体为一种用于晶圆检测的移动载台机构。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，广泛应用到各类电子设备当中。晶圆材料经历了60余年的技术演进和产业发展，形成了当今以硅为主、新型半导体材料为补充的产业局面。

技术实现思路

[0003]本技术所解决的技术问题在于提供一种用于晶圆检测的移动载台机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括：移动支撑架，所述移动支撑架上设有若干支撑架固定座，所述支撑架固定座上设有设备支撑腿，所述设备支撑腿下端设有调节垫脚，所述移动支撑架上设有移动传动带，所述移动传动带一端通过驱动装置安装在移动支撑架上、另一端通过支撑辊安装在移动支撑架上，所述移动传动带外侧设有若干晶圆载台，所述晶圆载台包括晶圆载具，所述晶圆载具固定安装在载具安装板上，所述载具安装板固定安装在载具固定板上，所述载具固定板两端中部设有螺栓固定孔，载具固定板通过固定螺栓安装在移动传动带上，所述驱动装置包括皮带驱动轴，所述皮带驱动轴外侧设有皮带驱动轮，所述皮带驱动轴两端通过驱动轴安装轴承安装在驱动轴固定座上，所述驱动轴固定座通过固定螺栓安装在移动支撑架上，所述皮带驱动轴一端连接于驱动电机。
[0005]所述皮带驱动轴一端通过联轴器连接于变速器的输出端上，所述变速器的输入端通过联轴器连接于驱动电机的输出端上，所述驱动电机、变速器通过驱动装置固定座安装在移动支撑架上。
[0006]所述设备支撑腿通过固定螺栓安装在支撑架固定座上，所述支撑架固定座通过固定螺栓安装在移动支撑架上的位置调节槽内。
[0007]所述调节垫脚包括双头安装螺杆，所述双头安装螺杆中部设有橡胶垫块支撑板，所述双头安装螺杆一端通过螺纹安装在设备支撑腿上的螺纹孔内，所述双头安装螺杆另一端设有橡胶垫块。
[0008]所述橡胶垫块中部设有安装孔，所述橡胶垫块通过垫块压板安装在双头安装螺杆上，所述垫块压板中部设有螺纹孔，垫块压板通过螺纹安装在双头安装螺杆上。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术可以将晶圆在各检测工
位上进行快速转运，而且，可以实现晶圆的精确定位，保证了检测精度和检测效率。
附图说明
[0010]图1为本技术的结构示意图。
[0011]图2为本技术的晶圆载台结构示意图。
[0012]图3为本技术的驱动装置结构示意图。
[0013]图4为本技术的调节垫脚结构示意图。
具体实施方式
[0014]为了使本技术的实现技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本技术，在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以两个元件内部的连通。
[0015]实施例1
[0016]如图1～4所示，一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括：移动支撑架3，所述移动支撑架3上设有若干支撑架固定座2，所述支撑架固定座2上设有设备支撑腿1，所述设备支撑腿1下端设有调节垫脚7，所述移动支撑架3上设有移动传动带5，所述移动传动带5一端通过驱动装置8安装在移动支撑架3上、另一端通过支撑辊9安装在移动支撑架3上，所述移动传动带5外侧设有若干晶圆载台6，所述晶圆载台6包括晶圆载具61，所述晶圆载具61固定安装在载具安装板62上，所述载具安装板62固定安装在载具固定板63上，所述载具固定板63两端中部设有螺栓固定孔，载具固定板63通过固定螺栓安装在移动传动带5上，所述驱动装置8包括皮带驱动轴81，所述皮带驱动轴81外侧设有皮带驱动轮82，所述皮带驱动轴81两端通过驱动轴安装轴承83安装在驱动轴固定座84上，所述驱动轴固定座84通过固定螺栓安装在移动支撑架3上，所述皮带驱动轴81一端连接于驱动电机87。所述皮带驱动轴81一端通过联轴器85连接于变速器86的输出端上，所述变速器86的输入端通过联轴器连接于驱动电机87的输出端上，所述驱动电机87、变速器86通过驱动装置固定座88安装在移动支撑架3上。
[0017]实施例2
[0018]如图1～4所示，一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括：移动支撑架3，所述移动支撑架3上设有若干支撑架固定座2，所述支撑架固定座2上设有设备支撑腿1，所述设备支撑腿1下端设有调节垫脚7，所述移动支撑架3上设有移动传动带5，所述移动传动带5一端通过驱动装置8安装在移动支撑架3上、另一端通过支撑辊9安装在移动支撑架3上，所述移动传动带5外侧设有若干晶圆载台6，所述晶圆载台6包括晶圆载具61，所述晶圆载具61固定安装在载具安装板62上，所述载具安装板62固定安装在载具固定板63上，所述载具固定板63两端中部设有螺栓固定孔，载具固定板63通过固定螺栓安装在移动传动带5上，所述设备支撑腿1通过固定螺栓安装在支撑架固定座2上，所述支撑架固定座2通过固定螺栓安装在移动支撑架3上的位置调节槽4内。
[0019]实施例3
[0020]如图1～4所示，一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括：移动支撑架3，所述移动
支撑架3上设有若干支撑架固定座2，所述支撑架固定座2上设有设备支撑腿1，所述设备支撑腿1下端设有调节垫脚7，所述移动支撑架3上设有移动传动带5，所述移动传动带5一端通过驱动装置8安装在移动支撑架3上、另一端通过支撑辊9安装在移动支撑架3上，所述移动传动带5外侧设有若干晶圆载台6，所述晶圆载台6包括晶圆载具61，所述晶圆载具61固定安装在载具安装板62上，所述载具安装板62固定安装在载具固定板63上，所述载具固定板63两端中部设有螺栓固定孔，载具固定板63通过固定螺栓安装在移动传动带5上，所述调节垫脚7包括双头安装螺杆73，所述双头安装螺杆73中部设有橡胶垫块支撑板71，所述双头安装螺杆73一端通过螺纹安装在设备支撑腿1上的螺纹孔内，所述双头安装螺杆73另一端设有橡胶垫块72。所述橡胶垫块72 中部设有安装孔，所述橡胶垫块72通过垫块压板74安装在双头安装螺杆73上，所述垫块压板74中部设有螺纹孔，垫块压板74通过螺纹安装在双头安装螺杆 73上。
[0021]本技术在移动支撑架3上设有移动传动带5，所述移动传动带5一端通过驱动装置8安装在移动支撑架3上、另一端通过支撑辊9安装在移动支撑架3 本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆检测的移动载台机构，包括：移动支撑架(3)，其特征在于：所述移动支撑架(3)上设有若干支撑架固定座(2)，所述支撑架固定座(2)上设有设备支撑腿(1)，所述设备支撑腿(1)下端设有调节垫脚(7)，所述移动支撑架(3)上设有移动传动带(5)，所述移动传动带(5)一端通过驱动装置(8)安装在移动支撑架(3)上、另一端通过支撑辊(9)安装在移动支撑架(3)上，所述移动传动带(5)外侧设有若干晶圆载台(6)，所述晶圆载台(6)包括晶圆载具(61)，所述晶圆载具(61)固定安装在载具安装板(62)上，所述载具安装板(62)固定安装在载具固定板(63)上，所述载具固定板(63)两端中部设有螺栓固定孔，载具固定板(63)通过固定螺栓安装在移动传动带(5)上，所述驱动装置(8)包括皮带驱动轴(81)，所述皮带驱动轴(81)外侧设有皮带驱动轮(82)，所述皮带驱动轴(81)两端通过驱动轴安装轴承(83)安装在驱动轴固定座(84)上，所述驱动轴固定座(84)通过固定螺栓安装在移动支撑架(3)上，所述皮带驱动轴(81)一端连接于驱动电机(87)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的移动载台机构，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊四虎，李强，
申请(专利权)人：天健九方西安毫米波设计研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：