一种磊晶机台制造技术

本实用新型专利技术涉及磊晶技术领域，尤其涉及一种磊晶机台，其包括壳体、下圆顶、光源和反光套件，下圆顶设置在壳体内，下圆顶包括靠下设置的颈部，光源设置在颈部的周围，反光套件包括两个反光片，反光片包括第一贴合部和第二贴合部，两个反光片的第一贴合部铰接，第二贴合部设置有第一磁吸条以使两个反光片能够闭合成筒状并套设在颈部上，且两个反光片闭合时不漏光，反光片上设置有通孔以使光源发出的热量能够到达颈部处。该磊晶机台的两个反光片通过一面铰接一面磁铁吸附闭合的结构，能够在闭合状态下有效避免漏光，且光源热量集中从反光片上的通孔穿过到达下圆顶的颈部处，保证了颈部处温度稳定，从而保证了晶圆背面加热温度稳定，提高磊晶质量。提高磊晶质量。提高磊晶质量。

【技术实现步骤摘要】
一种磊晶机台


[0001]本技术涉及磊晶
，尤其涉及一种磊晶机台。

技术介绍

[0002]磊晶是指一种用于半导体器件制造过程中，在原有晶片上长出新结晶，以制成新半导体层的技术。磊晶技术可用以制造硅晶体管到CMOS集成电路等各种组件，尤其在制作化合物半导体例如砷化镓外延晶圆时，磊晶过程尤其重要。
[0003]现有的磊晶机台的下方设置有下圆顶，下圆顶的颈部套设有反光铜片，反光铜片的周围设置有光源，光源的热量通过反光铜片的通孔进入颈部，以提供晶圆背面加热所需的热量。但现有的磊晶机台的反光铜片设置有两片，且需要人为将两片反光铜片贴合在一起，极易出现反光铜片贴合处留有缝隙的情况，缝隙处会发生漏光现象，漏光的发生会导致下圆顶颈部的温度与设计值之间出现偏差，以使晶圆的磊晶过程受影响，甚至会导致制程成果不符合质量要求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种磊晶机台，能够避免漏光现象的发生，保证下圆顶颈部处温度的稳定，提高磊晶质量。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种磊晶机台，包括：
[0007]壳体；
[0008]下圆顶，所述下圆顶设置在所述壳体内，所述下圆顶包括靠下设置的颈部；
[0009]光源，所述光源设置在所述颈部的周围；
[0010]反光套件，所述反光套件包括两个反光片，所述反光片包括第一贴合部和第二贴合部，两个所述反光片的所述第一贴合部铰接，所述第二贴合部设置有第一磁吸条以使两个所述反光片能够闭合成筒状并套设在所述颈部上，且两个所述反光片闭合时不漏光，所述反光片上设置有通孔以使所述光源发出的热量能够到达所述颈部处。
[0011]可选地，所述第一贴合部设置有密封条，所述密封条被配置为在两个所述反光片闭合时，两个所述第一贴合部之间不漏光。
[0012]可选地，所述第一贴合部设置有第二磁吸条，所述第二磁吸条被配置为在两个所述反光片闭合时，两个所述第一贴合部之间不漏光。
[0013]可选地，还包括垫片，所述垫片套设在所述颈部上并位于所述反光套件与所述颈部之间。
[0014]可选地，还包括夹具，在两个所述反光片闭合时，所述夹具套设在所述反光套件外。
[0015]可选地，还包括测温装置，所述测温装置的测温元件设置在所述反光套件与所述颈部之间。
[0016]可选地，所述测温元件设置有两个，且相对设置。
[0017]可选地，还包括控制装置，所述控制装置与所述测温装置电连接以显示测试温度。
[0018]可选地，所述测温装置还包括信号转换器，所述信号转换器分别与所述控制装置以及所述测温元件电连接。
[0019]可选地，所述测温元件为热电偶。
[0020]本技术的有益效果：
[0021]本技术提供了一种磊晶机台，包括壳体、下圆顶、光源和反光套件，其中，下圆顶设置在壳体内，下圆顶包括靠下设置的颈部，光源设置在颈部的周围，反光套件包括两个反光片，反光片包括第一贴合部和第二贴合部，两个反光片的第一贴合部铰接，第二贴合部设置有第一磁吸条以使两个反光片能够闭合成筒状并套设在颈部上，且两个反光片闭合时不漏光，反光片上设置有通孔以使光源发出的热量能够到达颈部处。该磊晶机台的两个反光片通过一面铰接一面磁铁吸附闭合的结构，能够在闭合状态下有效避免漏光现象的发生，且光源的热量集中从反光片上的通孔穿过到达下圆顶的颈部处，保证了下圆顶颈部处温度的稳定，从而保证了晶圆背面加热温度的稳定，提高磊晶质量。
附图说明
[0022]图1是本技术实施例一所提供的磊晶机台的局部分解图。
[0023]图中：
[0024]1、下圆顶；11、颈部；
[0025]2、反光套件；21、反光片；211、第一磁吸条；212、通孔；
[0026]3、垫片；
[0027]4、测温元件。
具体实施方式
[0028]下面结合附图和实施方式进一步说明本技术的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0031]实施例一：
[0032]如图1所示，本实施例提供了一种磊晶机台，包括壳体、下圆顶1、光源和反光套件2。其中，下圆顶1设置在壳体内，下圆顶1包括靠下设置的颈部11，光源设置在颈部11的周围，反光套件2包括两个反光片21，反光片21包括第一贴合部和第二贴合部，两个反光片21的第一贴合部铰接，第二贴合部设置有第一磁吸条211以使两个反光片21能够闭合成筒状并套设在颈部11上，且两个反光片21闭合时不漏光，反光片21上设置有通孔212以使光源发出的热量能够到达颈部11处。该磊晶机台的两个反光片21通过一面铰接一面磁铁吸附闭合的结构，能够在闭合状态下有效避免漏光现象的发生，且光源的热量集中从反光片21上的通孔212穿过到达下圆顶1的颈部11处，保证了下圆顶1颈部11处温度的稳定，从而保证了晶圆背面加热温度的稳定，综上，该磊晶机台能够提高磊晶质量。
[0033]为了进一步保证两个反光片21在闭合时不漏光，可选地，在本实施例中，第一磁吸条211沿反光片21的长度方向设置，第一磁吸条211的长度与反光片21的长度一致，以避免未设置第一磁吸条211的位置发生漏光。且为了更好的保证在第一贴合部处，两个反光片21之间不漏光，可选地，第一贴合部设置有密封条，密封条被配置为在两个反光片21闭合时，两个第一贴合部之间不漏光。可选地，密封条沿反光片21的长度方向设置，且密封条的长度与反光片21的长度一致，以避免未设置密封条的位置发生漏光。
[0034]为了保证反光套件2与下圆顶1的颈部11之间沿周向的距离一致，可选地，在下圆顶1的颈部11上套设有垫片3，垫片3位于反光套件2与颈部11之间。垫片3可采用橡胶或其他具有弹性的材质制成。
[0035]在工作过程中，两个反光片21的第二贴合部容本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磊晶机台，其特征在于，包括：壳体；下圆顶(1)，所述下圆顶(1)设置在所述壳体内，所述下圆顶(1)包括靠下设置的颈部(11)；光源，所述光源设置在所述颈部(11)的周围；反光套件(2)，所述反光套件(2)包括两个反光片(21)，所述反光片(21)包括第一贴合部和第二贴合部，两个所述反光片(21)的所述第一贴合部铰接，所述第二贴合部设置有第一磁吸条(211)以使两个所述反光片(21)能够闭合成筒状并套设在所述颈部(11)上，且两个所述反光片(21)闭合时不漏光，所述反光片(21)上设置有通孔(212)以使所述光源发出的热量能够到达所述颈部(11)处。2.根据权利要求1所述的磊晶机台，其特征在于，所述第一贴合部设置有密封条，所述密封条被配置为在两个所述反光片(21)闭合时，两个所述第一贴合部之间不漏光。3.根据权利要求1所述的磊晶机台，其特征在于，所述第一贴合部设置有第二磁吸条，所述第二磁吸条被配置为在两个所述反光片(21)闭合时，两个所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：游中佑，
申请(专利权)人：泉芯集成电路制造济南有限公司，
类型：新型
国别省市：