一种探针检测工装的集成测试装置及其工作方法制造方法及图纸

技术编号:30412249 阅读:26 留言:0更新日期:2021-10-20 11:47
本发明专利技术公开一种探针检测工装的集成测试装置及其工作方法,包括检测机构和主控终端,所述检测机构包括机械部分疲劳检测组件和探针性能测试组件;机械部分疲劳测试组件,包括工装安装座和配合的往复加压机构,所述往复加压机构包括架设在工装安装座上的施压工件和连接在施压工件上的数控往复驱动装置;探针性能测试组件,包括探针电性能测试组件,所述探针电性能测试组件包括工装夹具和架设在工装夹具上的电性能测试模块,所述电性能测试模块包括架设在工装夹具上方的数控升降抵触探针以及与升降抵触探针配合的导通回路,本发明专利技术的优点在于检测设备小型化,检测流程集成化,有效提升了检测效率,降低了检测成本。降低了检测成本。降低了检测成本。

【技术实现步骤摘要】
一种探针检测工装的集成测试装置及其工作方法


[0001]本专利技术涉及探针检测加工领域,具体地说,是一种探针检测工装的集成测试装置及其工作方法。

技术介绍

[0002]第二次工业革命后的一系列现代科技,其本质构建的基础在于集成电路和芯片技术,随着现代技术的发展,无论是电脑、手机的数字化终端还是汽车、家电等曾经的民用机械设备,其性能的衍进均需要依赖基础的芯片技术进步。基于这一要素,在当代工业中,芯片的需求量呈指数级上升,随之而来的是芯片生产所必须的芯片检测行业需求也节节攀升。芯片的检测作业中,最为基础也是必不可少的工件即为芯片探针检测工装,为保证芯片检测的顺利进行,探针检测工装的强度和质量必须严格把关。目前对于工装的质量检测大多由专业的检测机构进行,费用高昂,交接流程繁琐以及流转流程缓慢成为了工装质量检测领域的沉疴。
[0003]为解决这一问题,需要将传统的检测设备小型化,检测流程集成化,以实现检测与生产保持同场景,从而实现对工装质量的高效便捷检测。

技术实现思路

[0004]专利技术目的:本专利技术目的在于针对现有技术的不足,提供一种探针检测工装的集成测试装置及其工作方法。
[0005]技术方案:本专利技术所述一种探针检测工装的集成测试装置,包括检测机构和主控终端,所述检测机构包括机械部分疲劳检测组件和探针性能测试组件;
[0006]机械部分疲劳测试组件,包括第一基座、安装在第一基座上的工装安装座和配合的往复加压机构,所述往复加压机构包括架设在工装安装座上的施压工件和连接在施压工件上的数控往复驱动装置,所述数控往复驱动装置连接在主控终端上;
[0007]探针性能测试组件,包括探针电性能测试组件,所述探针电性能测试组件包括第二基座、安装在第二基座上的工装夹具和架设在工装夹具上的电性能测试模块,所述电性能测试模块包括架设在工装夹具上方的数控升降抵触探针以及与升降抵触探针配合的导通回路,所述数控升降抵触探针连接在主控终端上。
[0008]作为优选的,所述施压工件包括传动架和安装在传动架底面上的抵触板,所述数控往复驱动装置包括架设在第一基座顶部的加压伺服电机和连接在加压伺服电机动力端与传动架之间的加压传动丝杆。
[0009]作为优选的,所述数控升降抵触探针包括探针本体和连接在探针本体与第二基座间的探针驱动装置,所述探针驱动装置包括架设在第二基座顶部的探针伺服电机和连接在探针伺服电机动力端与探针本体之间的探针传动丝杆。
[0010]作为优选的,所述导通回路包括加挂在第二基座上的电笔装置。
[0011]作为优选的,所述工装夹具包括对向咬合的X轴夹块、Y轴夹块和设置在工装夹具
中心区域的导通板,所述X轴夹块和Y轴夹块上均连接由旋紧调节臂,所述X轴夹块和Y轴夹块夹紧导通板。
[0012]作为优选的,所述主控终端上设有疲劳测试控制模块和探针升降控制模块,所述疲劳测试控制模块连接在加压伺服电机上,所述探针升降控制模块连接在探针伺服电机上。
[0013]作为优选的,所述探针电性能测试组件还包括视觉检测装置,所述视觉检测装置包括高倍光学显微镜头及与之配合的高清显示器,所述第二基座侧壁上安装由水平悬架,所述高倍光学显微镜头和高清显示器通过水平悬架连接在第二基座上。
[0014]一种探针检测工装的集成测试装置的工作方法,包括以下步骤:
[0015]S1、待测的探针测试工装装载至工装安装座上,调节主控终端上的疲劳测试控制模块来设置针对待测探针测试工装进行的抗压疲劳测试所需的应力参数值和重复测试次数,预设参数录入后反馈至加压伺服电机,加压伺服电机做往复加压动作,通过加压传动丝杆带动施压工件做往复运动,使抵触板重复压紧待测的探针测试工装,实现针对探针测试工装中机械部分的抗压疲劳测试需求;
[0016]S2、抗压疲劳测试完成后,将探针检测工装从工装安装座上卸载下来并转移至工装夹具上,调节主控终端上的探针升降控制模块,设置探针本体的下降进程来控制探针本体在探针测试工装中测试探针部分压紧的外应力,随后将控制参数发送至探针伺服电机,探针伺服电机工作,通过探针传动丝杆驱动探针本体下降并完成压紧;
[0017]S3、调节旋紧调节臂来控制X轴夹块和Y轴夹块夹紧待测的探针测试工装,随后用电笔装置的两端分别连通探针本体和导通板,观察电笔装置的读数反馈,从而确定经过疲劳测试后待测的探针测试工装中的探针部分是否还保持完整的连通状态,进而完成对待测的探针测试工装的检测。
[0018]本专利技术相比于现有技术具有以下有益效果:(1)检测设备小型化,检测流程集成化,有效提升了检测效率,降低了检测成本;
[0019](2)将机械部分疲劳测试组件和探针性能测试组件中的主控机械部件连接在主控终端上,并通过设置疲劳测试控制模块和探针升降控制模块实现可视化控制,从而实现了对检测过程的精细控制和自动化操作,便于整体的检测流程管控及检测结果汇总分析,也便于后续将整套设备配置在流水线上进行自动化的流水线式检测。
附图说明
[0020]图1为本专利技术一种探针检测工装的集成测试装置及其工作方法中集成测试装置的总装结构示意图;
[0021]图2为本专利技术一种探针检测工装的集成测试装置及其工作方法中机械部分疲劳测试组件的结构示意图;
[0022]图3为本专利技术一种探针检测工装的集成测试装置及其工作方法中探针性能测试组件的结构示意图;
[0023]图4为本专利技术一种探针检测工装的集成测试装置及其工作方法中工装夹具的结构示意图。
[0024]图中:1、第一基座;2、工装安装座;3、往复加压机构;31、施压工件;311、传动架;
312、抵触板;32、数控往复驱动装置;321、加压伺服电机;322、加压传动丝杆;4、第二基座;5、工装夹具;51、X轴夹块;52、Y轴夹块;53、导通板;54、旋紧调节臂;6、电性能测试模块;61、导通回路;62、数控升降抵触探针;621、探针本体;622、探针驱动装置;6221、探针伺服电机;6222、探针传动丝杆;7、主控终端;8、视觉检测装置。
具体实施方式
[0025]下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。
[0026]在本专利技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本专利技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0027]在本专利技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针检测工装的集成测试装置,包括检测机构和主控终端,其特征在于:所述检测机构包括机械部分疲劳检测组件和探针性能测试组件;机械部分疲劳测试组件,包括第一基座、安装在第一基座上的工装安装座和配合的往复加压机构,所述往复加压机构包括架设在工装安装座上的施压工件和连接在施压工件上的数控往复驱动装置,所述数控往复驱动装置连接在主控终端上;探针性能测试组件,包括探针电性能测试组件,所述探针电性能测试组件包括第二基座、安装在第二基座上的工装夹具和架设在工装夹具上的电性能测试模块,所述电性能测试模块包括架设在工装夹具上方的数控升降抵触探针以及与升降抵触探针配合的导通回路,所述数控升降抵触探针连接在主控终端上。2.根据权利要求1所述的一种探针检测工装的集成测试装置,其特征在于:所述施压工件包括传动架和安装在传动架底面上的抵触板,所述数控往复驱动装置包括架设在第一基座顶部的加压伺服电机和连接在加压伺服电机动力端与传动架之间的加压传动丝杆。3.根据权利要求1所述的一种探针检测工装的集成测试装置,其特征在于:所述数控升降抵触探针包括探针本体和连接在探针本体与第二基座间的探针驱动装置,所述探针驱动装置包括架设在第二基座顶部的探针伺服电机和连接在探针伺服电机动力端与探针本体之间的探针传动丝杆。4.根据权利要求1所述的一种探针检测工装的集成测试装置,其特征在于:所述导通回路包括加挂在第二基座上的电笔装置。5.根据权利要求1所述的一种探针检测工装的集成测试装置,其特征在于:所述工装夹具包括对向咬合的X轴夹块、Y轴夹块和设置在工装夹具中心区域的导通板,所述X轴夹块和Y轴夹块上均连接由旋紧调节臂,所述X轴夹块和Y轴夹块夹紧导通板。6.根据权利要求2和3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:裴悠松朴文杰
申请(专利权)人:苏州奥金斯电子有限公司
类型:发明
国别省市:

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