一种激光加工装置和加工设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种激光加工装置和加工设备，包括：激光调整模组，用于将第一激光束分成多个第一子激光束，将第二激光束分成多个第二子激光束，多个第一子激光束形成多个第一光斑，多个第二子激光束形成多个第二光斑，且任一第一光斑位于一第二光斑前方预设距离处；第一运动模组，用于带动第一激光器、第二激光器和激光调整模组移动，或者，带动待切割器件移动，以使多个第一子激光束分别沿多个预设切割路径移动的同时，多个第二子激光束也分别沿多个预设切割路径移动，并使任一第一子激光束和一第二子激光束在一预设切割路径上依次形成切割槽和切割线，从而节省了切割时间，缩短了切割产程，提高了切割产能。提高了切割产能。提高了切割产能。

【技术实现步骤摘要】
一种激光加工装置和加工设备


[0001]本技术涉及激光加工
，更具体地说，涉及一种激光加工装置和加工设备。

技术介绍

[0002]随着激光无损切割技术的发展，其在太阳能电池
也得到了应用。即，先采用激光沿待切割路径对太阳能电池片进行扫描形成一个或者多个切割槽，然后采用另一激光沿待切割路径扫描形成热应力，使太阳能电池片沿待切割路径裂开，实现太阳能电池片的切割。但是，现有的太阳能电池片的切割产能有待进一步提高。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供了一种激光加工装置和加工设备，以提高激光切割的产能。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种激光加工装置，包括：
[0006]第一激光器，用于发射第一激光束；
[0007]第二激光器，用于发射第二激光束；
[0008]激光调整模组，用于将所述第一激光束分成多个光路不同的第一子激光束，将所述第二激光束分成多个光路不同的第二子激光束，所述多个第一子激光束在待切割器件表面形成多个第一光斑，所述多个第二子激光束在所述待切割器件表面形成多个第二光斑，且任一所述第一光斑位于一所述第二光斑前方预设距离处；
[0009]第一运动模组，用于带动所述第一激光器、所述第二激光器和所述激光调整模组移动，或者，带动所述待切割器件移动，以使所述多个第一子激光束分别沿所述待切割器件的多个预设切割路径移动的同时，所述多个第二子激光束也分别沿所述多个预设切割路径移动，并使任一所述第一子激光束和一所述第二子激光束在一所述预设切割路径上依次形成切割槽和切割线，所述待切割器件沿多条所述切割线切割。
[0010]可选地，所述激光调整模组包括至少一个分光器件、至少两个光路引导模组和至少两个聚焦器件；
[0011]所述至少一个分光器件用于将所述第一激光束分成多个光路不同的第一子激光束，将所述第二激光束分成多个光路不同的第二子激光束；
[0012]所述光路引导模组用于引导一个所述第一子激光束和/或一个所述第二子激光束传输至所述待切割器件表面的一个预设切割路径处；所述至少两个光路引导模组用于引导所述多个第一子激光束和所述多个第二子激光束传输至所述待切割器件表面的多个预设切割路径处；
[0013]所述至少两个聚焦器件分别位于所述第一激光束和所述第二激光束的光路上，或者，所述至少两个聚焦器件分别位于所述多个第一子激光束和所述多个第二子激光束的光
路上，用于对所述多个第一子激光束和所述多个第二子激光束进行聚焦。
[0014]可选地，位于所述第二激光束的光路上，或者，分别位于所述多个第二子激光束的光路上的聚焦器件为整形聚焦器件，用于对所述多个第二子激光束的光斑进行整形聚焦。
[0015]可选地，所述激光调整模组至少包括第一分光器件、第一光路引导模组和第二光路引导模组；
[0016]所述第一分光器件用于将所述第一激光束分成沿第一光路传输的第一子激光束和沿第二光路传输的第一子激光束，将所述第二激光束分成沿所述第一光路传输的第二子激光束和沿所述第二光路传输的第二子激光束；
[0017]所述第一光路引导模组用于引导所述第一光路上的第一子激光束和第二子激光束传输至所述待切割器件表面的第一个预设切割路径处；所述第二光路引导模组用于引导所述第二光路上的第一子激光束和第二子激光束传输至所述待切割器件表面的第二个预设切割路径处；
[0018]其中，沿所述第一光路传输的第一子激光束和沿所述第一光路传输的第二子激光束之间具有预设夹角或预设距离，以使所述第一个预设切割路径处的第一子激光束形成的第一光斑位于第二子激光束形成的第二光斑前方预设距离处；
[0019]沿所述第二光路传输的第一子激光束和沿所述第二光路传输的第二子激光束之间具有预设夹角或预设距离，以使所述第二个预设切割路径处的第一子激光束形成的第一光斑位于第二子激光束形成的第二光斑前方预设距离处。
[0020]可选地，所述第一光路引导模组和所述第二光路引导模组均包括至少一个反射器件；
[0021]所述激光调整模组还包括位于所述第一光路上的第一聚焦器件、位于所述第二光路上的第二聚焦器件以及位于所述第二激光器和所述第一分光器件之间的整形聚焦器件；
[0022]或者，所述激光调整模组还包括位于所述第一激光器和所述第一分光器件之间的第一聚焦器件，以及位于所述第二激光器和所述第一分光器件之间的整形聚焦器件。
[0023]可选地，所述激光调整模组至少包括第一分光器件、第二分光器件、第一光路引导模组和/或第二光路引导模组、第三光路引导模组和/或第四光路引导模组；
[0024]所述第一分光器件用于将所述第二激光束分成沿所述第一光路传输的第二子激光束和沿所述第二光路传输的第二子激光束；
[0025]所述第一光路引导模组用于引导所述第一光路上的第二子激光束传输至所述待切割器件表面的第一个预设切割路径处；所述第二光路引导模组用于引导所述第二光路上的第二子激光束传输至所述待切割器件表面的第二个预设切割路径处；
[0026]所述第二分光器件用于将所述第一激光束分成沿所述第三光路传输的第一子激光束和沿所述第四光路传输的第一子激光束；
[0027]所述第三光路引导模组用于引导所述第三光路上的第一子激光束传输至所述待切割器件表面的第一个预设切割路径处，并使所述第一子激光束形成的第一光斑位于所述第一个预设切割路径处的第二子激光束形成的第二光斑前方预设距离处；所述第四光路引导模组用于引导所述第四光路上的第一子激光束传输至所述待切割器件表面的第二个预设切割路径处，并使所述第一子激光束形成的第一光斑位于所述第二个预设切割路径处的第二子激光束形成的第二光斑前方预设距离处。
[0028]可选地，所述第一光路引导模组和/或所述第二光路引导模组包括至少一个反射器件，所述第三光路引导模组和/或所述第四光路引导模组包括至少一个反射器件；
[0029]所述激光调整模组还包括位于所述第三光路上的第三聚焦器件、位于所述第四光路上的第四聚焦器件、位于所述第二激光器与所述第一分光器件之间的光束聚焦整形器件；
[0030]或者，所述激光调整模组还包括位于所述第三光路上的第三聚焦器件、位于所述第四光路上的第四聚焦器件、位于所述第一光路上的第一聚焦整形器件和位于所述第二光路上的第二聚焦整形器件。
[0031]可选地，还包括多个光路切换模块，任一所述光路切换模块位于一所述第一子激光束的光路上；
[0032]所述光路切换模块用于将所述第一子激光束的光路切换为第五光路或第六光路；
[0033]其中，若所述第一子激光束和所述第二子激光束预设切割路径朝第一方向移动，则所述光路切换模块将所述第一子激光束的光路切换为第五光路，使所述第一光斑位于所述第二光斑的第一侧，以在所述第一方向上使所述第一光斑位于所述第二光斑前方；
[0034]若所述第一子激光束和所述第二子激光束沿预设切割路本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：第一激光器，用于发射第一激光束；第二激光器，用于发射第二激光束；激光调整模组，用于将所述第一激光束分成多个光路不同的第一子激光束，将所述第二激光束分成多个光路不同的第二子激光束，所述多个第一子激光束在待切割器件表面形成多个第一光斑，所述多个第二子激光束在所述待切割器件表面形成多个第二光斑，且任一所述第一光斑位于一所述第二光斑前方预设距离处；第一运动模组，用于带动所述第一激光器、所述第二激光器和所述激光调整模组移动，或者，带动所述待切割器件移动，以使所述多个第一子激光束分别沿所述待切割器件的多个预设切割路径移动的同时，所述多个第二子激光束也分别沿所述多个预设切割路径移动，并使任一所述第一子激光束和一所述第二子激光束在一所述预设切割路径上依次形成切割槽和切割线，所述待切割器件沿多条所述切割线切割。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光调整模组包括至少一个分光器件、至少两个光路引导模组和至少两个聚焦器件；所述至少一个分光器件用于将所述第一激光束分成多个光路不同的第一子激光束，将所述第二激光束分成多个光路不同的第二子激光束；所述光路引导模组用于引导一个所述第一子激光束和/或一个所述第二子激光束传输至所述待切割器件表面的一个预设切割路径处；所述至少两个光路引导模组用于引导所述多个第一子激光束和所述多个第二子激光束传输至所述待切割器件表面的多个预设切割路径处；所述至少两个聚焦器件分别位于所述第一激光束和所述第二激光束的光路上，或者，所述至少两个聚焦器件分别位于所述多个第一子激光束和所述多个第二子激光束的光路上，用于对所述多个第一子激光束和所述多个第二子激光束进行聚焦。3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，位于所述第二激光束的光路上，或者，分别位于所述多个第二子激光束的光路上的聚焦器件为整形聚焦器件，用于对所述多个第二子激光束的光斑进行整形聚焦。4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光调整模组至少包括第一分光器件、第一光路引导模组和第二光路引导模组；所述第一分光器件用于将所述第一激光束分成沿第一光路传输的第一子激光束和沿第二光路传输的第一子激光束，将所述第二激光束分成沿所述第一光路传输的第二子激光束和沿所述第二光路传输的第二子激光束；所述第一光路引导模组用于引导所述第一光路上的第一子激光束和第二子激光束传输至所述待切割器件表面的第一个预设切割路径处；所述第二光路引导模组用于引导所述第二光路上的第一子激光束和第二子激光束传输至所述待切割器件表面的第二个预设切割路径处；其中，沿所述第一光路传输的第一子激光束和沿所述第一光路传输的第二子激光束之间具有预设夹角或预设距离，以使所述第一个预设切割路径处的第一子激光束形成的第一光斑位于第二子激光束形成的第二光斑前方预设距离处；沿所述第二光路传输的第一子激光束和沿所述第二光路传输的第二子激光束之间具
有预设夹角或预设距离，以使所述第二个预设切割路径处的第一子激光束形成的第一光斑位于第二子激光束形成的第二光斑前方预设距离处。5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第一光路引导模组和所述第二光路引导模组均包括至少一个反射器件；所述激光调整模组还包括位于所述第一光路上的第一聚焦器件、位于所述第二光路上的第二聚焦器件以及位于所述第二激光器和所述第一分光器件之间的整形聚焦器件；或者，所述激光调整模组还包括位于所述第一激光器和所述第一分光器件之间的第一聚焦器件，以及位于所述第二激光器和所述第一分光器件之间的整形聚焦器件。6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光调整模组至少包括第一分光器件、第二分光器件、第一光路引导模组和/或第二光路引导模组、第三光路引导模组和/或第四光路引导模组；所述第一分光器件用于将所述第二激光束分成沿所述第一光路传输的第二子激光束和沿所述第二光路传输的第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁乔春，李志刚，朱凡，朱胜鹏，
申请(专利权)人：武汉帝尔激光科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：