【技术实现步骤摘要】
本申请涉及激光加工，更具体的说，涉及一种薄膜激光加工及贴合设备。
技术介绍
1、带图案的有机/高分子薄膜被广泛应用于半导体器件、显示行业等，薄膜应用于片状物料覆膜时，薄膜上的图案加工精度要求高，对片状物料与薄膜贴合的精度要求也很高，且随着行业发展，高产能需求对这些薄膜的需求增大，导致对薄膜的加工产能提出更高要求。
2、此外，为了满足一些工艺需求，需要将薄膜与片状物料进行贴合。目前已有的薄膜加工及贴合设备对薄膜上的图案加工精度低，贴合精度同样也低，且设备占地面积大。
技术实现思路
1、为了解决上述问题，本申请提供了一种薄膜激光加工及贴合设备，方案如下：包括薄膜激光加工模组、片状物料进料模组、贴合模组以及出料模组，所述薄膜激光加工模组用于提供薄膜物料并对薄膜物料进行激光加工，所述薄膜激光加工模组包括激光加工组件及沿薄膜物料放料方向依次设置的薄膜放料组件、吸附加工平台、薄膜收料组件，所述激光加工组件位于所述吸附加工平台上方；其中，所述薄膜放料组件包括用于提供薄膜物料的放料辊，所述吸附加工平台用于吸附固定或松开所述薄膜放料组件提供的薄膜物料的至少一段，所述薄膜收料组件包括用于收取薄膜物料的收料辊；
2、所述片状物料进料模组包括用于提供片状物料的片状物料进料组件；
3、所述贴合模组包括用于将所述片状物料进料组件提供的片状物料转移至所述吸附加工平台上固定的薄膜物料上进行贴合的贴合组件；
4、所述出料模组设置在所述贴合模组输出端，用于将贴合完成的所
5、优选的，所述薄膜物料放料方向为第一方向，所述片状物料进料模组也沿所述第一方向布置以沿所述第一方向提供所述片状物料，且所述薄膜激光加工模组与所述片状物料进料模组间隔设置。
6、优选的，所述片状物料进料模组与所述出料模组沿所述第一方向依次布置，所述出料模组沿所述第一方向出料。
7、优选的，还包括设置在所述贴合模组与所述出料模组之间的翻片模组，用于将贴合完成的所述薄膜物料与所述片状物料翻转180°后再转移给所述出料模组。
8、优选地，所述翻片模组包括大行程三轴气缸、微调三轴气缸、旋转气缸、真空吸盘，其中，所述微调三轴气缸连接在所述大行程三轴气缸上，所述旋转气缸连接在所述微调三轴气缸上，所述真空吸盘连接在所述旋转气缸上。
9、优选的，所述吸附加工平台下方连接有吸附平台运动模组，所述吸附平台运动模组为一维运动模组或二维运动模组或三维运动模组，所述吸附平台运动模组至少用于带动所述吸附加工平台沿薄膜物料放料方向往返运动于所述薄膜放料组件与薄膜收料组件之间。
10、优选的，所述吸附平台运动模组为二维运动模组或三维运动模组；
11、所述薄膜物料放料方向为第一方向，所述片状物料进料模组也沿所述第一方向布置以沿所述第一方向提供所述片状物料，且所述薄膜激光加工模组与所述片状物料进料模组间隔设置；
12、所述吸附平台运动模组还用于带动所述吸附加工平台沿第二方向朝着所述片状物料进料模组运动或者沿第二方向背离所述片状物料进料模组运动，所述第二方向与所述第一方向垂直。
13、优选的，所述吸附加工平台的数量至少为两个，至少两个所述吸附加工平台均位于所述薄膜放料组件与薄膜收料组件之间，且均可沿所述第二方向朝着所述片状物料进料模组运动或者背离所述片状物料进料模组运动。
14、优选的，所述吸附加工平台上吸附固定的至少一段所述薄膜物料包括不具有粘性的第一面和具有粘性的第二面，所述吸附加工平台吸附所述薄膜物料的第一面，所述贴合组件用于将所述片状物料转移至所述吸附加工平台上固定的薄膜物料的第二面上。
15、优选的，所述激光加工组件包括激光器与振镜器件，所述激光器用于发出激光束，所述振镜器件用于控制所述激光束沿着预设图案进行移动；其中，所述预设图案包括镂空图案及闭合轮廓图案，所述闭合轮廓图案用于形成每次加工完的薄膜物料与未加工的薄膜物料的分离边界。
16、优选的，所述振镜器件包括振镜以及与所述振镜连接的振镜移动机构，所述振镜移动机构带动所述振镜移动以完成所述预设图案的拼接加工。
17、优选的，所述贴合组件包括水平直线运动模组、垂直升降运动模组以及真空吸盘，所述水平直线运动模组与所述垂直升降运动模组连接，所述真空吸盘连接在所述水平直线运动模组或垂直升降运动模组上；
18、或者所述贴合组件包括旋转机械臂以及与所述旋转机械臂连接的吸盘组件；
19、或者所述贴合组件为机械手，可带着所述片状物料沿任意方向移动。
20、优选的，所述贴合模组还包括ccd定位组件，所述ccd定位组件位于所述贴合组件的上方或下方，用于对所述片状物料拍照以获取片状物料的位置数据；
21、所述贴合组件根据所述位置数据调整所述片状物料的位置，或者，
22、所述吸附加工平台根据所述位置数据调整所述薄膜物料的位置以保证所述薄膜物料与片状物料的贴合精度。
23、优选的，所述薄膜激光加工模组还包括废料去除组件，所述废料去除组件设置于所述吸附加工平台上方或者设置在所述吸附加工平台与所述片状物料进料模组之间，用于去除激光加工薄膜物料时产生的废料。
24、优选的，所述薄膜激光加工模组还包括侧夹组件，所述侧夹组件设置在所述薄膜放料组件与薄膜收料组件之间靠近所述吸附加工平台的位置，用于夹住未加工的薄膜物料防止薄膜物料变形或断裂。
25、优选的，所述薄膜放料组件与所述薄膜收料组件还分别包括用于将未加工的薄膜物料顶起的顶升组件，两个所述顶升组件分别设置在所述放料辊与所述吸附加工平台之间以及所述收料辊与所述吸附加工平台之间；
26、和/或；
27、所述薄膜激光加工模组还包括用于去除静电的去离子模组，所述去离子模组设置在所述放料辊与所述吸附加工平台之间靠近所述吸附加工平台的位置。
28、优选的，所述片状物料进料模组还包括片状物料旋转组件和/或片状物料对中组件，所述片状物料旋转组件设置在所述片状物料进料组件上方，用于将所述片状物料旋转至所需角度，所述片状物料对中组件设置在所述片状物料进料组件的两侧，用于对所述片状物料进行定位。
29、通过上述描述可知，相对于现有技术，本申请技术方案具有以下有益效果：
30、1)本申请提供的薄膜激光加工及贴合设备，用于薄膜物料的输送、加工及贴合，该设备将薄膜激光加工工序和片状物料贴合工序一体化，缩小设备体积，可有效提升设备的良品率，包括提高了薄膜物料上图案的加工精度以及薄膜物料与片状物料贴合的精度。并且，该设备的空间布局紧凑，占地面积小，薄膜物料的传送距离短，可提升薄膜的使用率。
31、2)由于本申请提供的设备，薄膜物料只需要一次吸附，在薄膜物料与片状物料贴合前不需要二次吸附，贴合精度高。
32、3)该设备在带动吸附加工平台移动的吸附平台运本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，包括薄膜激光加工模组、片状物料进料模组、贴合模组以及出料模组，所述薄膜激光加工模组用于提供薄膜物料并对薄膜物料进行激光加工，所述薄膜激光加工模组包括激光加工组件及沿薄膜物料放料方向依次设置的薄膜放料组件、吸附加工平台、薄膜收料组件，所述激光加工组件位于所述吸附加工平台上方；其中，所述薄膜放料组件包括用于提供薄膜物料的放料辊，所述吸附加工平台用于吸附固定或松开所述薄膜放料组件提供的薄膜物料的至少一段，所述薄膜收料组件包括用于收取薄膜物料的收料辊；
2.根据权利要求1所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述薄膜物料放料方向为第一方向，所述片状物料进料模组也沿所述第一方向布置以沿所述第一方向提供所述片状物料，且所述薄膜激光加工模组与所述片状物料进料模组间隔设置。
3.根据权利要求2所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述片状物料进料模组与所述出料模组沿所述第一方向依次布置，所述出料模组沿所述第一方向出料。
4.根据权利要求1所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，还包括设置在所述贴合模组与所述
5.根据权利要求4所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述翻片模组包括大行程三轴气缸、微调三轴气缸、旋转气缸、真空吸盘，其中，所述微调三轴气缸连接在所述大行程三轴气缸上，所述旋转气缸连接在所述微调三轴气缸上，所述真空吸盘连接在所述旋转气缸上。
6.根据权利要求1所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述吸附加工平台下方连接有吸附平台运动模组，所述吸附平台运动模组为一维运动模组或二维运动模组或三维运动模组，所述吸附平台运动模组至少用于带动所述吸附加工平台沿薄膜物料放料方向往返运动于所述薄膜放料组件与薄膜收料组件之间。
7.根据权利要求6所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述吸附平台运动模组为二维运动模组或三维运动模组；
8.根据权利要求7所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述吸附加工平台的数量至少为两个，至少两个所述吸附加工平台均位于所述薄膜放料组件与薄膜收料组件之间，且均可沿所述第二方向朝着所述片状物料进料模组运动或者背离所述片状物料进料模组运动。
9.根据权利要求1或2所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述吸附加工平台上吸附固定的至少一段所述薄膜物料包括不具有粘性的第一面和具有粘性的第二面，所述吸附加工平台吸附所述薄膜物料的第一面，所述贴合组件用于将所述片状物料转移至所述吸附加工平台上固定的薄膜物料的第二面上。
10.根据权利要求1或2所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述激光加工组件包括激光器与振镜器件，所述激光器用于发出激光束，所述振镜器件用于控制所述激光束沿着预设图案进行移动；其中，所述预设图案包括镂空图案及闭合轮廓图案，所述闭合轮廓图案用于形成每次加工完的薄膜物料与未加工的薄膜物料的分离边界。
11.根据权利要求10所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述振镜器件包括振镜以及与所述振镜连接的振镜移动机构，所述振镜移动机构带动所述振镜移动以完成所述预设图案的拼接加工。
12.根据权利要求1～8任一项所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述贴合组件包括水平直线运动模组、垂直升降运动模组以及真空吸盘，所述水平直线运动模组与所述垂直升降运动模组连接，所述真空吸盘连接在所述水平直线运动模组或垂直升降运动模组上；
13.根据权利要求1或2所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述贴合模组还包括CCD定位组件，所述CCD定位组件位于所述贴合组件的上方或下方，用于对所述片状物料拍照以获取片状物料的位置数据；
14.根据权利要求1或2所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述薄膜激光加工模组还包括废料去除组件，所述废料去除组件设置于所述吸附加工平台上方或者设置在所述吸附加工平台与所述片状物料进料模组之间，用于去除激光加工薄膜物料时产生的废料。
15.根据权利要求1或2所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述薄膜激光加工模组还包括侧夹组件，所述侧夹组件设置在所述薄膜放料组件与薄膜收料组件之间靠近所述吸附加工平台的位置，用于夹住未加工的薄膜物料防止薄膜物料变形或断裂。
16.根据权利要求1或2所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述薄膜放料组件与所述薄膜收料组件还分别包括用于将未加工的薄膜物料顶起的顶升组件，两个所述顶升组件分别设置在所述放料...
【技术特征摘要】
1.一种薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，包括薄膜激光加工模组、片状物料进料模组、贴合模组以及出料模组，所述薄膜激光加工模组用于提供薄膜物料并对薄膜物料进行激光加工，所述薄膜激光加工模组包括激光加工组件及沿薄膜物料放料方向依次设置的薄膜放料组件、吸附加工平台、薄膜收料组件，所述激光加工组件位于所述吸附加工平台上方；其中，所述薄膜放料组件包括用于提供薄膜物料的放料辊，所述吸附加工平台用于吸附固定或松开所述薄膜放料组件提供的薄膜物料的至少一段，所述薄膜收料组件包括用于收取薄膜物料的收料辊；
2.根据权利要求1所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述薄膜物料放料方向为第一方向，所述片状物料进料模组也沿所述第一方向布置以沿所述第一方向提供所述片状物料，且所述薄膜激光加工模组与所述片状物料进料模组间隔设置。
3.根据权利要求2所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述片状物料进料模组与所述出料模组沿所述第一方向依次布置，所述出料模组沿所述第一方向出料。
4.根据权利要求1所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，还包括设置在所述贴合模组与所述出料模组之间的翻片模组，用于将贴合完成的所述薄膜物料与所述片状物料翻转180°后再转移给所述出料模组。
5.根据权利要求4所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述翻片模组包括大行程三轴气缸、微调三轴气缸、旋转气缸、真空吸盘，其中，所述微调三轴气缸连接在所述大行程三轴气缸上，所述旋转气缸连接在所述微调三轴气缸上，所述真空吸盘连接在所述旋转气缸上。
6.根据权利要求1所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述吸附加工平台下方连接有吸附平台运动模组，所述吸附平台运动模组为一维运动模组或二维运动模组或三维运动模组，所述吸附平台运动模组至少用于带动所述吸附加工平台沿薄膜物料放料方向往返运动于所述薄膜放料组件与薄膜收料组件之间。
7.根据权利要求6所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述吸附平台运动模组为二维运动模组或三维运动模组；
8.根据权利要求7所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述吸附加工平台的数量至少为两个，至少两个所述吸附加工平台均位于所述薄膜放料组件与薄膜收料组件之间，且均可沿所述第二方向朝着所述片状物料进料模组运动或者背离所述片状物料进料模组运动。
9.根据权利要求1或2所述的薄膜激光加工及贴合设备，其特征在于，所述吸附加工平台上吸附固定的至少一段所述薄膜物料包括不具有粘性的第一面和具有...
【专利技术属性】
技术研发人员：李远鹏，祝磊，张东，严文浩，徐贵阳，
申请(专利权)人：武汉帝尔激光科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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