【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片清洗的花篮
[0001]本技术涉及硅片清洗
，具体为一种用于硅片清洗的花篮。
技术介绍
[0002]硅片在生产中需要对表面进行物理和化学清洗，主要用于清理硅片表面的杂质，保证硅片质量，在硅片清洗时需要将硅片放置在花篮内，通过机器将花篮放置在清洗池内。
[0003]目前的硅片清洗花篮一般为一体化成型式，在花篮上设置有均匀分布的凹槽或挡板，用于均匀分隔不同的硅片，但是由于不同规格硅片的厚度不同，而常见花篮上的凹槽宽度或者挡板间距一定，较薄的硅片放置在内部倾斜幅度大，并且容易晃动，影响硅片清洗，还易导致硅片损坏。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于硅片清洗的花篮，具备适用性强，便于维护等优点，解决了目前的花篮上的凹槽宽度或者挡板间距一定，较薄的硅片放置时倾角大并且容易晃动，影响清洗和安全的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于硅片清洗的花篮，包括两...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片清洗的花篮，包括两个基板(1)，其特征在于：两个所述基板(1)之间设有底板(2)，所述底板(2)两端分别与两个基板(1)边缘固定连接，两个所述基板(1)之间还设有两个对称分布的粗方管(3)，所述粗方管(3)上设置有四个槽扣组，所述槽扣组包括多个均匀分布的限位槽扣(4)，所述限位槽扣(4)固定连接在粗方管(3)上，所述粗方管(3)两端分别与两个基板(1)活动连接，所述粗方管(3)一端开设有第一限位孔(5)，所述基板(1)侧面靠近粗方管(3)处设置有限位装置。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮，其特征在于：所述限位装置包括套环(6)，所述套环(6)与基板(1)固定连接，所述套环(6)内设有插杆(7)，所述插杆(7)一端延伸至第一限位孔(5)内，所述插杆(7)另一端固定连接有圆板(8)，所述圆板(8)与套环(6)之间设有弹簧(9)，所述弹簧(9)套接在插杆(7)上，所述弹簧(9)两端分别与圆板(8)和套环(6)固定连接。3.根据权利要求1所述的一种用...
【专利技术属性】
技术研发人员：祝凯，
申请(专利权)人：开化晶芯电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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