一种12吋晶圆盒自动解锁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种12吋晶圆盒自动解锁装置，包括支承装配组件、盒体定位组件、竖向移动组件、横向移动组件及配接解锁组件，支承装配组件中具有安装空间，盒体定位组件安装于支承装配组件上，晶圆盒置于盒体定位组件上，竖向移动组件安装于支承装配组件上，横向移动组件安装于竖向移动组件上，配接解锁组件安装于横向移动组件上。该晶圆储存装置将设有吸附盘片及解锁钥匙的配接载架安装于横向平台上，而横向平台安装于竖向平台上，使配接载架可进行竖向及横向移动，当配接载架移动至晶圆盒门体处时，吸附盘片吸住晶圆盒门体，同时解锁钥匙对晶圆盒解锁，而后再携带解锁后的晶圆盒门体移开，从而实现自动化上下料，可提高工作效率，减少故障。减少故障。减少故障。

【技术实现步骤摘要】
一种12吋晶圆盒自动解锁装置


[0001]本技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种12吋晶圆盒自动解锁装置。

技术介绍

[0002]在一种晶圆片的生产过程中，常需要采用标准的封闭式箱体即晶圆盒对晶圆片进行储存，该晶圆盒设置有锁定结构，使用时采用解锁装置对其进行解锁，并采用取放设备将这些晶圆片在晶圆盒与加工装置之间移送，常用的解锁装置在取放时解锁不方便，容易发生故障，影响生产的顺利进行。因此，有必要对这种晶圆盒解锁装置进行结构优化，以克服上述缺陷。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种12吋晶圆盒自动解锁装置，以便于对12吋晶圆盒进行解锁。
[0004]本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种12吋晶圆盒自动解锁装置，包括：
[0006]支承装配组件，该支承装配组件中具有安装空间；
[0007]盒体定位组件，该盒体定位组件安装于支承装配组件上，晶圆盒置于盒体定位组件上，由盒体定位组件对晶圆盒进行定位；
[0008]竖向移动组件，该竖向移动组件安装于支承装配组件上，可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，包括：支承装配组件，该支承装配组件中具有安装空间；盒体定位组件，该盒体定位组件安装于支承装配组件上，晶圆盒置于盒体定位组件上，由盒体定位组件对晶圆盒进行定位；竖向移动组件，该竖向移动组件安装于支承装配组件上，可在支承装配组件中沿竖向移动；横向移动组件，该横向移动组件安装于竖向移动组件上，可随竖向移动组件一同沿竖向移动，并可在竖向移动组件上沿横向移动；配接解锁组件，该配接解锁组件安装于横向移动组件上，可随横向移动组件一同沿竖向及横向移动，其结构与晶圆盒的锁定结构配合，由配接解锁组件对晶圆盒进行解锁处理。2.根据权利要求1所述的一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，支承装配组件包括：支承架体，该支承架体中具有安装空间，竖向移动组件安装于支承架体中；装配面板，该装配面板安装于支承架体前部，装配面板中开设有与晶圆盒适配的取放通口；装配载板，该装配载板安装于支承架体顶部，并位于装配面板后方，盒体定位组件安装于装配载板上。3.根据权利要求2所述的一种12吋晶圆盒自动解锁装置，其特征在于，盒体定位组件包括：定位平台，该定位平台通过滑动结构安装于装配载板上，可在装配载板上移动，晶圆盒置于定位平台上，可随定位平台移动；调节推杆，该调节推杆安装于装配载板上，并与定位平台衔接，由调节推杆带动定位平台移动，使定位平台靠近或远离装配面板。4....

【专利技术属性】
技术研发人员：张旭东，石春潮，
申请(专利权)人：嘉兴微拓电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：