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本实用新型提出一种12吋晶圆盒自动解锁装置，包括支承装配组件、盒体定位组件、竖向移动组件、横向移动组件及配接解锁组件，支承装配组件中具有安装空间，盒体定位组件安装于支承装配组件上，晶圆盒置于盒体定位组件上，竖向移动组件安装于支承装配组件上，...
该专利属于嘉兴微拓电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴微拓电子科技股份有限公司授权不得商用。

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