一种用于晶圆检测设备的定心机构制造技术

本实用新型专利技术提出一种用于晶圆检测设备的定心机构，其包括固定支承组件、活动支承组件、导向配接组件、晶圆定位组件、弹性压合组件及气动牵引组件，该定心机构采用安装有一对定位滚轮的定位顶板作为晶圆定位结构，并在支承座块中设置弹性簧柱，由弹性簧柱拉动活动支杆沿其轴向移动，并带动定位滚轮压合于晶圆边缘，弹性簧柱的拉力与活动支杆的轴向位于同一方向，其拉力完全应用于晶圆压合过程中，还在支承座块上设置牵引气缸，牵引气缸带动活动支杆沿其轴向移动，并带动定位滚轮与晶圆分离，其牵引力与活动支杆的轴向位于同一方向，使得晶圆定位和分离过程更为灵敏，定位状态更为稳定，有利于提升晶圆检测的效率和精确度，提升集成电路加工的质量。集成电路加工的质量。集成电路加工的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆检测设备的定心机构


[0001]本技术半导体生产设备，尤其涉及一种用于晶圆检测设备的定心机构。

技术介绍

[0002]在使用检测设备对晶圆片进行检测的过程中，晶圆中心位置的确定非常重要，只有对中心位置进行准确定位后，才能对晶圆表面进行全面检测。
[0003]专利文献CN216597541U公开一种晶圆自动定心装置，其包括支承装配组件、轴向支撑组件、静止定心组件、活动定心组件及切换驱动组件，支承装配组件安装于晶圆检测装置的移动平台上，其内部具有安装空间，轴向支撑组件安装于支承装配组件上，并与晶圆的端面配合，由轴向支撑组件对晶圆进行轴向支撑，静止定心组件通过固定结构安装于支承装配组件上，并与晶圆的侧面配合，由静止定心组件对晶圆进行径向定位，活动定心组件通过活动结构安装于支承装配组件上，可与晶圆的侧面抵合或脱离，由活动定心组件对晶圆进行径向定位，并与静止定心组件共同对晶圆进行定心处理，切换驱动组件安装于支承装配组件上，并与活动定心组件衔接，由切换驱动组件对活动定心组件与晶圆的配合状态进行切换。
[0004]然而，这种定心装本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆检测设备的定心机构，其特征在于，包括：固定支承组件，该固定支承组件安装于晶圆调平装置上，并与晶圆吸盘位置对应，其内部具有安装空间；活动支承组件，该活动支承组件通过活动连接结构安装于固定支承组件中，并可在固定支承组件中移动；导向配接组件，该导向配接组件安装于固定支承组件中，并与活动支承组件适配；晶圆定位组件，该晶圆定位组件安装于活动支承组件上，可随活动支承组件一同移动，其与晶圆吸盘上的晶圆配合时，可对晶圆进行径向定位；弹性压合组件，该弹性压合组件安装于固定支承组件及活动支承组件之间，由弹性压合组件带动活动支承组件及晶圆定位组件向晶圆吸盘方向移动，并对晶圆施加径向压力；气动牵引组件，该气动牵引组件安装于固定支承组件上，并与活动支承组件配合，由气动牵引组件牵引活动支承组件，使晶圆定位组件与晶圆边缘脱离。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测设备的定心机构，其特征在于，固定支承组件包括：支承座块，该支承座块通过连接件固定安装于晶圆调平装置上，其内部开设有导向轴孔，该导向轴孔具有一对，各导向轴孔分别贯穿支承座块两端，并相互平行，导向配接组件通过导向轴孔安装于支承座块中，支承座块中部开设有牵引槽口，牵引槽口位于导向轴孔之间，气动牵引组件安装于牵引槽口中，支承座块两端分别开设有压合槽口，弹性压合组件安装于压合槽口中。3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆检测设备的定心...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐鑫，石正飞，
申请(专利权)人：嘉兴微拓电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：