【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置。
技术介绍
1、专利文献cn217239425u公开一种晶圆对中调平装置，其包括支撑平台、旋转组件以及多组对中推杆，支撑平台包括相连接的载台以及导向板，载台用于承载晶圆，导向板上间隔开设有多个长腰孔，长腰孔朝靠近或远离载台圆心的方向延伸，并且多个长腰孔围绕载台呈圆周排布，旋转组件的输出端上间隔设置有多组对中推杆，多组对中推杆以载台的圆心为圆心呈圆周间隔排布，每组对中推杆对应穿设在一个长腰孔中，旋转组件能够同步驱动多组对中推杆沿着对应的长腰孔移动，以推动晶圆与载台共心，晶圆加工设备通过应用上述晶圆对中调平装置，能够保证对晶圆的对中定位更加稳定精准，并且结构简单，便于调节。然而，这种调平装置采用多组对中推杆沿长腰孔移动而推动晶圆与载台共心，其仅在径向进行调节定位，无法在轴向进行微调，使得晶圆的检测和加工精度难以提升。因此，有必要对这种调平装置进行结构优化，以克服上述缺陷。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种具有蜗杆传动...
【技术保护点】
1.一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，支承装配组件包括：
3.根据权利要求2所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，吸附定位组件包括：
4.根据权利要求3所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，轴向定位组件包括：
5.根据权利要求3所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，径向定位组件包括：
6.根据权利要求3所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，固定支托组件包括：
...【技术特征摘要】
1.一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，支承装配组件包括：
3.根据权利要求2所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，吸附定位组件包括：
4.根据权利要求3所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，轴向定位组件包括：
5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐鑫，
申请(专利权)人：嘉兴微拓电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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