【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产设备，尤其涉及一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置。
技术介绍
1、专利文献cn217239425u公开一种晶圆对中调平装置，其包括支撑平台、旋转组件以及多组对中推杆，支撑平台包括相连接的载台以及导向板，载台用于承载晶圆，导向板上间隔开设有多个长腰孔，长腰孔朝靠近或远离载台圆心的方向延伸，并且多个长腰孔围绕载台呈圆周排布，旋转组件的输出端上间隔设置有多组对中推杆，多组对中推杆以载台的圆心为圆心呈圆周间隔排布，每组对中推杆对应穿设在一个长腰孔中，旋转组件能够同步驱动多组对中推杆沿着对应的长腰孔移动，以推动晶圆与载台共心，晶圆加工设备通过应用上述晶圆对中调平装置，能够保证对晶圆的对中定位更加稳定精准，并且结构简单，便于调节。然而，这种调平装置采用多组对中推杆沿长腰孔移动而推动晶圆与载台共心，其仅在径向进行调节定位，无法在轴向进行微调，使得晶圆的检测和加工精度难以提升。因此，有必要对这种调平装置进行结构优化，以克服上述缺陷。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，以提升调平精度和效率。
2、本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：
3、一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，包括：
4、支承装配组件，该支承装配组件上具有安装空间；
5、吸附定位组件，该吸附定位组件安装于支承装配组件上，其与待处理晶圆适配，可对晶圆进行吸附定位；
6、轴向定位组件，该轴向定位组件安装于支承装配组件上
7、径向定位组件，该径向定位组件安装于支承装配组件及吸附定位组件上，由径向定位组件对吸附定位组件上的晶圆进行径向定位；
8、还包括：
9、固定支托组件，该固定支托组件安装于支承装配组件上，并与吸附定位组件配合，由固定支托组件对吸附定位组件进行轴向支托；
10、活动支托组件，该活动支托组件安装于支承装配组件上，并与吸附定位组件配合，由活动支托组件对吸附定位组件进行轴向支托；
11、蜗杆驱动组件，该蜗杆驱动组件安装于支承装配组件上，并与活动支托组件配合，由蜗杆驱动组件带动活动支托组件调节位置，使活动支托组件对吸附定位组件上的晶圆进行调平操作。
12、具体地，支承装配组件包括：
13、支承底座，该支承底座顶部开设有装配槽口。
14、吸附定位组件包括：
15、定位底托，该定位底托置于装配槽口中，可在装配槽口中调节位置，其边缘设有一组配接翼片，各配接翼片分别沿径向向外侧伸出；
16、定位吸盘，该定位吸盘置于定位底托上，并通过管路与真空发生器连接，由真空发生器对定位吸盘进行抽真空处理，使得定位吸盘吸附于定位底托上，可随定位底托一同调节位置，并得定位吸盘可吸附晶圆。
17、轴向定位组件包括：
18、定位座板，该定位座板为等腰三角形，并位于支承底座下方，其顶部通过转接支杆与定位底托连接；
19、导向座架，该导向座架设有一对，各导向座架分别安装于支承底座中，定位座板的腰线部位分别通过沿轴向布置的导向滑轨安装于导向座架上，使得定位座板可携带定位底托及定位吸盘沿轴向移动；
20、传动座块，该传动座块固定于定位座板的底边处，其内部开设有长条形传动滑槽，传动滑槽的延伸方向平行于定位座板所在平面；
21、定位电机，该定位电机固定于支承底座底部，并与定位座板的底边位置对应，其动力输出轴上安装有偏心轮，偏心轮与传动滑槽适配，定位电机运行时可通过偏心轮带动定位座板沿轴向移动。
22、径向定位组件包括：
23、定位座块，该定位座块固定于支承底座边缘；
24、导向支杆，该导向支杆设有一对，各导向支杆分别通过直线轴承安装于定位座块中，并沿支承底座的径向延伸，可在定位座块中运动；
25、定位顶板，该定位顶板安装于导向支杆的定位端，并向向定位吸盘方向延伸，其末端设有一对活动滚轮，活动滚轮可与定位吸盘上的晶圆边缘配合；
26、压合弹簧，该压合弹簧设有一对，各压合弹簧一端与定位座块连接，另一端连接于导向支杆的压合端，由压合弹簧对导向支杆及定位顶板施加弹力，带动活动滚轮压合于晶圆边缘；
27、固定滚轮，该固定滚轮设有一对，各固定滚轮分别安装于定位吸盘边缘，并与活动滚轮分列于定位吸盘两端，其可与定位吸盘上的晶圆边缘配合，由固定滚轮及活动滚轮共同对晶圆进行径向定位；
28、牵引气缸，该牵引气缸安装于定位座块中，其活塞杆末端通过转接横梁与导向支杆连接，由牵引气缸带动导向支杆移动，使活动滚轮与晶圆分离。
29、固定支托组件包括：
30、固定立柱，该固定立柱位于支承底座与定位底托之间，并与配接翼片位置对应，其顶部通过钢珠与配接翼片抵合，其底部通过钢珠与支承底座抵合，使定位底托可在支承底座上调节位置；
31、固定拉簧，该固定拉簧位于支承底座与定位底托之间，并与固定立柱位于同一径线上，其顶端与配接翼片连接，其底端与支承底座连接，由固定拉簧对支承底座与配接翼片施加轴向拉力，避免固定立柱脱落。
32、活动支托组件包括：
33、活动撬板，该活动撬板设有至少一对，各活动撬板分别位于支承底座与定位底托之间，并与配接翼片位置对应，其长度方向沿径向延伸，活动撬板中部通过杠杆顶柱安装于支承底座上，可通过杠杆顶柱在支承底座上偏转；
34、活动立柱，该活动立柱位于活动撬板与定位底托之间，并与配接翼片位置对应，其顶部通过钢珠与配接翼片抵合，其底部通过钢珠与活动撬板外端抵合，使定位底托可在活动撬板上调节位置；
35、活动拉簧，该活动拉簧位于活动撬板与定位底托之间，并与活动立柱位于同一径线上，其顶端与配接翼片连接，其底端与活动撬板外端连接，由活动拉簧对活动撬板与配接翼片施加轴向拉力，避免活动立柱脱落。
36、蜗杆驱动组件包括：
37、蜗轮端柱，该蜗轮端柱设有至少一对，各蜗轮端柱分别通过转动结构安装于支承底座上，并与活动撬板位置对应，其顶端与活动撬板内端抵合；
38、传动蜗杆，该传动蜗杆设有至少一对，各传动蜗杆分别与蜗轮端柱啮合；
39、驱动电机，该驱动电机设有至少一对，各驱动电机分别安装于支承底座上，并与传动蜗杆连接，可通过传动蜗杆带动蜗轮端柱移动，以带动活动撬板偏转，进而对定位底托及定位吸盘进行调平操作。
40、本技术的优点在于：
41、该晶圆调平装置采用固定立柱及固定拉簧组成固定支托组件，固定立柱顶部通过钢珠与配接翼片抵合，底部通过钢珠与支承底座抵合，使定位底托可在支承底座上通过偏转的方式进行位置微调，并采用活动撬板、活动立柱及活动拉簧组成活动支托组件，活动撬板可通过杠杆顶柱在支承底座上偏转，活动立柱顶部本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，支承装配组件包括：
3.根据权利要求2所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，吸附定位组件包括：
4.根据权利要求3所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，轴向定位组件包括：
5.根据权利要求3所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，径向定位组件包括：
6.根据权利要求3所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，固定支托组件包括：
7.根据权利要求6所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，活动支托组件包括：
8.根据权利要求7所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，蜗杆驱动组件包括：
【技术特征摘要】
1.一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，支承装配组件包括：
3.根据权利要求2所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，吸附定位组件包括：
4.根据权利要求3所述的一种具有蜗杆传动结构的晶圆调平装置，其特征在于，轴向定位组件包括：
5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐鑫，
申请(专利权)人：嘉兴微拓电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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