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本技术提出一种晶圆调平装置，其采用固定立柱及固定拉簧组成固定支托组件，固定立柱顶部通过钢珠与配接翼片抵合，底部通过钢珠与支承底座抵合，使定位底托可在支承底座上通过偏转的方式进行位置微调，并采用活动撬板、活动立柱及活动拉簧组成活动支托组件，活...
该专利属于嘉兴微拓电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴微拓电子科技股份有限公司授权不得商用。

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