温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提出一种用于晶圆检测设备的定心机构，其包括固定支承组件、活动支承组件、导向配接组件、晶圆定位组件、弹性压合组件及气动牵引组件，该定心机构采用安装有一对定位滚轮的定位顶板作为晶圆定位结构，并在支承座块中设置弹性簧柱，由弹性簧柱拉动活...
该专利属于嘉兴微拓电子科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴微拓电子科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。