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本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种用于硅片清洗的花篮，包括两个基板，两个所述基板之间设有底板，所述底板两端分别与两个基板边缘固定连接，两个所述基板之间还设有两个对称分布的粗方管，所述粗方管上设置有四个槽扣组，所述槽扣组包括多个均匀...
该专利属于开化晶芯电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过开化晶芯电子有限公司授权不得商用。

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