一种硅片涂硼装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种硅片涂硼装置，涉及硅片领域。该硅片涂硼装置，包括底座，所述底座的上表面固定连接有支撑柱，所述支撑柱的右侧固定连接有横梁，所述横梁的右端固定连接有液压杆，所述液压杆的底端表面固定连接有螺纹环，所述螺纹环的表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套的底部固定连接有喷头。该硅片涂硼装置，通过支撑座、限位槽、第一限位圈、活动盘、活动杆、弹簧、第一卡箍、侧板、通孔、圆盘、电机、横杆和第二卡箍的相互配合，达到可以对不同大小的硅片进行定位，同时在涂硼过程中进行翻转涂硼，同时可以完成两面涂硼工作，解决了目前硅片涂硼装置每次仅可以对于硅片单面进行涂硼，涂完一面还需要进行更换一面，导致生产效率低的问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片涂硼装置


[0001]本技术涉及硅片
，具体为一种硅片涂硼装置。

技术介绍

[0002]科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。一台微型电子计算机的售价，也只不过数百元人民币。这样就为电子计算机进入千家万户铺平了道路，使我们的生活越来越现代化，地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一，硅片在生产中会利用涂硼装置进行涂硼工作，目前硅片涂硼装置每次仅可以对于硅片单面进行涂硼，涂完一面还需要进行更换一面，导致生产效率低。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种硅片涂硼装置，解决了目前硅片涂硼装置每次仅可以对于硅片单面进行涂硼，涂完一面还需要进行更换一面，导致生产效率低的问题。
[0004]技术方案
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片涂硼装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定连接有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)的右侧固定连接有横梁(3)，所述横梁(3)的右端固定连接有液压杆(4)，所述液压杆(4)的底端表面固定连接有螺纹环(5)，所述螺纹环(5)的表面螺纹连接有螺纹套(6)，所述螺纹套(6)的底部固定连接有喷头(8)，所述喷头(8)的上表面设置有连接头(7)，所述底座(1)的上表面固定连接有支撑座(9)，所述支撑座(9)的内部活动连接有活动盘(12)，所述活动盘(12)的外表面固定连接有第一限位圈(11)，所述支撑座(9)的内壁开设有限位槽(10)，所述第一限位圈(11)的表面与限位槽(10)的内部活动连接，所述活动盘(12)的内部活动连接有活动杆(13)，所述活动杆(13)的右端固定连接有第一卡箍(16)，所述活动杆(13)的表面套接有弹簧(15)，所述弹簧(15)的左端与活动盘(12)的右侧固定连接，所述弹簧(15)的右端与第一卡箍(16)的左侧固定连接，所述支撑座(9)的上表面固定连接有侧板(18)，所述侧板(18)的左侧开设有与右侧相...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝凯，
申请(专利权)人：开化晶芯电子有限公司，
类型：新型
国别省市：