下载一种硅片涂硼装置的技术资料

文档序号:31142486

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本实用新型提供一种硅片涂硼装置,涉及硅片领域。该硅片涂硼装置,包括底座,所述底座的上表面固定连接有支撑柱,所述支撑柱的右侧固定连接有横梁,所述横梁的右端固定连接有液压杆,所述液压杆的底端表面固定连接有螺纹环,所述螺纹环的表面螺纹连接有螺纹套...
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