一种基于硅片加工的冲洗脱胶架制造技术

本实用新型专利技术提供一种基于硅片加工的冲洗脱胶架，涉及硅片加工领域。该基于硅片加工的冲洗脱胶架，包括横梁，所述横梁的下表面固定连接有第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱和第二支撑柱之间通过加固杆固定连接，所述横梁的上表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有旋转轴。该基于硅片加工的冲洗脱胶架，通过电机、旋转轴、上卡座和下卡座之间的配合，达到将硅片进行固定，同时在冲洗过程中带动硅片进行旋转，以增加清除胶类物质的效果，通过升级杆、防脱板和第一弹簧的配合，达到便于对不同大小的硅片进行固定，解决了现有的基于硅片加工的冲洗脱胶架利用加压后的水进行冲洗，只利用冲洗无法彻底清除硅片表面胶类物质的问题。物质的问题。物质的问题。

A washing degumming frame based on silicon wafer processing

【技术实现步骤摘要】
一种基于硅片加工的冲洗脱胶架


[0001]本技术涉及硅片加工
，具体为一种基于硅片加工的冲洗脱胶架。

技术介绍

[0002]硅片在如今社会使用最为广泛，重要性也占有主导，在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑，地壳中含量达 25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，硅片加工过程中需要利用冲洗脱胶架进行清洗，避免硅片表面含有胶一类物质，现有的基于硅片加工的冲洗脱胶架利用加压后的水进行冲洗，只利用冲洗无法彻底清除硅片表面胶类物质。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种基于硅片加工的冲洗脱胶架，解决了现有的基于硅片加工的冲洗脱胶架利用加压后的水进行冲洗，只利用冲洗无法彻底清除硅片表面胶类物质的问题。
[0004]技术方案
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种基于硅片加工的冲洗脱胶架，包括横梁，所述横梁的下表面固定连接有第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱和第二支撑柱之间通过加固杆固定连接，所述横梁的上表面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有旋转轴，所述横梁的上表面开设有与下表面相连通的开孔，所述旋转轴远离电机的一端贯穿开孔并延伸至横梁的下方，所述旋转轴位于横梁下方的一端固定连接有上卡座，所述加固杆的上表面固定连接有固定罩，所述加固杆的上表面搭接有移动罩，所述加固杆的上表面开设有与下表面相连通的升降孔，所述升降孔的内部活动连接有升降杆，所述升降杆的顶端固定连接有下卡座，所述升降杆的表面套接有第一弹簧和辅助环，所述辅助环的上表面与下卡座的下表面搭接，所述第一弹簧的顶端与辅助环的下表面固定连接，所述第一弹簧的底端与加固杆的上表面固定连接，所述移动罩的左侧开设有与移动罩内部相连通的固定孔，所述固定孔的内部固定连接有水管，所述水管的右端固定连接有喷头，所述横梁的下表面开设有伸缩槽，所述伸缩槽的内部滑动连接有滑环，所述滑环的下表面与移动罩的顶部固定连接，所述滑环的右侧固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的右端与伸缩槽的右侧内壁固定连接。
[0006]进一步的，所述旋转轴的外表面固定连接有轴承，所述轴承的外圈与开孔的内壁固定连接。
[0007]进一步的，所述伸缩槽的左右两侧内壁之间固定连接有限位杆，所述第二弹簧和滑环均位于限位杆的表面且与限位杆的表面套接。
[0008]进一步的，所述升降杆的底端固定连接有防脱板。
[0009]进一步的，所述第一支撑柱的左侧开设有与右侧相连通的辅助孔，所述辅助孔的
内部活动连接有辅助杆。
[0010]进一步的，所述辅助杆的右端与移动罩的左侧固定连接。
[0011]本技术提供了一种基于硅片加工的冲洗脱胶架。具备以下有益效果：
[0012]1、该基于硅片加工的冲洗脱胶架，通过电机、旋转轴、上卡座和下卡座之间的配合，达到将硅片进行固定，同时在冲洗过程中带动硅片进行旋转，以增加清除胶类物质的效果，通过升级杆、防脱板和第一弹簧的配合，达到便于对不同大小的硅片进行固定，解决了现有的基于硅片加工的冲洗脱胶架利用加压后的水进行冲洗，只利用冲洗无法彻底清除硅片表面胶类物质的问题。
[0013]2、该基于硅片加工的冲洗脱胶架，通过伸缩槽、限位杆、滑环、第二弹簧、移动罩和固定罩之间的相互配合，达到在进行旋转清洗中的硅片时，将硅片清洗空间进行完全罩住，避免水甩出污染地面和甩到工作人员身体上，通过辅助杆的设置，达到便于将移动罩与固定罩进行分离，同时也可以在移动罩向右移动时提供平衡性。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术结构正视图。
[0016]其中，1横梁、2第一支撑柱、3第二支撑柱、4开孔、5轴承、6旋转轴、 7上卡座、8下卡座、9升降孔、10升降杆、11防脱板、12第一弹簧、13辅助环、14加固杆、15移动罩、16固定罩、17辅助孔、18辅助杆、19固定孔、 20喷头、21水管、22伸缩槽、23限位杆、24滑环、25第二弹簧、26电机。
具体实施方式
[0017]如图1
‑
2所示，本技术实施例提供一种基于硅片加工的冲洗脱胶架，包括横梁1，横梁1的下表面固定连接有第一支撑柱2和第二支撑柱3，第一支撑柱2和第二支撑柱3之间通过加固杆14固定连接，横梁1的上表面固定连接有电机26，电机26的输出端固定连接有旋转轴6，横梁1的上表面开设有与下表面相连通的开孔4，旋转轴6远离电机26的一端贯穿开孔4并延伸至横梁1的下方，旋转轴6的外表面固定连接有轴承5，轴承5的外圈与开孔 4的内壁固定连接，旋转轴6位于横梁1下方的一端固定连接有上卡座7，加固杆14的上表面固定连接有固定罩16，加固杆14的上表面搭接有移动罩15，第一支撑柱2的左侧开设有与右侧相连通的辅助孔17，辅助孔17的内部活动连接有辅助杆18，辅助杆18的右端与移动罩15的左侧固定连接，加固杆14 的上表面开设有与下表面相连通的升降孔9，升降孔9的内部活动连接有升降杆10，升降杆10的底端固定连接有防脱板11，升降杆10的顶端固定连接有下卡座8，升降杆10的表面套接有第一弹簧12和辅助环13，辅助环13的上表面与下卡座8的下表面搭接，第一弹簧12的顶端与辅助环13的下表面固定连接，第一弹簧12的底端与加固杆14的上表面固定连接，移动罩15的左侧开设有与移动罩15内部相连通的固定孔19，固定孔19的内部固定连接有水管21，水管21的右端固定连接有喷头20。
[0018]横梁1的下表面开设有伸缩槽22，伸缩槽22的内部滑动连接有滑环24，滑环24的下表面与移动罩15的顶部固定连接，滑环24的右侧固定连接有第二弹簧25，第二弹簧25的右端与伸缩槽22的右侧内壁固定连接，伸缩槽22 的左右两侧内壁之间固定连接有限位杆23，
第二弹簧25和滑环24均位于限位杆23的表面且与限位杆23的表面套接。
[0019]工作原理：将辅助杆18向左拉动，使得移动罩15与固定罩16的左侧分离，将下卡座8向下按压，并将硅片放置在下卡座8的内部，然后放开下卡座8，此时第一弹簧12释放弹力向上推动辅助环13并带动下卡座8向上移动，由此使得硅片顶部进入上卡座7的内部，此时可以将硅片进行固定，将辅助杆18放开，使得第二弹簧25进行收缩带动滑环24向右移动，滑环24向右移动会带动移动罩15向右移动并与固定罩16的左侧接触，利用喷头20对于硅片进行冲洗，冲洗过程中，启动电机26，电机26会经过旋转轴6带动上卡座7和下卡座8之间的硅片进行转动，为了避免冲洗后的污水流出，可以利用器皿放置在移动罩15和固定罩16的下方进行接收。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于硅片加工的冲洗脱胶架，包括横梁(1)，其特征在于：所述横梁(1)的下表面固定连接有第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)，所述第一支撑柱(2)和第二支撑柱(3)之间通过加固杆(14)固定连接，所述横梁(1)的上表面固定连接有电机(26)，所述电机(26)的输出端固定连接有旋转轴(6)，所述横梁(1)的上表面开设有与下表面相连通的开孔(4)，所述旋转轴(6)远离电机(26)的一端贯穿开孔(4)并延伸至横梁(1)的下方，所述旋转轴(6)位于横梁(1)下方的一端固定连接有上卡座(7)，所述加固杆(14)的上表面固定连接有固定罩(16)，所述加固杆(14)的上表面搭接有移动罩(15)，所述加固杆(14)的上表面开设有与下表面相连通的升降孔(9)，所述升降孔(9)的内部活动连接有升降杆(10)，所述升降杆(10)的顶端固定连接有下卡座(8)，所述升降杆(10)的表面套接有第一弹簧(12)和辅助环(13)，所述辅助环(13)的上表面与下卡座(8)的下表面搭接，所述第一弹簧(12)的顶端与辅助环(13)的下表面固定连接，所述第一弹簧(12)的底端与加固杆(14)的上表面固定连接，所述移动罩(15)的左侧开设有与移动罩(15)内部相连通的固定孔(19)，所述固定孔(19)的内部固定连接有水管(21)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝凯，王雅妹，吾超凤，
申请(专利权)人：开化晶芯电子有限公司，
类型：新型
国别省市：