一种化学气相沉积系统和太阳能电池制造系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种化学气相沉积系统和太阳能电池制造系统。化学气相沉积系统包括：镀膜输送模块；位于镀膜输送模块侧部且与镀膜输送模块连接的过渡输送模块；隔离装置，过渡输送模块位于隔离装置内；与隔离装置连通的气体过滤装置，气体过滤装置适于将隔离装置外部的空气过滤后输送至隔离装置内部。本实用新型专利技术的化学气相沉积系统可以使得制造过程中的半导体基片或是太阳能电池半成品在输送过程中处于过滤后的气氛环境中，极大减小了表面被污染的情况，使得最终产品的质量得以保障。使得最终产品的质量得以保障。使得最终产品的质量得以保障。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积系统和太阳能电池制造系统


[0001]本技术涉及太阳能电池制造技术，具体涉及一种化学气相沉积系统和太阳能电池制造系统。

技术介绍

[0002]在异质结太阳能电池的制造过程中，通常使用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)方法，特别是等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，PECVD)的方法制备半导体基片两侧的掺杂结构。在制造过程中，由于在CVD过程中的镀膜步骤前后和双面镀膜过程之间，半导体基片通常暴露于空气中，会接触空气中的氧化性气体，例如臭氧、硫化物、氮氧化物以及一些大尺寸(≥0.5μm)灰尘颗粒，使得半导体基片或加工过程中的太阳能电池半成品表面的半导体与这些氧化性气体发生反应造成污染或是沾染颗粒造成表面污染，影响太阳能电池最终产品的质量。

技术实现思路

[0003]因此本技术提供一种化学气相沉积系统和太阳能电池制造系统，以解决太阳能电池制造的产品质量的问题。
[0004]本技术提供一种化学气相沉积系统，包括：镀膜输送模块；位于镀膜输送模块侧部且与镀膜输送模块连接的过渡输送模块；隔离装置，过渡输送模块位于隔离装置内；与隔离装置连通的气体过滤装置，气体过滤装置适于将隔离装置外部的气体过滤后输送至隔离装置内部。
[0005]可选的，气体过滤装置包括：过滤壳体；位于过滤壳体内的气体输送部件；位于过滤壳体内的第一过滤部件，第一过滤部件位于气体输送部件朝向隔离装置内侧的一侧，第一过滤部件适于过滤气体中的氧化性气体；位于过滤壳体内的第二过滤部件，第二过滤部件位于气体输送部件朝向隔离装置内侧的一侧，第二过滤部件适于过滤气体中的颗粒。
[0006]可选的，第二过滤部件包括多个过滤精度不同的过滤器；沿自隔离装置外侧向隔离装置内侧方向，多个过滤器的过滤精度的下限值依次减小。
[0007]可选的，多个过滤器包括沿自隔离装置外侧向隔离装置内侧方向依次设置的初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器。
[0008]可选的，第一过滤部件设置于初效过滤器和中效过滤器之间。
[0009]可选的，第一过滤部件包括活性炭过滤器；氧化性气体包括臭氧、硫化物气体和氮氧化物气体中的任意一种或者多种的组合。
[0010]可选的，镀膜输送模块包括：第一输送腔、第二输送腔、第三输送腔、第四输送腔、第五输送腔、第六输送腔、第七输送腔、第八输送腔；位于第一输送腔和第二输送腔之间且分别与第一输送腔和第二输送腔连接的第一加热腔；位于第二输送腔和第三输送腔之间且分别与第二输送腔和第三输送腔连接的第一镀膜腔；位于第三输送腔和第四输送腔之间且分别与第三输送腔和第四输送腔连接的第二镀膜腔；位于第五输送腔和第六输送腔之间且
分别与第五输送腔和第六输送腔连接的第二加热腔；位于第六输送腔和第七输送腔之间且分别与第六输送腔和第七输送腔之间连接的第三镀膜腔；位于第七输送腔和第八输送腔之间且分别与第七输送腔和第八输送腔连接的第四镀膜腔；过渡输送模块包括：第一上料单元和第一下料单元，第一上料单元连接第一输送腔，第一下料单元连接第四输送腔；第二上料单元和第二下料单元，第二上料单元连接第五输送腔，第二下料单元连接第八输送腔；连接第一上料单元的第一输送带；连接第一下料单元和第二上料单元的第二输送带；连接第二下料单元的第三输送带。
[0011]可选的，隔离装置包括：第一隔离装置，第一上料单元和第一输送带设置于第一隔离装置内；第二隔离装置，第一下料单元、第二上料单元和第二输送带设置于第二隔离装置内；第三隔离装置，第二下料单元和第三输送带设置于第三隔离装置内；第一隔离装置、第二隔离装置和第三隔离装置各自分立，且分别设置有至少一个气体过滤装置。
[0012]本技术还提供一种太阳能电池制造系统，包括如上的化学气相沉积系统；太阳能电池制造系统还包括：烘干单元，烘干单元设置于隔离装置内，烘干单元与过渡输送模块连接。
[0013]可选的，太阳能电池制造系统还包括：制绒单元和清洗单元，清洗单元位于烘干单元和制绒单元之间。
[0014]本技术的有益效果在于：
[0015]1.本技术的化学气相沉积系统，过渡输送模块位于隔离装置内，还设置有与隔离装置连通的气体过滤装置，气体过滤装置将隔离装置外部的气体净化过滤后再通入隔离装置内，使得制造过程中的半导体基片或是太阳能电池半成品在输送过程中处于过滤后的气氛环境中，极大减小了表面被污染的情况，使得最终产品的质量得以保障。
[0016]2.本技术的化学气相沉积系统，通过气体过滤装置中气体输送部件、第一过滤部件和第二过滤部件的设置，使得气体过滤装置可以过滤气体中的氧化性气体和颗粒，使得制造过程中的半导体基片或是太阳能电池半成品在输送过程中处于去除了颗粒和氧化性气体的气氛环境中，可极大减小表面被污染的情况，使得最终产品的质量得以保障。
[0017]3.本技术的化学气相沉积系统，通过气体过滤装置中第二过滤部件包括多个过滤精度不同的过滤器；且沿自隔离装置外侧向隔离装置内侧方向，多个过滤器的过滤精度的下限值依次减小的设置，可以实现梯度过滤，每个过滤器需要滤除的颗粒减少，使得每个过滤器的利用率和使用寿命均可得到提高。
[0018]4.本技术的化学气相沉积系统，第一过滤部件设置于初效过滤器和中效过滤器之间，使得进行氧化性气体过滤之前先进行一次颗粒过滤，滤除部分颗粒，可有效提高第一过滤部件的过滤效率和寿命。
[0019]5.本技术的化学气相沉积系统，第一过滤部件包括活性炭过滤器，可有效滤除包括臭氧、硫化物气体和氮氧化物气体在内的氧化性气体。
[0020]6.本技术的化学气相沉积系统，隔离装置包括分立的第一隔离装置、第二隔离装置和第三隔离装置，当其中一个隔离装置发生损坏或泄漏时，不会影响其他的隔离装置，避免其他隔离装置中的半导体基片和太阳能电池半成品发生表面污染的风险。
[0021]7.本技术的太阳能电池制造系统，包括本技术的化学气相沉积系统，过渡输送模块位于隔离装置内，还设置有与隔离装置连通的气体过滤装置，气体过滤装置将
隔离装置外部的气体净化过滤后再通入隔离装置内，使得制造过程中的半导体基片或是太阳能电池半成品在输送过程中处于过滤后的气氛环境中，极大减小了表面被污染的情况，使得最终产品的质量得以保障。且太阳能电池制造系统的烘干单元，特别是制绒单元和清洗单元之后的烘干单元也设置于隔离装置内，可减小制造过程中的半导体基片在烘干过程中，特别是制绒清洗后的烘干过程中发生表面发生污染的可能性，最终产品的质量可以得到有效保障。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积系统，其特征在于，包括：镀膜输送模块；位于所述镀膜输送模块侧部且与所述镀膜输送模块连接的过渡输送模块；隔离装置，所述过渡输送模块位于所述隔离装置内；与所述隔离装置连通的气体过滤装置，所述气体过滤装置适于将所述隔离装置外部的气体过滤后输送至所述隔离装置内部。2.根据权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述气体过滤装置包括：过滤壳体；位于所述过滤壳体内的气体输送部件；位于所述过滤壳体内的第一过滤部件，所述第一过滤部件位于所述气体输送部件朝向所述隔离装置内侧的一侧，所述第一过滤部件适于过滤气体中的氧化性气体；位于所述过滤壳体内的第二过滤部件，所述第二过滤部件位于所述气体输送部件朝向所述隔离装置内侧的一侧，所述第二过滤部件适于过滤气体中的颗粒。3.根据权利要求2所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述第二过滤部件包括多个过滤精度不同的过滤器；沿自所述隔离装置外侧向所述隔离装置内侧方向，多个所述过滤器的过滤精度的下限值依次减小。4.根据权利要求3所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述多个过滤器包括沿自所述隔离装置外侧向所述隔离装置内侧方向依次设置的初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器。5.根据权利要求4所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述第一过滤部件设置于所述初效过滤器和所述中效过滤器之间。6.根据权利要求2所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述第一过滤部件包括活性炭过滤器；所述氧化性气体包括臭氧、硫化物气体和氮氧化物气体中的任意一种或者多种的组合。7.根据权利要求1所述的化学气相沉积系统，其特征在于，所述镀膜输送模块包括：第一输送腔、第二输送腔、第三输送腔、第四输送腔、第五输送腔、第六输送腔、第七输送腔、第八输送腔；位于所述第一输送腔和所述第二输送腔之间且分别与第一输送腔和所述第二输送腔连接的第一加热腔；位于所述第二输送...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：