一种镀膜装置，将进料室接驳在上料位的一侧，进料隔离室接驳在进料室的一侧，进料侧镀膜腔室接驳在进料隔离室的一侧；中间侧镀膜腔室一端与进料侧镀膜腔室接驳，中间侧镀膜腔室另外一端与出料侧镀膜腔室接驳，进料侧镀膜腔室、中间侧镀膜腔室和出料侧镀膜腔室之间呈C型排列；出料隔离室与接驳在出料侧镀膜腔室一侧，出料室接驳在出料隔离室一侧，下料位接驳在出料室一侧；上料位、进料室、进料隔离室、进料侧镀膜腔室、中间侧镀膜腔室、出料侧镀膜腔室、出料隔离室、出料室、下料位和缓存室之间呈O型排列。本技术方案有效缩短自动线长度，减少托盘在大气中传输时间，有效减少载板对水汽的吸附。吸附。吸附。
【技术实现步骤摘要】
一种镀膜装置
[0001]本技术涉及一种镀膜装置，具体涉及一种镀膜装置。
技术介绍
[0002]PVD指物理气相沉积技术，是一种常用的镀膜技术，广泛应用于半导体、液晶面板、光伏等行业。其原理是通过等离子体将氩气原子(Ar)电离，形成带正电荷的氩离子，该氩离子在电场作用下，加速撞击靶材表面，靶原子组分受撞击后，脱离靶材并沉积到目标基板表面，形成连续而致密的薄膜。
[0003]参见图1，现有的PVD镀膜设备，载板在上料位装载待镀膜产品后，进入PVD镀膜设备进行镀膜，该载板在PVD镀膜设备中，依次经过进料室、隔离室、镀膜腔室、隔离室、出料室完成产品镀膜过程。载板在下料位完成已镀膜产品卸载后，经回流自动线回到上料位继续上料，现有技术主要存在以下缺陷：
[0004]载板经多次镀膜后，在无硅片遮盖区域形成膜层积累；膜层及载板表面，容易吸收环境中的水汽，该水汽在镀膜过程中缓慢释放，影响电池效率和工艺稳定性；
[0005]采用在进料室及进料侧隔离室中进行加热的方式，去除载板所携带的水汽，耗能高，加热不均匀，时间长等缺陷；且载板在回流自动线运输距离长，耗时长，运输过程吸附水汽几率增加；
[0006]停产期间，部分托盘存放于PVD真空腔室内，影响设备稳定性；其余载板暴露在大气中，表面水汽量大，难以彻底去除，耗时长。
技术实现思路
[0007]为此，本技术提供一种镀膜装置，减少载板在大气中暴露时间；采用新除湿方式，代替现有加热除湿方式；优化载板储存结构，减少水汽吸附。
[0008]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种镀膜装置，包括上料位、进料室、进料隔离室、镀膜腔室、出料隔离室、出料室和下料位，还包括缓存室；所述镀膜腔室包括进料侧镀膜腔室、中间侧镀膜腔室和出料侧镀膜腔室；
[0009]所述进料室接驳在所述上料位的一侧，所述进料隔离室接驳在所述进料室的一侧，所述进料侧镀膜腔室接驳在所述进料隔离室的一侧；
[0010]所述中间侧镀膜腔室一端与所述进料侧镀膜腔室接驳，中间侧镀膜腔室另外一端与所述出料侧镀膜腔室接驳，进料侧镀膜腔室、中间侧镀膜腔室和出料侧镀膜腔室之间呈C型排列；
[0011]所述缓存室和上料位之间设有出料传送线，缓存室和下料位之间设有进料传送线；
[0012]所述上料位、进料室、进料隔离室、进料侧镀膜腔室、中间侧镀膜腔室、出料侧镀膜腔室、出料隔离室、出料室、下料位和缓存室之间呈O型排列。
[0013]作为镀膜装置的优选方案，所述进料室包括进料真空腔体、第一真空计、第一质谱
仪、第一真空泵组、第一微波发生器、进料位载板和进料位传动机构；所述第一真空计连接所述进料真空腔体，第一真空计用于监控进料室的真空度；所述第一质谱仪连接所述进料真空腔体，第一质谱仪用于检测监控进料室内的水汽含量；所述第一真空泵组连接所述进料真空腔体，第一真空泵组用于抽排进料真空腔体内的气体；所述第一微波发生器连接在所述进料真空腔体的内部，第一微波发生器用于产生并释放微波能量以进行进料室水汽脱离；所述进料位传动机构位于所述进料真空腔体内底部，进料位载板连接所述进料位传动机构的上方，进料位载板用于承载、转运待加工产品，进料位传动机构用于对进料位载板进行支撑传输。
[0014]作为镀膜装置的优选方案，所述第一真空泵组采用罗茨泵和机械泵组合；所述进料位传动机构采用滚轮轴承。
[0015]作为镀膜装置的优选方案，所述进料真空腔体的内壁连接有屏蔽板，进料真空腔体的设备管线连接口设有金属屏蔽网。
[0016]作为镀膜装置的优选方案，所述进料隔离室包括进料隔离腔体、第二真空计、第二质谱仪、第二真空泵组、第二微波发生器、隔离位载板和隔离位传动机构；所述第二真空计连接所述进料隔离腔体，第二真空计用于监控进料隔离室的真空度；所述第二质谱仪连接所述进料隔离腔体，第二质谱仪用于检测监控进料隔离室内的水汽含量；所述第二真空泵组连接所述进料隔离腔体，第二真空泵组用于抽排进料隔离腔体内的气体；所述第二微波发生器连接在所述进料隔离腔体的内部，第二微波发生器用于产生并释放微波能量以进行进料隔离室水汽脱离；所述隔离位传动机构位于所述进料隔离腔体内底部，隔离位载板连接所述隔离位传动机构的上方，隔离位载板用于承载、转运待加工产品，隔离位传动机构用于对隔离位载板进行支撑传输。
[0017]作为镀膜装置的优选方案，所述第二真空泵组采用分子泵、罗茨泵和机械泵组合；所述隔离位传动机构采用滚轮轴承。
[0018]作为镀膜装置的优选方案，所述进料隔离腔体的内壁连接有屏蔽板，进料隔离腔体的设备管线连接口设有金属屏蔽网。
[0019]作为镀膜装置的优选方案，所述缓存室的顶部连接有风机过滤器，所述风机过滤器连接有气管。
[0020]作为镀膜装置的优选方案，所述缓存室的内部设有升降架，所述升降架配置有缓存位载板；
[0021]所述出料隔离室与接驳在所述出料侧镀膜腔室一侧，所述出料室接驳在所述出料隔离室一侧，所述下料位接驳在所述出料室一侧；
[0022]所述缓存室与出料传送线之间设有出料接驳口，所述缓存室与进料传送线之间设有进料接驳口。
[0023]作为镀膜装置的优选方案，所述缓冲室的底部连接有泄压口。
[0024]本技术技术方案将进料室接驳在上料位的一侧，进料隔离室接驳在进料室的一侧，进料侧镀膜腔室接驳在进料隔离室的一侧；中间侧镀膜腔室一端与进料侧镀膜腔室接驳，中间侧镀膜腔室另外一端与出料侧镀膜腔室接驳，进料侧镀膜腔室、中间侧镀膜腔室和出料侧镀膜腔室之间呈C型排列；出料隔离室与接驳在出料侧镀膜腔室一侧，出料室接驳在出料隔离室一侧，下料位接驳在出料室一侧；缓存室和上料位之间设有出料传送线，缓存
室和下料位之间设有进料传送线；上料位、进料室、进料隔离室、进料侧镀膜腔室、中间侧镀膜腔室、出料侧镀膜腔室、出料隔离室、出料室、下料位和缓存室之间呈O型排列。本技术方案进料侧镀膜腔室、中间侧镀膜腔室和出料侧镀膜腔室C型布局，有效缩短自动线长度，减少托盘在大气中传输时间，减少水汽吸附；进料室及进料隔离室内采用微波方式除水汽，各区域能量均匀覆盖，除湿均匀、效率高；设有缓存室，采用干洁气体作为载板存储环境，有效减少载板对水汽的吸附。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
[0026]图1为本技术中提供的现有技术PVD镀膜设备示意图；
[0027]图2为本技术实施例中提供的镀膜装置示意图；
[0028]图3为本技术实施例中提供的进料室结构示意图；
[0029]图4为本技术实施例中提供的进料隔离室结构示意图；
[0030]图5为本实用新本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种镀膜装置，包括上料位(1)、进料室(2)、进料隔离室(3)、镀膜腔室、出料隔离室(7)、出料室(8)和下料位(9)，其特征在于，还包括缓存室(10)，所述镀膜腔室包括进料侧镀膜腔室(4)、中间侧镀膜腔室(5)和出料侧镀膜腔室(6)；所述进料室(2)接驳在所述上料位(1)的一侧，所述进料隔离室(3)接驳在所述进料室(2)的一侧，所述进料侧镀膜腔室(4)接驳在所述进料隔离室(3)的一侧；所述中间侧镀膜腔室(5)一端与所述进料侧镀膜腔室(4)接驳，中间侧镀膜腔室(5)另外一端与所述出料侧镀膜腔室(6)接驳，进料侧镀膜腔室(4)、中间侧镀膜腔室(5)和出料侧镀膜腔室(6)之间呈C型排列；所述出料隔离室(7)与接驳在所述出料侧镀膜腔室(6)一侧，所述出料室(8)接驳在所述出料隔离室(7)一侧，所述下料位(9)接驳在所述出料室(8)一侧；所述上料位(1)、进料室(2)、进料隔离室(3)、进料侧镀膜腔室(4)、中间侧镀膜腔室(5)、出料侧镀膜腔室(6)、出料隔离室(7)、出料室(8)、下料位(9)和缓存室(10)之间呈O型排列。2.根据权利要求1所述的一种镀膜装置，其特征在于，所述进料室(2)包括进料真空腔体(13)、第一真空计(14)、第一质谱仪(15)、第一真空泵组(16)、第一微波发生器(17)、进料位载板(18)和进料位传动机构(19)；所述第一真空计(14)连接所述进料真空腔体(13)，第一真空计(14)用于监控进料室(2)的真空度；所述第一质谱仪(15)连接所述进料真空腔体(13)，第一质谱仪(15)用于检测监控进料室(2)内的水汽含量；所述第一真空泵组(16)连接所述进料真空腔体(13)，第一真空泵组(16)用于抽排进料真空腔体(13)内的气体；所述第一微波发生器(17)连接在所述进料真空腔体(13)的内部，第一微波发生器(17)用于产生并释放微波能量以进行进料室(2)水汽脱离；所述进料位传动机构(19)位于所述进料真空腔体(13)内底部，进料位载板(18)连接所述进料位传动机构(19)的上方，进料位载板(18)用于承载、转运待加工产品，进料位传动机构(19)用于对进料位载板(18)进行支撑传输。3.根据权利要求2所述的一种镀膜装置，其特征在于，所述第一真空泵组(16)采用罗茨泵和机械泵组合；所述进料位传动机构(19)采用滚轮轴承。4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：
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