一种真空镀膜机的腔体结构制造技术

技术编号:32189564 阅读:29 留言:0更新日期:2022-02-08 15:54
本实用新型专利技术提供一种真空镀膜机的腔体结构,属于真空镀膜机技术领域,包括真空腔体本体,真空腔本体的两侧均设有对等的合页,合页的一侧固定连接有门体,门体的内壁固定连接有密封条,门体的内壁嵌入设置有电机,门体的背面设有有插杆,真空腔体本体的背面固定安装有加热装置,通过设置门体,门体的内部设置有支撑架放置镀膜物件,当左侧门体与真空腔体本体贴合对支撑架上端的物件镀膜时,开始手动对右侧门体内部的支撑架摆放镀膜物件,当左侧门体内部支撑架上端的物件镀好膜后,将左侧门体拉开,然后再推动已经摆好镀膜物件的右侧门体,将右侧门体与真空腔体本体贴合对右侧门体内部的物件镀膜,加快物件镀膜的速度。加快物件镀膜的速度。加快物件镀膜的速度。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的腔体结构


[0001]本技术涉及真空镀膜机
,更具体的,涉及一种真空镀膜机的腔体结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,而真空镀膜机的腔体结构内部,一般安装有转笼固定架等构件用于挂放镀膜结构。。
[0003]现有的真空镀膜机的腔体结构,一般将转笼和固定架等构件安装在腔体的内部,物件镀膜时安装和拆卸较为不便,需等货物全部取出再安装镀膜,费时费力,且物件镀膜完成后,腔体的内部会产生难闻的气味,人员吸入可能造成身体的不适。

技术实现思路

[0004]本技术旨在解决,现有的真空镀膜机的腔体结构,一般将转笼和固定架等构件安装在腔体的内部,物件镀膜时安装和拆卸较为不便,需等货物全部取出再安装镀膜,费时费力,且物件镀膜完成后,腔体的内部会产生难闻的气味,人员吸入可能造成身体不适的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种真空镀膜机的腔体结构,包括真空腔体本体,所述真空腔体本体的两侧均设有对等的合页,所述合页的一侧固定连接有门体,所述门体的内壁固定连接有密封条,所述门体的内壁设有支撑架,所述支撑架的底端固定连接有第一齿轮,所述门体的内壁嵌入设置有电机,所述门体的背面设有有插杆,所述真空腔体本体的背面固定安装有加热装置,所述真空腔体本体的一侧设有抽风机,所述抽风机的外壁一侧具有抽风管,所述抽风管的外壁安装有空气过滤器。
[0006]进一步优选方案:所述真空腔体本体的两侧设有对等的第一孔洞,所述门体的内壁一侧设有第二孔洞,且第二孔洞与第一孔洞处于同一水平线。
[0007]进一步优选方案:所述电机的底端连接第二齿轮,且第二齿轮的外壁与第一齿轮的外壁卡接。
[0008]进一步优选方案:所述空气过滤器的两侧分别设有除臭层和活性炭颗粒层。
[0009]进一步优选方案:所述真空腔体本体的内部底端设有孔洞,且抽风管嵌入于孔洞的内部。
[0010]进一步优选方案:所述门体共设置有两个,且两个门体的内部结构一致,并且两个门体镜像设置。
[0011]进一步优选方案:所述插杆共设置有四根,插杆的直径小于第一孔洞和第二孔洞的直径。
[0012]本技术提供了一种真空镀膜机的腔体结构,具有以下有益效果:
[0013]1、本技术通过设置抽风机和空气过滤器,抽风机启动时,吸力沿着抽风管进入真空腔体本体的内部,将真空腔体本体内部的空气和镀膜时产生的臭气,抽出真空腔体本体,空气经过除臭层和活性炭颗粒层时,除臭层去除空气中的恶臭,活性炭颗粒层吸附空气中的杂质颗粒,将空气净化排出,防止工作人员吸入造成身体不适。
[0014]2、本技术优点在于通过设置电机和第二齿轮,电机启动时,带动第二齿轮转动,第二齿轮转动带动与其卡接的第一齿轮转动,第一齿轮转动带动支撑架上端的物件缓慢转动,使物件均匀受热便于支撑架上端货物镀膜。
[0015]3、最后通过设置门体,门体的内部设置有支撑架放置镀膜物件,当左侧门体与真空腔体本体贴合对支撑架上端的物件镀膜时,开始手动对右侧门体内部的支撑架摆放镀膜物件,当左侧门体内部支撑架上端的物件镀好膜后,将左侧门体拉开,然后再推动已经摆好镀膜物件的右侧门体,将右侧门体与真空腔体本体贴合对右侧门体内部的物件镀膜,加快物件镀膜的速度。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图。
[0017]图2为本技术装置真空腔体本体俯视结构示意图。
[0018]图3为本技术装置空气过滤器内部结构示意图。
[0019]图1

3中:1、真空腔体本体;101、合页;102、第一孔洞;2、门体;201、密封条;202、第二孔洞;3、支撑架;301、第一齿轮;4、电机;401、第二齿轮;5、插杆;6、加热装置;7、抽风机;701、抽风管;8、空气过滤器;801、除臭层;802、活性炭颗粒层。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图1

3,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例:
[0022]请参阅图1至3:
[0023]本实施例提供进一步优选方案一种真空镀膜机的腔体结构,包括真空腔体本体1,真空腔体本体1的两侧均设有对等的合页101,合页101的一侧固定连接有门体2,门体2的内壁固定连接有密封条201,门体2的内壁设有支撑架3,支撑架3的底端固定连接有第一齿轮301,门体2的内壁嵌入设置有电机4,门体2的背面设有有插杆5,真空腔体本体1的背面固定安装有加热装置6,真空腔体本体1的一侧设有抽风机7,抽风机7的外壁一侧具有抽风管701,抽风管701的外壁安装有空气过滤器8。
[0024]进一步的,真空腔体本体1的两侧设有对等的第一孔洞102,所述门体2的内壁一侧设有第二孔洞202,且第二孔洞202与第一孔洞102处于同一水平线,当门体2与真空腔体本体1贴合时,第一孔洞102和第二孔洞202相互贴合。
[0025]进一步的,电机4的底端连接第二齿轮401,且第二齿轮401的外壁与第一齿轮301的外壁卡接,开启通过导线电性连接的电机4时,带动第二齿轮401转动,第二齿轮401转动
带动与其卡接的第一齿轮301转动,第一齿轮301转动带动支撑架3转动,便于支撑架3上端货物均匀镀膜。
[0026]进一步的,空气过滤器8的两侧分别设有除臭层801和活性炭颗粒层802,抽风管701将真空腔体本体1的内部的空气和臭气抽出真空腔体本体1,空气经过空气过滤器8内部的除臭层801和活性炭颗粒层802时,除臭层去除空气中的恶臭,活性炭颗粒层吸附空气中的杂质颗粒,将空气净化排出。
[0027]进一步的,真空腔体本体1的内部底端设有孔洞,且抽风管701嵌入于孔洞的内部,通过导线电性连接的抽风机7启动时,吸力沿着抽风管701进入真空腔体本体的内部,将真空腔体本体内部的空气和镀膜时产生的臭气,抽出真空腔体本体1,防止工作人员吸入。
[0028]进一步的,门体2共设置有两个,且两个门体2的内部结构一致,并且两个门体2镜像设置,门体2的内部设置有支撑架3放置镀膜物件,当左侧门体2与真空腔体本体1贴合对支撑架3上端的物件镀膜时,开始手动对右侧门体内部的支撑架3摆放镀膜物件,当左侧门体2内部支撑架3上端的物件镀好膜后,将左侧门体2拉开,然后再推动已经摆好镀膜物件的右侧门体2,将右侧门体2与真空腔体本体1贴合对右侧门体2内部的物件镀膜,加快物件镀膜的速度。
[0029]进一步的,插杆5共设本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的腔体结构,包括真空腔体本体(1),其特征在于,所述真空腔体本体(1)的两侧均设有对等的合页(101),所述合页(101)的一侧固定连接有门体(2),所述门体(2)的内壁固定连接有密封条(201),所述门体(2)的内壁设有支撑架(3),所述支撑架(3)的底端固定连接有第一齿轮(301),所述门体(2)的内壁嵌入设置有电机(4),所述门体(2)的背面设有插杆(5),所述真空腔体本体(1)的背面固定安装有加热装置(6),所述真空腔体本体(1)的一侧设有抽风机(7),所述抽风机(7)的外壁一侧具有抽风管(701),所述抽风管(701)的外壁安装有空气过滤器(8)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的腔体结构,其特征在于:所述真空腔体本体(1)的两侧设有对等的第一孔洞(102),所述门体(2)的内壁一侧设有第二孔洞(202),且第二孔洞(202)与第一孔洞(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨玉飞
申请(专利权)人:江阴慕达斯真空设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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