一种真空镀膜机腔体冷却系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种腔体冷却方法及系统，属于真空镀膜机技术领域，具体涉及一种真空镀膜机腔体冷却系统及方法，本发明专利技术通过信息采集模块的温度传感器采集腔体温度及冷却装置温度，并上传至可编程控制模块用于状态集中监测调控；可编程控制模块输入输出对应各个模块及冷却装置的控制信号，并将冷却装置运行状态信息发送至上位机监控模块，上位机监控模块实现对冷却装置和腔体情况的实时监测与分析控制，从而本发明专利技术可以实时监测腔体及冷却设备温度，实现远程、近程多种控制模式，从而大大提高效率。从而大大提高效率。从而大大提高效率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机腔体冷却系统及方法


[0001]本专利技术公开了一种腔体冷却方法及系统，属于真空镀膜机
，具体涉及一种真空镀膜机腔体冷却系统及方法。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。、
[0003]现有的对于真空镀膜机的腔体冷却操作的效果不好，散热不稳定，造成腔体温度过高；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种真空镀膜机的腔体冷却装置。且现有技术中，在冷却时，只能通过工作人员进行至设备身边观察，这样及其不方便。

技术实现思路

[0004]专利技术目的：提供一种真空镀膜机腔体冷却系统及方法，解决上述提到的问题。
[0005]第一方面、一种真空镀膜机腔体冷却系统，包括：电源模块，通过三相电力采集模块监控冷却装置两路相互独立的供电电源状态；
[0006]信息采集模块，通过温度传感器腔体温度及冷却装置温度，并上传至可编程控制模块用于状态集中监测调控；
[0007]可编程控制模块,输入输出对应各个模块及冷却装置的控制信号，并将冷却装置运行状态信息发送至上位机监控模块；
[0008]交互通讯模块，耦接可编程控制模块，用于可编程控制模块与上位机模块间的交互通讯，及时掌握冷却装置的运行状态和腔体的内部冷却情况；
[0009]上位机监控模块，用于对冷却装置和腔体情况的实时监测与分析控制。
[0010]在进一步的实施例中，所述可编程控制模块只可监测当前目标冷却装置及腔体，且每个腔体配备一个冷却装置，根据信息采集模块的采集信号，需要对冷却装置及腔体进行快速精确调节控制，根据采集的腔体温度及冷却装置冷却温度标记为W1和W2，根据温度传感器所监测的温度差，利用模糊控制器来调控冷却装置的输出温度，给定腔体的温差的物理论域为(
‑
15，15)，设置温差变化率的基本论域为(
‑
1，1)，从而可以得出模糊控制器输入输出变量的模糊子集分为{正大(PB)}、{正中(PM)}、{正小(PS)}、{零(ZO)}、{负小(NS)}、{负中(NM)和{负大(NB)}7个级别，则相应的模糊论域为：
[0011]{3，2，1，0，
‑
1，
‑
2，
‑
3}。
[0012]在进一步的实施例中，所述信息采集模块实现对信号的转换，信息采集模块分为模数转换和接口转换模块，模数转换模块是将模拟信号转换为数字信号，接口模块是将数字信号转换为接口信号。
[0013]在进一步的实施例中，所述交互通讯模块将可编程控制模块中的腔体温度及冷却装置冷却温度信号转换成无线信号，并传输至上位机监控模块，上位机监控模块进行数据，
并将分析的结果传输到移动客户端，由移动客户端显示实时监测参数和数据分析结果。
[0014]在进一步的实施例中，所述可编程控制模块和所述上位机监控模块内部均设有存储模块；
[0015]所述存储模块用于不同类型数据的分类以及存储。
[0016]第二方面、一种真空镀膜机腔体冷却方法，包括：
[0017]步骤1、首先电源模块通电设备系统上电初始化，并设置冷却及报警阈值和模式选择；
[0018]步骤2、信息采集模块进行腔体温度及冷却装置冷却温度检测，并输入至可编程控制模块；
[0019]步骤3、可编程控制模块根据数据进行模糊初调；
[0020]步骤4、将腔体温度及冷却装置冷却温度输入通过交互通讯模块输入至上位机监控模块；
[0021]步骤5、上位机监控模块进行数据分析预测，并下发控制信号以及信息存储。
[0022]在进一步的实施例中，整个冷却系统接电后，可编程控制模块和上位机监控模块首先进行初始化操作，上位机监控模块可设置为远程或就地、手动或自动的方式，上位机监控模块读取相应模式后执行监控任务，可接收腔体温度和冷却装置状态参量；为了防止冷却装置频繁投切动作，在可编程控制模块中分别设定了装置投入阈值和退出阈值，在自动控制模式下，默认投入一组冷却组工作；当腔体温度高于装置投入阈值，则继续投入第二组冷却装置，当小于切出阈值时，则稳定当前投入。
[0023]在进一步的实施例中，若运行过程中某组冷却装置出现异常，可编程控制模块会自动切除该组装置，转而启动其他编号装置用于替换，同时会向上位机监控模块发送报警信号及相关信息，包含异常冷却装置编号、温度参数以及故障性质；此外，为了避免单组冷却装置长期高负荷运行造成服役寿命缩短，该监控系统设计了轮换工作策略，并在主程序中设置了固定轮换时间。当达到轮换时间后，不同组冷却装置会自动进行切换，从而在保障变压器安全稳定运行的同时可有效延长各组配套冷却装置的服役寿命。
[0024]在进一步的实施例中，在步骤5中上位机监控模块进行数据分析预测，其利用冷却温度与腔体温度进行建立预测模型，具体步骤如下：
[0025]步骤51、冷却温度与腔体温度为反比例，腔体温度在冷却装置运行初期，呈缓慢下降趋势，达到平稳后，则将长时间保持平稳值，具有等比特性，从而设序列X
(0)
为：
[0026][0027]步骤52、生成X
(0)
的一次累加数列：
[0028][0029]其中，的计算公式为：
[0030][0031]步骤53、用最小二乘法计算模型参数值，设a
*
＝(a1，a2)
T
为模型的参数列，且：
[0032][0033][0034]则该模型的估值为：a
*
＝(a1，a2)
T
＝(B
T
B)
‑1B
T
Y
[0035]步骤54、取则该模型的推进函数为：
[0036][0037]则求出还原值X
*(1)
为：
[0038][0039]其中，为k+1时刻的预测值，为k+1时刻的一次累加预测值；
[0040]步骤55、生产预测模型：
[0041][0042]其中，为k+1时刻的一次累加预测值；为k时刻的一次累加预测值，a1、a2为模型参数。
[0043]在进一步的实施例中，所述数据存储包含创建存储文件和追加数据。
[0044]有益效果：本专利技术公开了一种腔体冷却方法及系统，属于真空镀膜机
，具体涉及一种真空镀膜机腔体冷却系统及方法，本专利技术通过信息采集模块的温度传感器采集腔体温度及冷却装置温度，并上传至可编程控制模块用于状态集中监测调控；可编程控制模块输入输出对应各个模块及冷却装置的控制信号，并将冷却装置运行状态信息发送至上位机监控模块，上位机监控模块实现对冷却装置和腔体情况的实时监测与分析控制，从而本专利技术可以实时监测腔体及冷却设备温度，实现远程、近程多种控制模式，从而大大提高效率。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机腔体冷却系统，其特征在于，包括：电源模块，通过三相电力采集模块监控冷却装置两路相互独立的供电电源状态；信息采集模块，通过温度传感器腔体温度及冷却装置温度，并上传至可编程控制模块用于状态集中监测调控；可编程控制模块,输入输出对应各个模块及冷却装置的控制信号，并将冷却装置运行状态信息发送至上位机监控模块；交互通讯模块，耦接可编程控制模块，用于可编程控制模块与上位机模块间的交互通讯，及时掌握冷却装置的运行状态和腔体的内部冷却情况；上位机监控模块,用于对冷却装置和腔体情况的实时监测与分析控制。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却系统，其特征在于，所述可编程控制模块只可监测当前目标冷却装置及腔体，且每个腔体配备一个冷却装置，根据信息采集模块的采集信号，需要对冷却装置及腔体进行快速精确调节控制，根据采集的腔体温度及冷却装置冷却温度标记为W1和W2，根据温度传感器所监测的温度差，利用模糊控制器来调控冷却装置的输出温度，给定腔体的温差的物理论域为(
‑
15，15)，设置温差变化率的基本论域为(
‑
1，1)，从而可以得出模糊控制器输入输出变量的模糊子集分为：{正大(PB)}、{正中(PM)}、{正小(PS)}、{零(ZO)}、{负小(NS)}、{负中(NM)和{负大(NB)}7个级别，则相应的模糊论域为：{3，2，1，0，
‑
1，
‑
2，
‑
3}。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却系统，其特征在于，所述信息采集模块实现对信号的转换，信息采集模块分为模数转换和接口转换模块，模数转换模块是将模拟信号转换为数字信号，接口模块是将数字信号转换为接口信号。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却系统，其特征在于，所述交互通讯模块将可编程控制模块中的腔体温度及冷却装置冷却温度信号转换成无线信号，并传输至上位机监控模块，上位机监控模块进行数据，并将分析的结果传输到移动客户端，由移动客户端显示实时监测参数和数据分析结果。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机腔体冷却系统，其特征在于，所述可编程控制模块和所述上位机监控模块内部均设有存储模块；所述存储模块用于不同类型数据的分类以及存储。6.一种真空镀膜机腔体冷却方法，其特征在于，包括：步骤1、首先电源模块通电设备系统上电初始化，并设置冷却及报警阈值和模式选择；步骤2、信息采集模块进行腔体温度及冷却装置冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨玉飞，
申请(专利权)人：江阴慕达斯真空设备有限公司，
类型：发明
国别省市：