真空镀膜测量系统技术方案

本申请公开了一种真空镀膜测量系统，包括：测量模块，测量模块的测量位置位于真空镀膜设备的走带上，用于检测走带上镀膜的参数信息；控制模块，控制模块与测量模块通讯，用于接收测量模块输出的参数信息，且控制模块可将获取的参数信息处理后输出标记信息；标记模块，标记模块的标记位置位于真空镀膜设备的走带上且位于测量位置的下游，标记模块与控制模块通讯，以根据标记信息进行标记。在上述技术方案中，测量模块可将测量的参数信息输出至控制模块，经控制模块处理后输出给标记模块，标记模块能根据控制模块输出的标记信息实现进行精准标记，由此可以通过标记模块对测量模块的测量结果进行标记，简化了工艺流程，保证了标记的及时性和准确性。记的及时性和准确性。记的及时性和准确性。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜测量系统


[0001]本申请涉及测量
，具体而言，涉及一种真空镀膜测量系统。

技术介绍

[0002]相关技术中，在对真空镀膜装置的镀膜进行检测时，如果检测到缺陷区域，通常需要采用镀完后再进行复卷的方式进行去除，工艺流程复杂，及时性和准确性往往都无法保证，存在改进的空间。

技术实现思路

[0003]本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本申请的一个目的在于提出一种真空镀膜测量系统，可以通过标记模块对测量模块的测量结果进行及时标记，简化了工艺流程，保证了标记的及时性和准确性。
[0004]根据本申请实施例的真空镀膜测量系统，用于真空镀膜设备的在线测量，包括：测量模块，所述测量模块的测量位置位于真空镀膜设备的走带上，用于检测所述走带上镀膜的参数信息；控制模块，所述控制模块与所述测量模块通讯，用于接收所述测量模块输出的参数信息，且所述控制模块可将获取的参数信息处理后输出标记信息；标记模块，所述标记模块的标记位置位于真空镀膜设备的走带上且位于所述测量位置的下游，所述标记模块与所述控制模块通讯，以根据所述标记信息进行标记。
[0005]在上述技术方案中，测量模块可将测量的参数信息输出至控制模块，经控制模块处理后输出给标记模块，标记模块能根据控制模块输出的标记信息实现进行精准标记，由此可以通过标记模块对测量模块的测量结果进行标记，无需在镀完后进行复卷等，简化了工艺流程，保证了标记的及时性和准确性。
[0006]在一些示例中，所述测量模块包括多个测量仪器，多个所述测量仪器与所述标记信息的多个标记方式一一对应。在上述技术方案中，使每个测量仪器测量得到的不同缺陷问题，可以不同的方式标记出来，便于后续的分辨和处理。
[0007]在一些示例中，所述测量模块为镀层厚度测试仪器、孔洞检测仪器、膜面凸起检测仪器中的至少一种。在上述技术方案中，可使得真空镀膜测量系统较为简洁，便于整体的通讯和标记或可以实现多指标的同时测量标记，提高真空镀膜测量系统的测量效率。
[0008]在一些示例中，所述测量模块包括镀层厚度测试仪，用于测量膜层厚度，所述镀层厚度测试仪为在线方阻仪、电涡流测试仪和光密度测试仪中的至少一个。在上述技术方案中，标记模块可以对膜层厚度异常的位置进行及时精准的标记。
[0009]在一些示例中，所述测量模块包括孔洞检测仪器，用于测量孔洞缺陷，所述孔洞检测仪器为2D相机和/或电子枪。在上述技术方案中，标记模块可以对孔洞缺陷进行及时精准的标记。
[0010]在一些示例中，所述测量模块包括膜面凸起检测仪器，用于测量膜面情况，所述膜面凸起检测仪器为3D相机和/或定值检测工装。在上述技术方案中，标记模块可以对凸起位
置进行及时精准的标记。
[0011]在一些示例中，所述标记模块采用有色标签纸、标识涂层和激光打码中的至少一种。在上述技术方案中，在采用一种方式时，可以简化整体结构，在采用多种方式时，可以增加标记的可选性，满足不同的标记需求。
[0012]在一些示例中，真空镀膜设备设有间隔布置的多个辊，所述走带设在所述辊上，所述测量模块的测量位置位于至少两个辊之间，所述标记模块的标记位置位于至少两个辊之间，且所述测量位置和所述标记位置之间设有至少一个辊。在上述技术方案中，便于测量模块的测量以及标记模块的标记，同时便于标记模块可以对测量模块测量得到的缺陷位置进行可靠的标记，避免错过缺陷位置等问题。
[0013]本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0014]本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0015]图1是根据本申请实施例的真空镀膜测量系统的结构示意图。
[0016]附图标记：
[0017]真空镀膜测量系统100，
[0018]测量模块10，镀层厚度测试仪器11，孔洞检测仪器12，膜面凸起检测仪器13，控制模块20，标记模块30，走带41，辊42。
具体实施方式
[0019]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0020]除非另有定义，本申请所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同；本申请中在申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请；本申请的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。本申请的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序或主次关系。
[0021]在本申请中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。
[0022]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“附接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0023]本申请中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本申请中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0024]在本申请的实施例中，相同的附图标记表示相同的部件，并且为了简洁，在不同实施例中，省略对相同部件的详细说明。应理解，附图示出的本申请实施例中的各种部件的厚度、长宽等尺寸仅为示例性说明，而不应对本申请构成任何限定。
[0025]本申请中出现的“多个”指的是两个以上（包括两个）。
[0026]为了对真空镀膜设备制造的镀膜产品进行检测，一些方案是在薄膜生产后进行检测，另一些检测仪器可以在镀膜生产过程中进行检测，即将检测探头与真空镀膜装置的腔体密封连接，其内部伸入真空镀膜装置内部，并与镀膜的膜面接触，实现镀膜产品膜面的在线检测，然而，这只能检测镀层厚度一个指标，而在遇到有问题的区域没办法进行有效标记，如果遇到需要去除的区域往往只能采用镀完后再进行复卷的方式进行去除，工艺流程复杂，及时性和准确性往往都无法保证。
[0027]基于此，本申请旨在提出一种真空镀膜测量系统100，真空镀膜测量系统100用于真空镀膜设备的在线测量，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜测量系统（100），用于真空镀膜设备的在线测量，其特征在于，包括：测量模块（10），所述测量模块（10）的测量位置位于真空镀膜设备的走带（41）上，用于检测所述走带（41）上镀膜的参数信息；控制模块（20），所述控制模块（20）与所述测量模块（10）通讯，用于接收所述测量模块（10）输出的参数信息，且所述控制模块（20）可将获取的参数信息处理后输出标记信息；标记模块（30），所述标记模块（30）的标记位置位于真空镀膜设备的走带（41）上且位于所述测量位置的下游，所述标记模块（30）与所述控制模块（20）通讯，以根据所述标记信息进行标记。2.根据权利要求1所述的真空镀膜测量系统（100），其特征在于，所述测量模块（10）包括多个测量仪器，多个所述测量仪器与所述标记信息的多个标记方式一一对应。3.根据权利要求1所述的真空镀膜测量系统（100），其特征在于，所述测量模块为镀层厚度测试仪器、孔洞检测仪器、膜面凸起检测仪器中的至少一种。4.根据权利要求3所述的真空镀膜测量系统（100），其特征在于，所述测量模块（10）包括镀层厚度测试仪器（11），用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：伍平生，王岳利，尚鲲鹏，雷克武，薛颜同，王伟，
申请(专利权)人：宁德时代新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：