一种连续式真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，具体为一种连续式真空镀膜装置，包括真空箱，真空箱的一端安装在有净化装置和气化镀层装置，真空箱的另一侧设置有夹具工装，真空箱的上端设置有真空泵，有益效果为：本实用新型专利技术通过设置带有密封滑动板的真空箱，配合升降柱的上下升降，从而在进行工序切换时可实现对真空环境的保护，达到在不破坏真空环境的前提下实现工序的切换；通过设置液压缸带动的三组工装夹具，从而避免真空箱内腔在进行工件装夹或拆卸时与外界的连通，实现连续式真空镀膜的目的，配合限位板上滑块的配合，使得夹具位置切换更加平稳，配合密封插槽的位置限定，防止脱落，提高了切换的安全性。了切换的安全性。了切换的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种连续式真空镀膜装置


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体为一种连续式真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜时通过物理过程将靶源物质气化，将讲气化后的原子或分子由靶源沉积到基材表面的过程，它的作用是在基材表面获得具有高强度、耐磨性、散热性、耐腐蚀性等优异性能的涂层。
[0003]在进行真空镀膜过程中，需要在真空环境下进行，而无论是净化过程、气化过程或是工件的更换，都需要破坏真空环境，使得真空泵循环工作，构筑真空环境，这样不均造成资源的浪费，同时大大降低了生产加工的效率。
[0004]为此提供一种连续式真空镀膜装置，以解决连续真空镀膜的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种连续式真空镀膜装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种连续式真空镀膜装置，包括真空箱，所述真空箱的一端安装在有净化装置和气化镀层装置，真空箱的另一侧设置有夹具工装，真空箱的上端设置有真空泵，所述真空箱靠近净化装置的一侧端面上竖直设置有竖板，真空箱的另一侧端面上横向设置有横板，所述夹具工装的内腔中滑动安装有伸缩块，所述伸缩块内转动安装有工件，伸缩块的另一端连接伸缩杆，所述净化装置和气化镀层装置滑动安装在竖板上，所述横板上滑动安装有线性分布的三组夹具工装，横板位于真空箱的前后两侧外壁设置有一对贯穿槽。
[0008]优选的，所述竖板和横板上均设置有相互对称的一对密封插槽，所述净化装置和气化镀层装置、夹具工装的端面分别插接在密封插槽中。
[0009]优选的，线性分布的三组所述夹具工装的左侧端面一体成型，夹具工装的的内腔开口尺寸与真空箱的内径相同。
[0010]优选的，所述夹具工装内腔的伸缩块中设置有安装底座，所述工件竖直插接在安装底座的上端。
[0011]优选的，所述安装底座的上端滑动插接有插接立柱，安装底座的内腔中设置有弹簧，所述插接立柱竖直安装在弹簧的上端，所述工件插接在插接立柱的外壁上。
[0012]优选的，所述净化装置和气化镀层装置的外壳一体成型，且净化装置和气化镀层装置的外壁竖直连接有升降柱，所述升降柱的下端与竖板的下端面齐平。
[0013]优选的，所述伸缩块的外侧连接有伸缩杆，所述伸缩杆延伸至夹具工装的外侧，且伸缩杆的端部滑动安装在限位板上。
[0014]优选的，所述伸缩杆的端部固定安装有滑块，所述限位板上设置有限位滑槽，所述滑块滑动安装在限位滑槽中。
[0015]优选的，所述滑块的右侧外壁沿限位滑槽延伸方向设置有液压缸，所述液压缸的伸缩端固定在滑块上，液压缸的另一端固定在限位板的后侧外壁上。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]1.本技术通过设置带有密封滑动板的真空箱，配合升降柱的上下升降，从而在进行工序切换时可实现对真空环境的保护，达到在不破坏真空环境的前提下实现工序的切换；
[0018]2.本技术通过设置液压缸带动的三组工装夹具，从而避免真空箱内腔在进行工件装夹或拆卸时与外界的连通，实现连续式真空镀膜的目的，配合限位板上滑块的配合，使得夹具位置切换更加平稳，配合密封插槽的位置限定，防止脱落，提高了切换的安全性。
附图说明
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]图2为本技术的真空箱立体结构示意图。
[0021]图中：1、真空箱；2、真空泵；3、竖板；4、横板；5、限位板；6、净化装置；7、气化镀层装置；8、升降柱；9、液压缸；10、滑块；11、限位滑槽；12、伸缩杆；13、夹具工装；14、密封插槽；15、工件；16、安装底座；17、伸缩块；18、弹簧；19、插接立柱；20、贯穿槽。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参阅图1至图2，本技术提供一种技术方案：
[0024]一种连续式真空镀膜装置，包括真空箱1，真空箱1的一端安装在有净化装置6和气化镀层装置7，真空箱1的另一侧设置有夹具工装13，真空箱1的上端设置有真空泵2，真空箱1靠近净化装置6的一侧端面上竖直设置有竖板3，净化装置6和气化镀层装置7滑动安装在竖板3上，真空箱1的另一侧端面上横向设置有横板4，横板4上滑动安装有线性分布的三组夹具工装13，竖板3和横板4上均设置有相互对称的一对密封插槽14，净化装置6和气化镀层装置7、夹具工装13的端面分别插接在密封插槽14中，利用密封插槽14实现净化装置6、气化镀层装置7和夹具工装13的密封滑动安装。
[0025]净化装置6和气化镀层装置7的外壳一体成型，且净化装置6和气化镀层装置7的外壁竖直连接有升降柱8，升降柱8的下端与竖板3的下端面齐平，通过一体成型避免产生间隙，配合升降柱8的上下升降，在进行工序切换时可实现对真空环境的保护，达到在不破坏真空环境的前提下实现工序切换。
[0026]线性分布的三组夹具工装13的左侧端面一体成型，夹具工装13的的内腔开口尺寸与真空箱1的内径相同，夹具工装13的内腔中滑动安装有伸缩块17，伸缩块17内转动安装有工件15，夹具工装13内腔的伸缩块17中设置有安装底座16，工件15竖直插接在安装底座16的上端，安装底座16的上端滑动插接有插接立柱19，安装底座16的内腔中设置有弹簧18，插接立柱19竖直安装在弹簧18的上端，工件15插接在插接立柱19的外壁上，通过安装底座16
和插接立柱19的配合，实现工件15的插接安装。
[0027]伸缩块17的另一端连接伸缩杆12，伸缩块17的外侧连接有伸缩杆12，伸缩杆12延伸至夹具工装13的外侧，且伸缩杆12的端部滑动安装在限位板5上，伸缩杆12的端部固定安装有滑块10，限位板5上设置有限位滑槽11，滑块10滑动安装在限位滑槽11中，滑块10的右侧外壁沿限位滑槽11延伸方向设置有液压缸9，液压缸9的伸缩端固定在滑块10上，液压缸9的另一端固定在限位板5的后侧外壁上，利用限位滑槽11和限位块10的配合，实现滑块10的限位滑动，通过液压缸9带动滑块10前后滑动，从而实现三组夹具工装13的位置切换，利用伸缩杆12的伸缩作用使得伸缩块17延伸至真空箱1内部，达到镀膜的目的。
[0028]横板4位于真空箱1的前后两侧外壁设置有一对贯穿槽20，利用贯穿槽20实现非工位位置夹具工装13上工件15的安装和拆卸，进而达到连续镀膜的目的。
[0029]工作原理：首先利用密封插槽14实现净化装置6、气化镀层装置7和夹具工装13的密封滑动安装，通过一体成型避免产生间隙，配合升降柱8的上下升降，在进行工序切换时可实现对真空本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种连续式真空镀膜装置，包括真空箱（1），所述真空箱（1）的一端安装在有净化装置（6）和气化镀层装置（7），真空箱（1）的另一侧设置有夹具工装（13），真空箱（1）的上端设置有真空泵（2），其特征在于：所述真空箱（1）靠近净化装置（6）的一侧端面上竖直设置有竖板（3），真空箱（1）的另一侧端面上横向设置有横板（4），所述夹具工装（13）的内腔中滑动安装有伸缩块（17），所述伸缩块（17）内转动安装有工件（15），伸缩块（17）的另一端连接伸缩杆（12），所述净化装置（6）和气化镀层装置（7）滑动安装在竖板（3）上，所述横板（4）上滑动安装有线性分布的三组夹具工装（13），横板（4）位于真空箱（1）的前后两侧外壁设置有一对贯穿槽（20）。2.根据权利要求1所述的一种连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述竖板（3）和横板（4）上均设置有相互对称的一对密封插槽（14），所述净化装置（6）和气化镀层装置（7）、夹具工装（13）的端面分别插接在密封插槽（14）中。3.根据权利要求1所述的一种连续式真空镀膜装置，其特征在于：线性分布的三组所述夹具工装（13）的左侧端面一体成型，夹具工装（13）的的内腔开口尺寸与真空箱（1）的内径相同。4.根据权利要求1所述的一种连续式真空镀膜装置，其特征在于：所述夹具工装（13）内腔的伸缩块（17）中设置有安装底座（16），所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩秀全，李军明，
申请(专利权)人：青岛德耐纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：