一种用于线性蒸发源的送丝机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于线性蒸发源的送丝机构，主要包括主动辊轮、压轮、导轮、导管和绕丝盘；主动辊轮和压轮相对布置，导管设置在主动辊轮和压轮的下游；导管为水冷结构，导管外包裹有隔热层；丝材在主动辊轮和压轮的牵引驱动下经由导管输送至设置在送丝机构下方的蒸发舟中。主动辊轮上设置有调速电机，调速电机的转速受线性蒸发源的控制系统调控。带水冷结构的导管可有效隔绝蒸发舟中的高温热量对上游丝材热辐射及热传导效应，显著地减少了丝材发生软化弯曲变形造成卡丝故障的问题。丝材发生软化弯曲变形造成卡丝故障的问题。丝材发生软化弯曲变形造成卡丝故障的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于线性蒸发源的送丝机构


[0001]本技术属于真空镀膜
，特别涉及在真空蒸发镀膜中使用的一种用于线性蒸发源的送丝机构。

技术介绍

[0002]近年来，光学技术、储能技术、平板显示技术的高速发展对薄膜产品性能的均匀性和稳定性提出了更高的要求。作为薄膜制备的重要工艺技术之一，真空蒸发镀膜在上述领域的薄膜产品的工业生产中得到了广泛的应用。送丝机构由于可以在蒸发镀膜过程中连续地补充膜材，在蒸发镀膜中应用较多。
[0003]由于设置送丝机构的蒸发形式为点状源蒸发，不适用在连续式或半连续式蒸发镀膜中对宽幅基片进行膜层制备。即使是设置多个送丝速度一致的送丝机构排布在镀膜幅宽方向上，也易于在相邻送丝机构之间存在膜厚分布不连续的问题，更重要的是，在蒸发镀膜过程中，由于受到蒸发源余弦定律的影响，基片的中部和两侧在幅宽方向上的膜层厚度分布会呈现不均匀的状态，无法满足光学、储能及平板显示等对产品性能要求严苛的使用需求。
[0004]另一方面，由于丝材在导管出口处受到坩埚中蒸发高温的烘烤容易温度偏高，热量经热传导会使导管中甚至是传输辊轮中的丝材易于软化而弯曲变形，造成卡丝而无法输送，导致蒸发镀膜过程无法正常进行。

技术实现思路

[0005]为解决上述问题，本技术提供一种用于线性蒸发源的送丝机构，主要包括主动辊轮、压轮、导轮、导管和绕丝盘；主动辊轮和压轮相对布置，导管设置在主动辊轮和压轮的下游；导管为水冷结构，导管外包裹有隔热层；丝材在主动辊轮和压轮的牵引驱动下经由导管输送至设置在送丝机构下方的蒸发舟中。主动辊轮上设置有调速电机，调速电机的转速受线性蒸发源的控制系统调控。
[0006]在本技术一种实施方式中，所述的水冷结构为双层水冷壁结构，导管由2层套管焊接而成，内层套管的材质为铜。
[0007]在本技术另一种实施方式中，所述的水冷结构由内层导管外盘水冷管构成，内层导管和水冷管的材质为铜。
[0008]送丝机构为3个以上，布置在沿镀膜幅宽的方向上；蒸发舟的数量与送丝机构的数量一致，在蒸发舟的下方还设置有线性蒸发槽。
[0009]线性蒸发槽为长条槽状体，长条槽状体中的加热温度比蒸发舟中的加热温度高100
‑
400℃。
[0010]蒸发舟将送丝机构输送来的丝材熔化成熔液，再通过熔液流管将熔液注入线性蒸发槽；熔液在线性蒸发槽中加热蒸发实现蒸发镀膜。
[0011]线性蒸发槽将丝材熔液汇聚在一起再加热蒸发，形成了1个蒸发稳定连续的线性
蒸发源，有利于在连续式或半连续式蒸发镀膜中对宽幅基底进行稳定的膜层制备。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]在蒸发舟和主动辊轮之间设置有带水冷结构的导管，可有效隔绝蒸发舟中的高温热量对上游丝材热辐射及热传导效应。这样，送丝机构中传输的丝材的温度升高效应将大大减弱，显著地解决了丝材发生软化弯曲变形造成卡丝故障的问题。
附图说明
[0014]图1为本技术用于线性蒸发源的送丝机构的实施示意图。
具体实施方式
[0015]下面结合附图进一步说明本技术的实施方式。应当理解的是，此处描述的具体实施方式仅用于举例说明和解释本技术，并不是用于限制本技术。
[0016]图1为本技术用于线性蒸发源的送丝机构的实施示意图。如图1所示，本技术的用于线性蒸发源的送丝机构，主要包括主动辊轮1、压轮2、导轮3、导管4和绕丝盘5；主动辊轮1和压轮2相对布置，导管4设置在主动辊轮和压轮的下游；导管4为水冷结构，导管外包裹有隔热层；丝材6在主动辊轮1和压轮2的牵引驱动下经由导管4输送至设置在送丝机构下方的蒸发舟7中。主动辊轮1上设置有调速电机8，调速电机8的转速受线性蒸发源的控制系统调控。
[0017]在本技术一种实施方式中，所述的水冷结构为双层水冷壁结构，导管由2层套管焊接而成，内层套管的材质为铜。
[0018]在本技术另一种实施方式中，所述的水冷结构由内层导管外盘水冷管构成，内层导管和水冷管的材质为铜。
[0019]送丝机构为3个以上，布置在沿镀膜幅宽的方向上；蒸发舟的数量与送丝机构的数量一致，在蒸发舟的下方还设置有线性蒸发槽9。
[0020]线性蒸发槽9为长条槽状体，长条槽状体中的加热温度比蒸发舟中的加热温度高100
‑
400℃。
[0021]蒸发舟7将送丝机构输送来的丝材熔化成熔液，再通过熔液流管10将熔液注入线性蒸发槽9；熔液在线性蒸发槽9中加热蒸发实现蒸发镀膜。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于线性蒸发源的送丝机构，主要包括主动辊轮、压轮、导轮、导管和绕丝盘；主动辊轮和压轮相对布置，导管设置在主动辊轮和压轮的下游；导管为水冷结构，导管外包裹有隔热层；丝材在主动辊轮和压轮的牵引驱动下经由导管输送至设置在送丝机构下方的蒸发舟中。2.根据权利要求1所述的用于线性蒸发源的送丝机构，其特征在于：主动辊轮上设置有调速电机，调速电机的转速受线性蒸发源的控制系统调控。3.根据权利要求1所述的用于线性蒸发源的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李成林，杜雪峰，郝明，
申请(专利权)人：泊肃叶科技沈阳有限公司，
类型：新型
国别省市：